Diffusionspumpen sind wesentliche Bestandteile vieler industrieller Anwendungen, insbesondere solcher, die ein hohes Vakuum erfordern.
Was sind die 9 wichtigsten Merkmale einer Diffusionspumpe?
1. Keine beweglichen Teile
Diffusionspumpen haben keine beweglichen Teile.
Das macht sie langlebig und zuverlässig.
Das Risiko eines mechanischen Ausfalls ist geringer.
2. Großer Druckbereich
Diffusionspumpen können in einem weiten Druckbereich arbeiten, von 10-10 bis 10-2 mbar.
Dadurch sind sie für verschiedene Anwendungen geeignet.
Dazu gehören Elektronenstrahlmikroskopie, Vakuumabscheidung, Beschichtungen und Vakuumöfen.
3. Konvektionsgetrieben
Diffusionspumpen werden durch Konvektion und nicht durch mechanische Mittel angetrieben.
Dies führt zu einer geringen Energieeffizienz.
Es ermöglicht jedoch ein einfaches Funktionsprinzip.
4. Abpumpen von Vakuum
Diffusionspumpen verfügen über eine automatische Vakuumpumpfunktion.
Sie sind mit einer Haltepumpe verriegelt.
Dies hilft, einen niedrigen Druck in der Vorlaufleitung der Diffusionspumpe aufrechtzuerhalten.
Außerdem wird das Zurückfließen von Pumpenölen in die Kammer verhindert.
5. Dampffilterung
Diffusionspumpen nutzen den Dampf einer siedenden Flüssigkeit (in der Regel Öl) zum Einfangen von Luftmolekülen.
Der Dampf wird in einem vertikal verjüngten Stapel mit Düsenöffnungen komprimiert.
Dadurch entsteht ein Dampfschirm, der die Luft einfängt.
Die Luftmoleküle werden dann an einen anderen Ort transportiert und abgekühlt, wodurch sie freigesetzt werden.
6. Kombination von Schwerkraft und Dampfströmung
Die Kombination aus Schwerkraft und der Abwärtsbewegung der Dämpfe in einer Diffusionspumpe trägt dazu bei, dass die Luftmoleküle zum Boden der Pumpe bewegt werden.
7. Kompatibilität und Widerstandsfähigkeit
Eine gute Diffusionspumpe sollte eine hohe Korrosionsbeständigkeit aufweisen.
Sie sollte auch eine hohe Kondensatverträglichkeit und universelle chemische Beständigkeit aufweisen.
Dadurch wird sichergestellt, dass sie mit verschiedenen Substanzen umgehen kann, ohne dass diese abgebaut oder beschädigt werden.
8. Langlebigkeit und geringer Wartungsaufwand
Diffusionspumpen sind für ihre Langlebigkeit und Zuverlässigkeit bekannt, da sie keine beweglichen Teile haben.
Sie erfordern nur einen minimalen Wartungsaufwand, was sie auf lange Sicht kosteneffizient macht.
9. Integration in das Pumpensystem
Diffusionspumpen werden häufig in ein größeres Pumpsystem integriert.
Sie werden in der Regel zwischen 10 und 1 Mikron aktiviert.
Sie arbeiten mit mechanischen Pumpen und Druckerhöhungspumpen zusammen, um ein hohes Vakuumniveau zu erreichen.
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