Diffusionspumpen sind unverzichtbare Werkzeuge für verschiedene industrielle Anwendungen, insbesondere für solche, die Hoch- und Ultrahochvakuum erfordern.
Was sind die 8 wichtigsten Merkmale einer Diffusionspumpe?
1. Hohes Saugvermögen
Diffusionspumpen bieten ein hohes Saugvermögen für alle Gase.
Dies macht sie ideal für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen.
Sie können ein Saugvermögen von 10^-2 bis 10^-10 Torr erreichen.
2. Keine beweglichen Teile
Diffusionspumpen sind langlebig und zuverlässig, da sie keine beweglichen Teile haben.
Dadurch entfällt der Wartungsaufwand und das Risiko eines mechanischen Ausfalls wird reduziert.
3. Einfaches Arbeitsprinzip
Die Funktionsweise einer Diffusionspumpe ist sehr einfach.
Sie besteht aus zwei Hauptelementen: dem Diffusionspumpenöl und einem Heizer.
Der Heizer erhitzt das Öl auf seine Siedetemperatur, und der aufsteigende Öldampf wird in einem vertikal verjüngten Stapel mit Düsenöffnungen komprimiert.
Die abgewinkelten Düsen erzeugen einen Dampfschirm, der die Luftmoleküle einfängt.
4. Automatisches Abpumpen des Vakuums
Der Betrieb einer Diffusionspumpe ist automatisch und verriegelt.
Eine Haltepumpe sorgt dafür, dass in der Vorlaufleitung der Diffusionspumpe stets ein niedriger Druck herrscht.
Dadurch wird das Zurückfließen von Pumpenölen in die Kammer verhindert.
5. Kompatibilität mit verschiedenen Anwendungen
Diffusionspumpen sind in industriellen Anwendungen wie Elektronenstrahlmikroskopie, Vakuumbeschichtung, Beschichtungen und Vakuumöfen weit verbreitet.
Sie sind vielseitig einsetzbar und können eine Reihe von Prozessen bewältigen.
6. Hochvakuum-Fähigkeit
Diffusionspumpen können Hochvakuumniveaus von unter 10^-10 Torr erreichen.
Dadurch eignen sie sich für Anwendungen, die extrem niedrige Drücke erfordern.
7. Kostengünstig
Diffusionspumpen bieten im Vergleich zu anderen Pumpenarten, die im gleichen Vakuumbereich eingesetzt werden, niedrige Kosten pro Saugvermögenseinheit.
Dies macht sie zu einer attraktiven Option für industrielle Anwendungen.
8. Pumpe mit Flüssigkeitsansaugung
Diffusionspumpen arbeiten als Flüssigkeitsmitnahmepumpen und nicht als Gasverdrängungspumpen.
Sie fangen Luftmoleküle mit Hilfe des Dampfes einer siedenden Flüssigkeit ein, die dann an einen anderen Ort transportiert und gekühlt wird, um die eingeschlossenen Luftmoleküle freizusetzen.
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