Argon wird aufgrund seiner einzigartigen Eigenschaften, die es zur idealen Wahl für dieses Verfahren machen, häufig beim Sputtern verwendet.
Warum wird Argon-Gas beim Sputtern verwendet? - 5 Hauptgründe werden erklärt
1. Hohe Sputtering-Rate
Argon hat eine hohe Sputtering-Rate.
Das bedeutet, dass es beim Beschuss mit Argon-Ionen effizient Material von der Oberfläche des Targets abträgt.
Diese Effizienz ist entscheidend, um eine hohe Abscheidungsrate des gewünschten Materials auf dem Substrat zu erreichen.
2. Inerte Natur
Argon ist ein inertes Gas.
Das bedeutet, dass es nicht ohne Weiteres mit anderen Elementen reagiert.
Diese Eigenschaft ist von entscheidender Bedeutung bei Sputterprozessen, bei denen die Unversehrtheit des Zielmaterials und die Reinheit der abgeschiedenen Schicht entscheidend sind.
Die Inertheit von Argon stellt sicher, dass das Targetmaterial während des Sputterprozesses nicht chemisch verändert wird und die gewünschten Eigenschaften der abgeschiedenen Schicht erhalten bleiben.
3. Niedriger Preis und Verfügbarkeit
Argon ist relativ kostengünstig und in hoher Reinheit weithin verfügbar.
Dies macht es zu einer kosteneffektiven Wahl für Industrie- und Laboranwendungen.
Die Zugänglichkeit und Erschwinglichkeit von Argon tragen dazu bei, dass es beim Sputtern, bei dem oft große Gasmengen benötigt werden, weit verbreitet ist.
4. Prozess-Flexibilität
Das Sputtern mit Argon kann mit verschiedenen Arten von Entladungen durchgeführt werden.
Dazu gehören DC (Gleichstrom), RF (Hochfrequenz) und AC (Wechselstrom).
Dies ermöglicht eine flexible Anpassung des Prozesses an unterschiedliche Materialien und Anwendungen.
5. Qualitätskontrolle
Die Verwendung von hochreinem Argon ist unerlässlich, um zu verhindern, dass Verunreinigungen von der Zieloberfläche auf das Substrat gelangen.
Dies könnte die Eigenschaften der Dünnschicht, wie etwa die elektrische Leitfähigkeit, beeinträchtigen.
Daher sind auch die Qualität des Targetmaterials und die im Sputterprozess verwendete Ausrüstung entscheidende Faktoren für die Gewährleistung einer hochwertigen Schichtabscheidung.
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