Eine Diffusionspumpe ist eine Art von Vakuumpumpe, die ohne bewegliche Teile arbeitet.
Sie unterscheidet sich von mechanischen Pumpen, die Kolben oder Lamellen zur Luftverdrängung verwenden.
Stattdessen arbeiten Diffusionspumpen mit einem Flüssigkeitsmitreißmechanismus.
Dieser Mechanismus nutzt den Dampf einer siedenden Flüssigkeit, die oft als "Öl" bezeichnet wird, um Luftmoleküle einzufangen und zu transportieren.
Der Dampf mit seiner hohen kinetischen Energie fängt die Luftmoleküle ein und transportiert sie in einen kühleren Bereich, wo sie freigesetzt werden.
Dieser Prozess wird durch die Schwerkraft und den Abwärtsstrom des Dampfes unterstützt, der die Luftmoleküle zum Boden der Pumpe leitet.
5 wichtige Punkte zum Verständnis
1. Einfacher Betrieb und Langlebigkeit
Aufgrund ihrer einfachen Bedienung und ihrer Langlebigkeit eignen sich Diffusionspumpen für verschiedene industrielle Anwendungen.
Zu diesen Anwendungen gehören Elektronenstrahlmikroskopie, Vakuumbeschichtung und Vakuumöfen.
2. Hohe Vakuumniveaus
Diffusionspumpen sind in der Lage, hohe Vakuumniveaus von 10^-2 bis 10^-10 Torr zu erreichen.
3. Erforderliche Vorpumpe
Diffusionspumpen können nicht unabhängig arbeiten.
Sie benötigen eine Vorpumpe, um einen niedrigen Druck im System aufrechtzuerhalten, insbesondere während der Stillstandszeiten.
So wird sichergestellt, dass die Diffusionspumpe bei Bedarf effektiv arbeiten kann.
4. Wartung
Die Wartung von Diffusionspumpen ist relativ einfach.
Sie erfordern lediglich die Überwachung des Ölstands und der Funktionsfähigkeit der Heizungen.
Das Heizsystem besteht in der Regel aus einem Rohrelement, einer Quetschplatte und einer Klemmplatte.
Die korrekte Ausrichtung ist für einen effizienten Betrieb entscheidend.
5. Unterschied zu kinetischen Pumpen
Diffusionspumpen stehen im Gegensatz zu kinetischen Pumpen, wie z. B. Turbomolekularpumpen.
Kinetische Pumpen verwenden Laufräder oder sich mit hoher Geschwindigkeit drehende Schaufeln, um einen Impuls auf die Gasmoleküle zu übertragen und sie zum Auslass zu drücken.
Diese kinetischen Pumpen werden für Hochdruckanwendungen eingesetzt und haben im Vergleich zu Diffusionspumpen andere Betriebs- und Wartungsanforderungen.
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