Zu den Metallen, die durch Sputtern beschichtet werden können, gehören Gold, Kohlenstoff, Wolfram, Iridium, Chrom, Platin, Palladium, Silber, Aluminiumoxid, Yttriumoxid, Indiumzinnoxid (ITO), Titanoxid, Tantalnitrid und Gadolinium. Diese Materialien werden aufgrund ihrer spezifischen Eigenschaften wie Leitfähigkeit, Korngröße und Kompatibilität mit analytischen Verfahren wie EDX ausgewählt.
Gold ist aufgrund seiner hohen Leitfähigkeit und geringen Korngröße, die sich ideal für hochauflösende Bildgebung eignet, das am häufigsten verwendete Material für die Sputterbeschichtung. Es wird besonders bei Anwendungen bevorzugt, bei denen elektrische Leitfähigkeit und minimale Störung der Bildgebung entscheidend sind.
Kohlenstoff wird verwendet, wenn eine energiedispersive Röntgenanalyse (EDX) erforderlich ist, da sein Röntgenpeak nicht mit den Peaks anderer Elemente kollidiert, was eine genaue Analyse der Elementzusammensetzung der Probe gewährleistet.
Wolfram, Iridium und Chrom sind neuere Werkstoffe, die für die Sputterbeschichtung verwendet werden, insbesondere wenn eine ultrahochauflösende Bildgebung erforderlich ist. Diese Metalle haben eine noch feinere Körnung als Gold, was die Auflösung und Klarheit der Bilder erhöht.
Platin, Palladium und Silber Platin, Palladium und Silber werden ebenfalls verwendet, wobei Silber den Vorteil hat, dass es reversibel ist, was bei bestimmten Versuchsaufbauten, bei denen die Beschichtung möglicherweise entfernt oder verändert werden muss, ohne die Probe zu beschädigen, besonders nützlich sein kann.
Aluminiumoxid, Yttriumoxid, Indium-Zinn-Oxid (ITO), Titanoxid, Tantalnitrid und Gadolinium sind weitere Materialien, die für die Sputterbeschichtung verwendet werden. Diese Materialien werden aufgrund ihrer spezifischen Eigenschaften wie chemische Beständigkeit, elektrische Leitfähigkeit und optische Eigenschaften ausgewählt. ITO wird zum Beispiel wegen seiner Transparenz und Leitfähigkeit verwendet, was es ideal für elektronische Displays macht.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Wahl des Metalls für die Sputterbeschichtung von den spezifischen Anforderungen der Anwendung abhängt, einschließlich der erforderlichen Leitfähigkeit, der Auflösung, der Kompatibilität mit Analysetechniken und den physikalischen oder chemischen Eigenschaften des Beschichtungsmaterials.
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