Teile zur Dünnschichtabscheidung
Elektronenkanonenstrahltiegel
Artikelnummer : KES01
Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen
- Material
- Tantal / Molybdän / Wolfram
- Spezifikation
- 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC
Versand:
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Die Elektronenkanone erzeugt einen starken Elektronenstrahl, der auf den Tiegel gerichtet ist. Die Elektronen erhitzen das Material im Tiegel, bis es zu Atomen oder Molekülclustern wird. Diese Wolke kann dann auf einer Oberfläche abgeschieden werden, um einen dünnen Film zu bilden. Bei der Elektronenstrahlverdampfung ist der Tiegel wie ein Gefäß, das das abzuscheidende Material aufnimmt und erhitzt. Es besteht aus einem speziellen Material, das hohen Temperaturen standhält, ohne zu schmelzen. Sie helfen dabei, die Wärme auf das verdampfende Material zu konzentrieren.
Es wird hauptsächlich für Folgendes verwendet:
- Dünnschichtabscheidung: Weit verbreitet in Dünnschichtabscheidungstechnologien wie der Elektronenstrahlverdampfung, der Dünnschichtproduktion elektronischer Geräte, der optischen Beschichtung und der Oberflächenmodifikation von Materialien.
- Halbleiterindustrie: Abscheidung dünner Metallfilme als Verbindungen, ohmsche Kontakte und Diffusionsbarrieren.
- Optik und Optoelektronik: Optische Beschichtungen, Antireflexbeschichtungen und Spiegel für verschiedene optische Geräte.
Details & Teile
Technische Spezifikationen
| Produkt | Molybdän/Wolfram-Tiegel | Tiegel aus Bornitrid/leitender Tiegel aus Bornitrid | Graphittiegel/beschichteter Graphittiegel | Mit Pyrolysegraphit beschichtete Tiegel | Nickeltiegel | Titantiegel | Kupfertiegel | Tiegel aus Aluminiumoxid |
| Spezifikation | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC | 4CC | 4CC | 4CC / 2CC / 40CC | 4CC |
Die von uns gezeigten Tiegel sind in verschiedenen Größen erhältlich, Sondergrößen sind auf Anfrage möglich.
Vorteil
- Höhere Verdunstungsrate.
- Verbessern Sie die Hitzestabilität; gleichmäßige Erwärmung.
- Reduzieren Sie die auf den Tiegel übertragene Wärme. gute Wärmedämmleistung.
- Ermöglicht schnelle Materialwechsel, um die Ausfallzeiten der Kammer zu minimieren.
- Vakuumkompatibilität; hochreine Membran.
- Vielseitigkeit; unterstützt mehrere Materialien.
- Minimiert Tiegelschäden und Wartungsaufwand.
- Diese Vorteile machen den Elektronenkanonenstrahltiegel zu einem wichtigen Werkzeug im Dünnschichtabscheidungsprozess und bieten eine präzise Steuerung, eine hohe Abscheidungsrate und eine hochwertige Dünnschicht für verschiedene Industrien und Forschungsbereiche.
FAQ
Was Sind Thermische Verdampfungsquellen?
Vergleich Von Thermischer Verdampfung Und Elektronenstrahlverdampfung.
Was Sind Die Wichtigsten Arten Von Thermischen Verdampfungsquellen?
Wie Funktionieren Thermische Verdampfungsquellen?
Welche Materialien Werden üblicherweise Für Verdampfertiegel Verwendet?
Welche Vorteile Bietet Die Verwendung Von Thermischen Verdampfungsquellen?
Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Von Abdampftiegeln?
Für Welche Anwendungen Werden Thermische Verdampfungsquellen Eingesetzt?
Wie Sollten Verdampfertiegel Gehandhabt Und Gewartet Werden?
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