Wissen Kann Kohlenstoff gesputtert werden?
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Technisches Team · Kintek Solution

Aktualisiert vor 1 Woche

Kann Kohlenstoff gesputtert werden?

Ja, Kohlenstoff kann auf eine Probe gesputtert werden. Die dabei entstehenden Schichten weisen jedoch häufig einen hohen Wasserstoffanteil auf, was das Kohlenstoffsputtern für die REM-Arbeiten unerwünscht macht. Dies liegt daran, dass der hohe Wasserstoffgehalt die Klarheit und Genauigkeit der Abbildung in der Elektronenmikroskopie beeinträchtigen kann.

Beim Kohlenstoffsputtern treffen energiereiche Ionen oder neutrale Atome auf die Oberfläche eines Kohlenstofftargets, wodurch einige der Kohlenstoffatome aufgrund der übertragenen Energie herausgeschleudert werden. Diese herausgeschleuderten Atome lagern sich dann auf der Probe ab und bilden einen dünnen Film. Der Prozess wird durch eine angelegte Spannung angetrieben, die Elektronen in Richtung einer positiven Anode beschleunigt und positiv geladene Ionen in Richtung des negativ geladenen Kohlenstofftargets anzieht, wodurch der Sputterprozess eingeleitet wird.

Trotz seiner Machbarkeit ist der Einsatz des Kohlenstoffsputterns für REM-Anwendungen aufgrund der hohen Wasserstoffkonzentrationen in den gesputterten Filmen begrenzt. Diese Einschränkung ist von Bedeutung, da Wasserstoff mit dem Elektronenstrahl in einer Weise interagieren kann, die das Bild verzerrt oder die Analyse der Probe beeinträchtigt.

Eine alternative Methode zur Herstellung hochwertiger Kohlenstoffschichten für REM- und TEM-Anwendungen ist die thermische Verdampfung von Kohlenstoff im Vakuum. Diese Methode vermeidet die Probleme, die mit einem hohen Wasserstoffgehalt verbunden sind, und kann entweder mit Kohlenstofffasern oder Kohlenstoffstäben durchgeführt werden, wobei letztere Technik als Brandley-Methode bekannt ist.

Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Kohlenstoff zwar technisch auf eine Probe aufgesputtert werden kann, seine praktische Anwendung im REM jedoch aufgrund des hohen Wasserstoffgehalts in den gesputterten Filmen begrenzt ist. Andere Methoden wie die thermische Verdampfung werden bevorzugt, um hochwertige Kohlenstoffschichten in der Elektronenmikroskopie zu erhalten.

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