Die wichtigsten Merkmale einer Diffusionspumpe sind folgende:
1. Hohes Saugvermögen: Diffusionspumpen haben ein hohes Saugvermögen für alle Gase und eignen sich daher für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen. Sie können ein Saugvermögen von 10-2 bis 10-10 Torr erreichen.
2. Keine beweglichen Teile: Diffusionspumpen sind langlebig und zuverlässig, da es keine beweglichen Teile gibt. Dadurch entfällt die Notwendigkeit der Wartung und das Risiko eines mechanischen Versagens wird reduziert.
3. Einfaches Funktionsprinzip: Der Betrieb einer Diffusionspumpe beruht auf zwei Elementen - dem Diffusionspumpenöl und einem Heizer. Das Heizgerät erhitzt das Öl auf seine Siedetemperatur, und der aufsteigende Öldampf wird in einem vertikal verjüngten Stapel mit Düsenöffnungen komprimiert. Die abgewinkelten Düsen erzeugen einen Dampfschirm, der die Luftmoleküle einfängt.
4. Automatisches Abpumpen des Vakuums: Der Betrieb einer Diffusionspumpe ist automatisch und verriegelt. Eine Haltepumpe sorgt dafür, dass in der Vorlaufleitung der Diffusionspumpe stets ein niedriger Druck herrscht. Dadurch wird das Zurückfließen von Pumpenölen in die Kammer verhindert.
5. Kompatibilität mit verschiedenen Anwendungen: Diffusionspumpen sind in industriellen Anwendungen wie Elektronenstrahlmikroskopie, Vakuumabscheidung, Beschichtungen und Vakuumöfen weit verbreitet. Sie sind vielseitig und können eine Reihe von Prozessen verarbeiten.
6. Hochvakuumfähigkeit: Diffusionspumpen können ein Hochvakuum von unter 10-10 Torr erreichen. Dadurch eignen sie sich für Anwendungen, die extrem niedrige Drücke erfordern.
7. Kostengünstig: Diffusionspumpen bieten im Vergleich zu anderen Pumpentypen, die im gleichen Vakuumbereich eingesetzt werden, niedrige Kosten pro Saugvermögenseinheit. Dies macht sie zu einer attraktiven Option für industrielle Anwendungen.
8. Flüssigkeitsmitnahmepumpe: Diffusionspumpen arbeiten als Flüssigkeitsmitnahmepumpen und nicht als Gasverdrängerpumpen. Sie fangen Luftmoleküle mit Hilfe des Dampfes einer siedenden Flüssigkeit ein, die dann an einen anderen Ort transportiert und abgekühlt wird, um die eingeschlossenen Luftmoleküle freizusetzen.
Insgesamt bieten Diffusionspumpen ein hohes Saugvermögen, Langlebigkeit, Einfachheit und Kosteneffizienz, was sie zu einer beliebten Wahl für das Erreichen hoher Vakuumniveaus in verschiedenen industriellen Anwendungen macht.
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