Sputtern ist ein physikalischer Prozess, bei dem Atome aus einem festen Zielmaterial durch den Beschuss mit energiereichen Ionen in die Gasphase geschleudert werden. Dieses Verfahren wird in großem Umfang für die Abscheidung von Dünnschichten und für verschiedene analytische Techniken verwendet. Der Mechanismus des Sputterns beruht auf dem Impulsaustausch zwischen den einfallenden Ionen und den Zielatomen, der zum Ausstoß von Atomen aus der Zieloberfläche führt.
Mechanismus des Sputterns:
Der Prozess des Sputterns kann als eine Reihe von Zusammenstößen auf atomarer Ebene dargestellt werden, ähnlich wie bei einem Billardspiel. Energetische Ionen (analog zur Billardkugel) treffen auf ein Zielmaterial (analog zu einer Ansammlung von Billardkugeln). Die Primärkollision überträgt Energie auf die Zielatome, wodurch eine Kaskade von Kollisionen innerhalb des Materials ausgelöst wird. Dadurch gewinnen einige Atome in der Nähe der Oberfläche genügend Energie, um die Bindungskräfte des Festkörpers zu überwinden, und werden herausgeschleudert.Sputter-Ausbeute:
Die Effizienz des Sputterprozesses wird durch die Sputterausbeute quantifiziert, d. h. die Anzahl der von der Oberfläche ausgestoßenen Atome pro einfallendem Ion. Zu den Faktoren, die die Sputterausbeute beeinflussen, gehören die Energie und Masse der einfallenden Ionen, die Masse der Zielatome und die Bindungsenergie des Festkörpers. Höhere Energie und Masse der einfallenden Ionen erhöhen im Allgemeinen die Sputterausbeute.
Anwendungen des Sputterns:
Sputtern wird in großem Umfang für die Abscheidung dünner Schichten eingesetzt, die in verschiedenen Branchen wie Elektronik, Optik und Nanotechnologie von entscheidender Bedeutung sind. Die Technik ermöglicht die präzise Abscheidung von Materialien bei niedrigen Temperaturen und eignet sich daher für die Beschichtung empfindlicher Substrate wie Glas, Metalle und Halbleiter. Sputtern wird auch in Analysetechniken und Ätzverfahren eingesetzt und ermöglicht die Herstellung komplizierter Muster und Strukturen.Arten von Sputtering-Techniken:
