thermische Verdampfungsquellen

Moderne thermische Verdampfungsquellen für die präzise Dünnschichtabscheidung

Thermische Verdampfungsquellen spielen eine zentrale Rolle im Prozess der Dünnschichtabscheidung, einer Technik, die in Branchen wie der Halbleiterherstellung, Optik und Elektronik weit verbreitet ist. Unser Angebot an thermischen Verdampfungsquellen, einschließlich Molybdän-/Wolfram-/Tantal-Verdampfungsbooten, Elektronenstrahl-Verdampfungstiegeln und Graphit-Verdampfungstiegeln, wurde entwickelt, um die strengen Anforderungen dieser Anwendungen zu erfüllen.

Hauptmerkmale und -prinzipien

Während des Betriebs fließt elektrischer Strom durch Versorgungsstäbe in die Quelle, was eine Widerstandserhitzung auf hohe Temperaturen ermöglicht. Bei diesem Erhitzungsprozess schmilzt und verdampft das unterstützte Verdampfungsmittel und setzt Dampf frei, der sich durch das Kammervakuum bewegt und ein Substrat beschichtet. Die Wahl der Quelle ist von entscheidender Bedeutung, da sie die Effizienz und Reinheit des Beschichtungsprozesses bestimmt. Unsere Quellen sind mit einer kastenförmigen Abschirmung ausgestattet, um die Effizienz zu verbessern und die Emission von IR-Strahlung und Abscheidungsmaterial in unerwünschte Richtungen zu begrenzen.

Vorteile unserer Quellen für die thermische Verdampfung

1. Hohe Abscheideraten: Unsere Quellen gewährleisten eine schnelle und effiziente Abscheidung, die für Anwendungen mit hohem Durchsatz entscheidend ist.
2. Ausgezeichnete Gleichmäßigkeit: Die Verwendung von Masken und Planetensystemen gewährleistet eine gleichmäßige Beschichtung des Substrats.
3. Niedrige Verunreinigungsniveaus: Elektronenstrahl-Verdampfungsmethoden bieten niedrige Verunreinigungsgrade und gewährleisten hochreine Beschichtungen.
4. Vielseitigkeit: Geeignet für eine Vielzahl von Materialien, einschließlich Metallen, Legierungen und Nichtmetallen.
5. Anpassbare Lösungen: Wir bieten anpassbare Verdampfungsquellen an, um spezifische Kundenanforderungen zu erfüllen und eine optimale Leistung für einzigartige Anwendungen zu gewährleisten.

Anwendungen

Unsere thermischen Aufdampfquellen werden in verschiedenen Anwendungen eingesetzt, darunter:

• Halbleiterherstellung: Für die Abscheidung von Dünnschichten in integrierten Schaltkreisen.
• Optik: Bei der Herstellung von optischen Beschichtungen für Linsen und Spiegel.
• Elektronik: Für die Herstellung von leitenden und isolierenden Schichten in elektronischen Geräten.
• Forschung und Entwicklung: In Labors für die Forschung und Entwicklung fortschrittlicher Materialien.

Warum uns wählen?

Unser Fachwissen auf dem Gebiet der thermischen Verdampfungsquellen beruht auf jahrelanger Erfahrung und unserem Engagement für Qualität. Wir bieten nicht nur Hochleistungsprodukte, sondern auch umfassende technische Unterstützung und kundenspezifische Dienstleistungen. Ganz gleich, ob Sie Standardverdampfungsquellen oder maßgeschneiderte Lösungen benötigen, wir sind da, um Ihre Anforderungen zu erfüllen.

Wenn Sie weitere Informationen wünschen oder Ihre speziellen Anforderungen besprechen möchten, nehmen Sie bittekontaktieren Sie uns. Unser Expertenteam ist bereit, Sie bei der Erzielung der besten Ergebnisse für Ihre Dünnschicht-Beschichtungsprozesse zu unterstützen.

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