Bei Diffusionspumpen ist die Art der verwendeten Flüssigkeit entscheidend für die Aufrechterhaltung eines hohen Vakuums und die Langlebigkeit der Geräte.
1. Niedriger Dampfdruck und Beständigkeit gegen Zersetzung
Die in Diffusionspumpen verwendeten Flüssigkeiten, wie Polyphenylether und Perfluorpolyether, zeichnen sich durch ihren niedrigen Dampfdruck und ihre Zersetzungsbeständigkeit aus.
Polyphenylether ist insbesondere für seinen sehr niedrigen Dampfdruck bekannt, der für die Aufrechterhaltung eines hohen Vakuums unerlässlich ist.
Seine Beständigkeit gegen Elektronenbeschuss macht ihn ideal für Umgebungen, in denen hochenergetische Teilchen vorhanden sind, wie z. B. in der Elektronenstrahlmikroskopie oder bei Vakuumbeschichtungsprozessen.
2. Chemische Inertheit
Perfluorpolyether ist in hohem Maße inert gegenüber Sauerstoff, Halogenen und Säuren, so dass es sich für den Einsatz in Umgebungen eignet, in denen diese Stoffe vorhanden sein können.
Diese Flüssigkeit zersetzt sich in ein Gas, ohne die Hauptflüssigkeit zu beeinträchtigen, obwohl das entstehende Gas giftig ist und eine sorgfältige Handhabung und Eindämmung erfordert.
3. Leistung bei Hochvakuumanwendungen
Polyphenylether wird für bestimmte Anwendungen bevorzugt, bei denen Hochvakuum und Stabilität unter Elektronenbeschuss erforderlich sind, obwohl er teurer ist als Silikonöl.
4. Allgemeine Überlegungen für Diffusionspumpen
Bei der Auswahl einer Flüssigkeit für Diffusionspumpen muss unbedingt auf die Qualität des Öls geachtet werden, um optimale Leistung und minimalen Wartungsaufwand zu gewährleisten.
Qualitativ hochwertige Öle tragen dazu bei, die gewünschten Vakuumniveaus zu erreichen, die zwischen 10-2 und 10-10 Torr liegen und für Anwendungen wie Elektronenstrahlmikroskopie, Vakuumbeschichtung und Vakuumöfen entscheidend sind.
Der einfache Betrieb und das Fehlen beweglicher Teile in Diffusionspumpen machen sie langlebig und zuverlässig. Die Wartung konzentriert sich in erster Linie auf die Aufrechterhaltung eines angemessenen Ölstands und die Sicherstellung der Funktionsfähigkeit der Heizelemente.
5. Chemische Kompatibilität und Wartung
Die Wahl der Flüssigkeit hängt auch von der chemischen Verträglichkeit mit den Dämpfen ab, die durch die Pumpe strömen.
Trockene, ölfreie Pumpen bieten Vorteile in Bezug auf Korrosionsbeständigkeit und Wartungsfreundlichkeit.
Die Wartung von Diffusionspumpen ist einfach und umfasst die Überprüfung des korrekten Ölstands und des Betriebs der Heizung.
Die korrekte Ausrichtung der Heizelemente ist von entscheidender Bedeutung, auch wenn dies in engen Räumen schwierig sein kann.
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