Trockene Pumpen sind eine Art von Vakuumpumpen, die ohne Öl oder andere Schmiermittel arbeiten und ein sauberes Vakuum bei minimaler Abfallerzeugung liefern. Zu den verschiedenen Arten von trockenen Pumpen gehören:
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Membranpumpen: Diese Pumpen verwenden eine sich hin- und herbewegende Membran zur Vakuumerzeugung. Sie sind ölfrei, wartungsarm und eignen sich für Anwendungen, die empfindlich auf Verunreinigungen reagieren. Membranpumpen können mit verschiedenen Drehzahlen, Drücken und Regelungsarten (z. B. Drehzahl- oder ventilgeregelt) ausgestattet werden. Sie verfügen häufig über korrosionsbeständige Beschichtungen wie PTFE und sind mit einer Vielzahl von chemischen Lösungsmitteln kompatibel.
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Spiralpumpen: Diese Pumpen verwenden zwei ineinandergreifende Spiralschnecken, die sich exzentrisch bewegen, um Luft und Dämpfe zu komprimieren und zum Auslass zu leiten. Scroll-Pumpen können im Vergleich zu Membranpumpen ein tieferes Vakuum (z. B. 10-3 Torr) und ein höheres Saugvermögen erreichen, wodurch sie sich für Anwendungen eignen, die hohe Durchflussraten erfordern, wie z. B. Gloveboxen. Sie erfordern jedoch möglicherweise einen regelmäßigen Austausch der Spitzendichtungen und sind im Allgemeinen weniger korrosionsbeständig als Membranpumpen.
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Turbomolekularpumpen: Diese Hochvakuumpumpen verwenden rotierende Schaufeln, um eine gerichtete Impulsübertragung auf Gasmoleküle zu erzeugen und diese effektiv herauszupumpen. Sie werden in der Regel in wissenschaftlichen Anwendungen und in der Halbleiterindustrie eingesetzt, wo sehr hohe Vakuumniveaus erforderlich sind.
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Kolbenpumpen: Diese Pumpen verwenden einen Kolben, um Luft zu verdrängen und ein Vakuum zu erzeugen. Sie werden häufig in Anwendungen eingesetzt, bei denen ein mittleres Vakuum erforderlich ist, und können ölfrei konstruiert werden, so dass sie sich für saubere Umgebungen eignen.
Jede Art von trockener Pumpe bietet spezifische Vorteile und eignet sich für unterschiedliche Anwendungen, je nach den Anforderungen an das Vakuumniveau, die Durchflussmenge, die chemische Verträglichkeit und die Wartung.
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