Teile zur Dünnschichtabscheidung
E-Strahl-Tiegel Elektronenkanone Strahl-Tiegel für Verdampfung
Artikelnummer : KES01
Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen
- Material
- Tantal / Molybdän / Wolfram
- Spezifikation
- 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC
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Anwendung
Die Elektronenkanone erzeugt einen leistungsstarken Elektronenstrahl, der auf den Tiegel gerichtet ist. Die Elektronen erhitzen das Material im Tiegel, bis es zu Atomen oder Molekülclustern wird. Diese Wolke kann dann auf eine Oberfläche aufgedampft werden, um einen dünnen Film zu bilden. Bei der Elektronenkanonen-Strahlenverdampfung ist der Tiegel wie ein Gefäß, das das aufzudampfende Material enthält und erhitzt. Er besteht aus speziellem Material, das hohen Temperaturen standhält, ohne zu schmelzen. Sie helfen, die Wärme auf das verdampfende Material zu konzentrieren.
Er wird hauptsächlich für Folgendes verwendet:
- Dünnschichtabscheidung: Weit verbreitet in Dünnschichtabscheidungstechnologien wie Elektronenstrahlverdampfung, Dünnschichtproduktion von elektronischen Geräten, optischen Beschichtungen und Oberflächenmodifikation von Materialien.
- Halbleiterindustrie: Abscheidung von dünnen Metallschichten als Verbindungen, ohmsche Kontakte und Diffusionsbarrieren.
- Optik und Optoelektronik: Optische Beschichtungen, Antireflexbeschichtungen und Spiegel für verschiedene optische Geräte.
Detail & Teile
Technische Spezifikationen
| Produkt | Molybdän/Wolfram-Tiegel | Bornitrid-Tiegel/Leitfähiger Bornitrid-Tiegel | Graphit-Tiegel/Beschichteter Graphit-Tiegel | Pyrolytische Graphit-beschichtete Tiegel | Nickel-Tiegel | Titan-Tiegel | Kupfer-Tiegel | Aluminiumoxid-Tiegel |
| Spezifikation | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC | 4CC | 4CC | 4CC / 2CC / 40CC | 4CC |
Die von uns gezeigten Tiegel sind in verschiedenen Größen erhältlich, kundenspezifische Größen sind auf Anfrage erhältlich.
Vorteil
- Höhere Verdampfungsrate.
- Verbesserte Wärmestabilität; gleichmäßige Erwärmung.
- Reduzierte Wärmeübertragung zum Tiegel; gute Wärmeisolationsleistung.
- Ermöglicht schnelle Materialwechsel, um Ausfallzeiten der Kammer zu minimieren.
- Vakuumkompatibilität; hochreine Membran.
- Vielseitigkeit; unterstützt mehrere Materialien.
- Minimiert Tiegelbeschädigungen und Wartungsaufwand.
- Diese Vorteile machen den Elektronenkanonen-Strahl-Tiegel zu einem wichtigen Werkzeug im Dünnschichtabscheidungsprozess, der präzise Kontrolle, hohe Abscheidungsraten und hochwertige Dünnschichten für verschiedene Industrien und Forschungsbereiche bietet.
Vertraut von Branchenführern
FAQ
Was Sind Thermische Verdampfungsquellen?
Vergleich Von Thermischer Verdampfung Und Elektronenstrahlverdampfung.
Was Sind Die Wichtigsten Arten Von Thermischen Verdampfungsquellen?
Wie Funktionieren Thermische Verdampfungsquellen?
Welche Materialien Werden üblicherweise Für Verdampfertiegel Verwendet?
Welche Vorteile Bietet Die Verwendung Von Thermischen Verdampfungsquellen?
Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Von Abdampftiegeln?
Für Welche Anwendungen Werden Thermische Verdampfungsquellen Eingesetzt?
Wie Sollten Verdampfertiegel Gehandhabt Und Gewartet Werden?
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