Wissen Kann Kohlenstoff gesputtert werden? 5 wichtige Punkte zu beachten
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Technisches Team · Kintek Solution

Aktualisiert vor 1 Monat

Kann Kohlenstoff gesputtert werden? 5 wichtige Punkte zu beachten

Ja, Kohlenstoff kann auf eine Probe aufgesputtert werden.

Die dabei entstehenden Schichten haben jedoch oft einen hohen Wasserstoffanteil.

Das macht das Kohlenstoffsputtern für die REM-Arbeit unerwünscht.

Der hohe Wasserstoffgehalt kann die Klarheit und Genauigkeit der Abbildung in der Elektronenmikroskopie beeinträchtigen.

5 Wichtige Punkte, die zu beachten sind

Kann Kohlenstoff gesputtert werden? 5 wichtige Punkte zu beachten

1. Was ist Kohlenstoffsputtern?

Bei der Kohlenstoffzerstäubung treffen energiereiche Ionen oder neutrale Atome auf die Oberfläche eines Kohlenstofftargets.

Dabei wird ein Teil der Kohlenstoffatome aufgrund der übertragenen Energie herausgeschleudert.

Diese herausgeschleuderten Atome lagern sich dann auf der Probe ab und bilden einen dünnen Film.

2. Die Rolle der Spannung beim Sputtern

Der Prozess wird durch eine angelegte Spannung angetrieben.

Diese Spannung beschleunigt die Elektronen in Richtung einer positiven Anode.

Sie zieht auch positiv geladene Ionen in Richtung des negativ geladenen Kohlenstofftargets an.

Dadurch wird der Sputterprozess in Gang gesetzt.

3. Probleme mit dem Wasserstoffgehalt

Trotz ihrer Durchführbarkeit ist die Verwendung der Kohlenstoffzerstäubung für SEM-Anwendungen begrenzt.

Dies liegt an den hohen Wasserstoffkonzentrationen in den gesputterten Filmen.

Wasserstoff kann mit dem Elektronenstrahl so interagieren, dass das Bild verzerrt oder die Analyse der Probe beeinträchtigt wird.

4. Alternative Methoden

Eine alternative Methode zur Herstellung hochwertiger Kohlenstoffschichten für REM- und TEM-Anwendungen ist die thermische Verdampfung von Kohlenstoff im Vakuum.

Bei dieser Methode werden die mit einem hohen Wasserstoffgehalt verbundenen Probleme vermieden.

Sie kann entweder mit Kohlenstofffasern oder mit einem Kohlenstoffstab durchgeführt werden, wobei letzteres eine als Brandley-Methode bekannte Technik ist.

5. Praktische Anwendung im SEM

Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Kohlenstoff zwar technisch auf eine Probe aufgesputtert werden kann, seine praktische Anwendung im REM jedoch aufgrund des hohen Wasserstoffgehalts in den gesputterten Filmen begrenzt ist.

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