Hochreiner Labor-Gasreiniger für Inertgasatmosphäre und ultra-saubere Prozessgase

Produktübersicht

Dieses hochreine Gasreinigungssystem wurde entwickelt, um Spurenverunreinigungen aus Inert- und Prozessgasen zu eliminieren und ultrasaubere Umgebungen zu schaffen, die für die empfindliche Laborforschung und die Fertigung im Pilotmaßstab unerlässlich sind. Durch den Einsatz fortschrittlicher mehrstufiger katalytischer Desoxidations- und Molekularsieb-Adsorptionssäulen reduziert das Gerät den Feuchtigkeits- (H2O) und Sauerstoffgehalt (O2) kontinuierlich auf unter 0,1 Teile pro Million (ppm). Sein robustes Design bietet eine kompromisslose Lösung für Einrichtungen, die eine zuverlässige, stabile und kosteneffiziente Reingaserzeugung nach Bedarf benötigen, ohne von hochreinen Spezialgasflaschen abhängig zu sein.

Die Einheit wurde speziell für anspruchsvolle Forschungs- und Produktionsumgebungen entwickelt und lässt sich nahtlos in Hochtemperatur-Rohröfen, Muffelöfen mit kontrollierter Atmosphäre, Reaktoren für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD/PECVD), Handschuhkasten-Containmentsysteme und Systeme für die additive Fertigung integrieren. Zu den Zielsektoren gehören die Halbleiterfertigung, die Lithium-Ionen-Batterieforschung, die fortschrittliche Optoelektronik, die Präzisionsmetallurgie und Laboratorien zur Katalysatorcharakterisierung. In allen diesen Bereichen ist die Verhinderung unerwünschter Oxidation, Nitrierung oder Verschlechterung durch Luftfeuchtigkeit von entscheidender Bedeutung für die experimentelle Reproduzierbarkeit und die Produktionsausbeute.

Das System wurde mit dem Schwerpunkt auf kontinuierlicher Betriebsfestigkeit entwickelt und verfügt über vollautomatische Doppel-Säulen-Regenerationskapazitäten, pneumatische Ventilblöcke in Industriequalität und hochpräzise Überwachungsinstrumente. Die robuste Edelstahl-Fluidführungsarchitektur gewährleistet Lecksicherheit auch unter erhöhten Betriebsdrücken. Durch die Aufrechterhaltung einer kontinuierlichen Filtration und Regeneration ohne Unterbrechung der nachgeschalteten Gasversorgung gibt dieses Gerät Forschern und Prozessingenieuren absolute Sicherheit bei der langfristigen Atmosphärensteuerung während längerer thermischer Behandlungen und analytischer Auswertungen.

Hauptmerkmale

• Tiefen-Gasreinigung im Sub-PPM-Bereich: Nutzt katalytische Getter-Technologie und synthetische Molekularsiebe zur gleichzeitigen Desoxidation und Dehydratisierung und senkt sowohl Sauerstoff- als auch Feuchtigkeitswerte über kontinuierliche Betriebszyklen hinweg zuverlässig auf weniger als 0,1 ppm (<100 ppb).
• Kontinuierlicher zyklischer Zweisäulenbetrieb: Verfügt über Zwillingsadsorptionssäulen, die für wechselnden Reinigungs- und Regenerationsbetrieb konfiguriert sind, wodurch eine unterbrechungsfreie nachgeschaltete Abgabe von hochreinem Gas bei langwierigen Hochtemperaturprozessen gewährleistet wird.
• Automatisierte thermische Regeneration: Ausgestattet mit integrierten hocheffizienten Heizmänteln und programmierbaren Mikro-Spülsteuerungen, die gesättigte Adsorptionsmittelbetten automatisch vollständig regenerieren, ohne dass eine Demontage oder ein manueller Katalysatorwechsel erforderlich ist.
• Ganzmetall-Ultrahochvakuum-Verrohrung (UHV): Konstruiert aus elektropoliertem 316L-Edelstahlrohr, orbital geschweißten Verbindungen und metallisch dichtenden Stirnflächendichtungsverschraubungen (VCR/Kompression), um Helium-Leckraten unter 1×10⁻⁹ mbar·L/s zu garantieren.
• Echtzeit-Taupunkt- und Sauerstoffüberwachung: Integriert hochpräzise elektrochemische Spurensauerstoffsensoren und keramische Taupunkt-Messumformer, die eine kontinuierliche digitale Überprüfung der Gasqualität direkt auf dem zentralen Touchscreen-Display ermöglichen.
• Intelligente SPS-Steuerung mit intuitiver HMI: Verwendet eine industrielle speicherprogrammierbare Steuerung in Kombination mit einer Vollfarb-Mensch-Maschine-Schnittstelle und bietet automatische Druckregelung, Ein-Tasten-Start/Stopp-Routinen, Fehlerdiagnose und automatische Sicherheitsverriegelungen.
• Überdruck- und Durchflusssicherheitsverriegelungen: Entwickelt mit mehrstufigen ausfallsicheren Mechanismen wie automatischen pneumatischen Absperrventilen, mechanischen Überdruck-Sicherheitsventilen sowie akustisch-visuellen Schwellenwertalarmen zur Verhinderung von nachgeschalteter Kontamination oder Systemüberdruck.
• Vielseitige Speisegaskompatibilität: In der Lage, ein breites Spektrum an technischen Gasen und Trägergasen zu reinigen, einschließlich reinem Argon, Stickstoff, Helium und Formiergasen, wodurch Standard-Industriegasflaschen in Versorgungsleitungen für Forschungszwecke verwandelt werden.

Anwendungen

Technische Daten

Vertraut von Branchenführern