Eine Diffusionspumpe ist eine Art von Vakuumpumpe, die ohne bewegliche Teile arbeitet, was sie von mechanischen Pumpen unterscheidet, die Kolben oder Rippen zur Luftverdrängung verwenden. Stattdessen arbeiten Diffusionspumpen mit einem Flüssigkeitsmitreißmechanismus, bei dem der Dampf einer siedenden Flüssigkeit (oft als "Öl" bezeichnet) zum Einfangen und Transportieren von Luftmolekülen verwendet wird. Der Dampf, der eine hohe kinetische Energie besitzt, fängt die Luftmoleküle ein und trägt sie in einen kühleren Bereich, wo sie freigesetzt werden. Unterstützt wird dieser Prozess durch die Schwerkraft und den Abwärtsstrom des Dampfes, der die Luftmoleküle zum Boden der Pumpe leitet.
Aufgrund ihrer einfachen Bedienung und ihrer Langlebigkeit eignen sich Diffusionspumpen für verschiedene industrielle Anwendungen wie Elektronenstrahlmikroskopie, Vakuumbeschichtung und Vakuumöfen. Sie sind in der Lage, hohe Vakuumniveaus von 10^-2 bis 10^-10 Torr zu erreichen. Diffusionspumpen können jedoch nicht unabhängig voneinander arbeiten; sie benötigen eine Vorpumpe, um einen niedrigen Druck im System aufrechtzuerhalten, insbesondere während der Stillstandszeiten. Diese Anordnung stellt sicher, dass die Diffusionspumpe bei Bedarf effektiv arbeiten kann, indem sie das Ventil der Haltepumpe isoliert und sich auf die mechanische Pumpe und das Gebläse als Vorpumpe stützt.
Die Wartung von Diffusionspumpen ist relativ einfach und erfordert lediglich die Überwachung des Ölstands und der Funktionsfähigkeit der Heizungen. Das Heizsystem besteht in der Regel aus einem Rohrelement, einer Quetschplatte und einer Klemmplatte, wobei die richtige Ausrichtung für einen effizienten Betrieb entscheidend ist.
Diffusionspumpen stehen im Gegensatz zu kinetischen Pumpen, wie z. B. Turbomolekularpumpen, die mit Hilfe von Laufrädern oder hochtourig rotierenden Schaufeln einen Impuls auf die Gasmoleküle übertragen, der sie zum Auslass drückt. Diese kinetischen Pumpen werden für Hochdruckanwendungen eingesetzt und haben im Vergleich zu Diffusionspumpen andere Betriebs- und Wartungsanforderungen.
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