Teile zur Dünnschichtabscheidung
Elektronenkanonenstrahltiegel
Artikelnummer : KES01
Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen
- Material
- Tantal / Molybdän / Wolfram
- Spezifikation
- 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC
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Die Elektronenkanone erzeugt einen starken Elektronenstrahl, der auf den Tiegel gerichtet wird.Die Elektronen erhitzen das Material im Tiegel, bis es zu Atomen oder Molekülclustern wird.Bei der Elektronenstrahlverdampfung ist der Tiegel eine Art Gefäß, in dem das aufzubringende Material aufbewahrt und erhitzt wird.Er besteht aus einem speziellen Material, das hohen Temperaturen standhalten kann, ohne zu schmelzen.Sie helfen, die Hitze auf das zu verdampfende Material zu konzentrieren.
Sie werden hauptsächlich für folgende Zwecke verwendet:
- Dünnschichtabscheidung:Weit verbreitet in Dünnschichttechnologien wie der Elektronenstrahlverdampfung, der Dünnschichtproduktion von elektronischen Geräten, der optischen Beschichtung und der Oberflächenmodifizierung von Materialien.
- Halbleiterindustrie: Abscheidung von dünnen Metallschichten als Zwischenverbindungen, ohmsche Kontakte und Diffusionsbarrieren.
- Optik und Optoelektronik:Optische Beschichtungen, Antireflexbeschichtungen und Spiegel für verschiedene optische Geräte.
Detail & Teile
Technische Daten
| Produkt | Molybdän/Wolfram-Tiegel | Bornitrid-Tiegel/Leitfähiger Bornitrid-Tiegel | Graphit-Tiegel/Beschichteter Graphit-Tiegel | Tiegel mit pyrolytischem Graphitbeschichtung | Nickel-Tiegel | Tiegel aus Titan | Kupfer-Tiegel | Tonerde-Tiegel |
| Spezifikation | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4 CM³ / 7 CM³ / 15 CM³ / 25 CM³ / 40 CM³ | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC | 4CC | 4CC | 4CC / 2CC / 40CC | 4CC |
Die von uns gezeigten Tiegel sind in verschiedenen Größen erhältlich, und auf Anfrage sind auch Sondergrößen möglich.
Vorteil
- Höhere Verdampfungsrate.
- Verbesserte Wärmestabilität; gleichmäßige Erwärmung.
- Reduziert die auf den Tiegel übertragene Wärme; gute Wärmedämmungsleistung.
- Ermöglicht schnelle Materialwechsel, um die Stillstandszeiten der Kammer zu minimieren.
- Vakuumkompatibilität; hochreine Membran.
- Vielseitigkeit; unterstützt mehrere Materialien.
- Minimale Beschädigung und Wartung des Tiegels.
- Diese Vorteile machen den Elektronenstrahltiegel zu einem wichtigen Werkzeug im Dünnschichtabscheidungsprozess, das eine präzise Steuerung, eine hohe Abscheidungsrate und eine hohe Qualität der Dünnschicht für verschiedene Industriezweige und Forschungsbereiche bietet.
FAQ
Was Sind Thermische Verdampfungsquellen?
Vergleich Von Thermischer Verdampfung Und Elektronenstrahlverdampfung.
Was Sind Die Wichtigsten Arten Von Thermischen Verdampfungsquellen?
Wie Funktionieren Thermische Verdampfungsquellen?
Welche Materialien Werden üblicherweise Für Verdampfertiegel Verwendet?
Welche Vorteile Bietet Die Verwendung Von Thermischen Verdampfungsquellen?
Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Von Abdampftiegeln?
Für Welche Anwendungen Werden Thermische Verdampfungsquellen Eingesetzt?
Wie Sollten Verdampfertiegel Gehandhabt Und Gewartet Werden?
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