Bei der Sputterbeschichtung für das REM wird in der Regel eine ultradünne, elektrisch leitende Metallschicht mit einer Dicke von 2-20 nm aufgebracht. Diese Beschichtung ist entscheidend für nicht oder schlecht leitende Proben, um Aufladungen zu verhindern und das Signal-Rausch-Verhältnis bei der REM-Bildgebung zu verbessern.
Ausführliche Erläuterung:
-
Zweck der Sputter-Beschichtung:
-
Die Sputterbeschichtung dient in erster Linie dazu, eine dünne Schicht aus leitfähigem Metall auf nicht oder schlecht leitfähige Proben aufzutragen. Diese Schicht hilft dabei, die Ansammlung statischer elektrischer Felder zu verhindern, die den Abbildungsprozess im REM stören können. Auf diese Weise wird auch die Emission von Sekundärelektronen von der Probenoberfläche verstärkt, wodurch das Signal-Rausch-Verhältnis und die Gesamtqualität der REM-Bilder verbessert werden.Typische Dicke:
-
Die Dicke der gesputterten Schichten liegt normalerweise zwischen 2 und 20 nm. Dieser Bereich wird gewählt, um sicherzustellen, dass die Beschichtung dünn genug ist, um die feinen Details der Probe nicht zu verdecken, aber dick genug, um eine effektive elektrische Leitfähigkeit zu gewährleisten und Aufladung zu verhindern. Für REM mit geringerer Vergrößerung sind Beschichtungen von 10-20 nm im Allgemeinen ausreichend und beeinträchtigen die Bildgebung nicht wesentlich. Für REM mit höherer Vergrößerung, insbesondere bei Auflösungen von weniger als 5 nm, werden jedoch dünnere Beschichtungen (bis zu 1 nm) bevorzugt, um eine Verdeckung der Probendetails zu vermeiden.
-
Verwendete Materialien:
Zu den gängigen Metallen für die Sputterbeschichtung gehören Gold (Au), Gold/Palladium (Au/Pd), Platin (Pt), Silber (Ag), Chrom (Cr) und Iridium (Ir). Diese Materialien werden aufgrund ihrer Leitfähigkeit und ihrer Fähigkeit, die Abbildungsbedingungen im REM zu verbessern, ausgewählt. In manchen Fällen ist eine Kohlenstoffbeschichtung vorzuziehen, insbesondere bei Anwendungen wie der Röntgenspektroskopie und der Elektronenrückstreuung (EBSD), wo eine Vermischung von Informationen aus der Beschichtung und der Probe unbedingt vermieden werden muss.
Vorteile der Sputter-Beschichtung:
