Vakuumpumpen werden hauptsächlich in fünf Typen eingeteilt: Flüssigkeitsring-, Membran-, Drehschieber-, Turbomolekular- und Scroll-Vakuumpumpen. Diese Pumpen unterscheiden sich in ihren Funktionsprinzipien, Wartungsanforderungen und ihrer Eignung für bestimmte Anwendungen. Die Wahl einer Vakuumpumpe hängt von Faktoren wie der Art des benötigten Vakuums, der Robustheit der Technologie und den Kosten ab.
Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen nutzen eine Flüssigkeit, um eine Dichtung zu bilden und durch rotierende Laufräder ein Vakuum zu erzeugen. Sie sind dafür bekannt, dass sie mit nassen und korrosiven Gasen umgehen können, und werden häufig in Prozessen eingesetzt, bei denen ein großes Gasvolumen evakuiert werden muss.
Membran-Vakuumpumpen verwenden ein Membran- und Ventilsystem zum Pumpen von Gasen. Es handelt sich um trockene Pumpen, d. h. sie verwenden kein Öl oder andere Schmiermittel in der Vakuumkammer, wodurch sie sich für Anwendungen eignen, die ein sauberes Vakuum erfordern. Diese Pumpen werden wegen ihres geringen Wartungsaufwands und der geringen Abfallerzeugung bevorzugt, sind jedoch mit höheren Anschaffungskosten verbunden.
Drehschieber-Vakuumpumpen sind Verdrängerpumpen, die mit Hilfe eines Rotationsmechanismus Gas in einen begrenzten Raum ansaugen und dann ausstoßen. Sie sind vielseitig einsetzbar und können in einem breiten Spektrum von Vakuumniveaus arbeiten, vom Grob- bis zum Hochvakuum. Diese Pumpen sind für ihre Zuverlässigkeit und Robustheit bekannt, müssen jedoch regelmäßig gewartet werden, um eine optimale Leistung zu gewährleisten.
Turbomolekulare Vakuumpumpen arbeiten nach dem Prinzip der Impulsübertragung, bei dem Gasmoleküle durch eine Reihe von rotierenden Schaufeln vom Einlass zum Auslass transportiert werden. Sie sind in der Lage, sehr hohe und ultrahohe Vakua zu erreichen und werden häufig in der wissenschaftlichen Forschung und der Halbleiterherstellung eingesetzt.
Scroll-Vakuumpumpen verwenden zwei ineinandergreifende Scrolls, um Gas zu komprimieren und zu evakuieren. Es handelt sich um trockene Pumpen, die sich durch ihren leisen Betrieb und geringe Vibrationen auszeichnen. Diese Pumpen sind ideal für Anwendungen, die ein sauberes, ölfreies Vakuum erfordern.
Neben diesen Typen lassen sich Vakuumpumpen auch nach ihrem Funktionsprinzip in Gasförder- und Einschlusspumpen einteilen. Die Gasförderpumpen lassen sich weiter in Verdränger- und Impulspumpen unterteilen. Die Kenntnis der Strömungsarten (viskos, Übergangs- und Molekularströmung) ist von entscheidender Bedeutung, da sie die Leistung und die Auswahl von Vakuumpumpen beeinflusst.
Insgesamt hängt die Auswahl einer Vakuumpumpe von den spezifischen Anforderungen der Anwendung ab, einschließlich des gewünschten Vakuumniveaus, der Art der zu fördernden Gase und der Betriebsumgebung. Jede Art von Vakuumpumpe bietet einzigartige Vorteile und eignet sich für unterschiedliche industrielle und wissenschaftliche Anwendungen.
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