Die Eigenschaften von Flüssigkeiten, die in Diffusionspumpen verwendet werden, insbesondere Polyphenylether und Perfluorpolyether, zeichnen sich durch ihren niedrigen Dampfdruck, ihre Zersetzungsbeständigkeit und ihre chemische Inertheit aus. Polyphenylether zeichnet sich durch seinen niedrigen Dampfdruck und seine Widerstandsfähigkeit gegen Elektronenbeschuss aus, wodurch er sich für Hochvakuumanwendungen eignet. Perfluorpolyether hingegen ist äußerst inert gegenüber Sauerstoff, Halogenen und Säuren und zerfällt in ein Gas, ohne die Hauptflüssigkeit zu beeinträchtigen, obwohl er bei der Zersetzung giftig ist.
Polyphenyläther:
Polyphenylether wird wegen seines sehr niedrigen Dampfdrucks gewählt, der für die Aufrechterhaltung eines hohen Vakuums in Diffusionspumpen entscheidend ist. Seine Beständigkeit gegen Elektronenbeschuss ist besonders vorteilhaft in Umgebungen, in denen die Pumpe hochenergetischen Partikeln ausgesetzt sein kann, wie z. B. in der Elektronenstrahlmikroskopie oder bei Vakuumbeschichtungsprozessen. Obwohl es teurer ist als Silikonöl, ist es aufgrund seiner Leistungsmerkmale eine bevorzugte Wahl für spezielle Anwendungen, bei denen ein hohes Vakuum und Stabilität unter Elektronenbeschuss erforderlich sind.Perfluorpolyether:
Perfluorpolyether ist eine Flüssigkeit, bei der alle Wasserstoffatome in einem Kohlenwasserstoff durch Fluoratome ersetzt sind, was zu einem höheren Molekulargewicht und einer besseren chemischen Stabilität führt. Diese Flüssigkeit ist inert gegenüber vielen aggressiven Chemikalien, einschließlich Sauerstoff, Halogenen und Säuren, was sie ideal für den Einsatz in Umgebungen macht, in denen solche Substanzen vorkommen können. Die Zersetzung in ein Gas bei der Zersetzung stellt sicher, dass die Hauptflüssigkeit intakt bleibt, obwohl das entstehende Gas giftig ist und eine sorgfältige Handhabung und Eindämmung erfordert.
Allgemeine Überlegungen zu Diffusionspumpen:
Bei der Auswahl einer Flüssigkeit für Diffusionspumpen muss unbedingt auf die Qualität des Öls geachtet werden, um optimale Leistung und minimalen Wartungsaufwand zu gewährleisten. Qualitativ hochwertige Öle tragen dazu bei, die gewünschten Vakuumniveaus (zwischen 10-2 und 10-10 Torr) zu erreichen, und sind für Anwendungen wie Elektronenstrahlmikroskopie, Vakuumbeschichtung und Vakuumöfen entscheidend. Der einfache Betrieb und das Fehlen beweglicher Teile in Diffusionspumpen machen sie langlebig und zuverlässig. Die Wartung konzentriert sich in erster Linie auf die Aufrechterhaltung eines angemessenen Ölstands und die Gewährleistung der Funktionsfähigkeit der Heizelemente.
Chemische Kompatibilität und Wartung:
