Eine Diffusionspumpe kann je nach erforderlichem Vakuumniveau unterschiedliche Temperaturen erreichen. Hier sind die Temperaturen für verschiedene Vakuumbereiche:
- Für einen Vakuumbereich von 10-9 bis 10-10 Torr beträgt die Temperatur der Diffusionspumpe 245°C.
- Für einen Vakuumbereich von 10-7 bis 10-8 Torr beträgt die Temperatur der Diffusionspumpe 220°C.
- Für einen Vakuumbereich von 10-5 bis 10-6 Torr beträgt die Temperatur der Diffusionspumpe 180°C.
Der Betrieb einer Diffusionspumpe hängt von zwei Elementen ab: dem Diffusionspumpenöl und einem Heizelement. Der Heizer erhitzt die Kesselplatte, die das Öl auf Siedetemperatur bringt. Der aufsteigende Öldampf wird in einem vertikal verjüngten Schornstein mit Düsenöffnungen entlang seiner Höhe komprimiert. Die Düsen sind angewinkelt, so dass ein Dampfschirm entsteht, der die Luft einfängt und es der Pumpe ermöglicht, ein Vakuum zu erzeugen.
Es ist wichtig zu wissen, dass Diffusionspumpenöl mit der Zeit verunreinigt werden kann, was zu Problemen führen kann. Eine Verunreinigung kann auftreten, wenn sich das in der Arbeitslast enthaltene Öl beim Erhitzen verflüchtigt und in die Diffusionspumpe wandert. Dies kann den Flammpunkt des Öls herabsetzen und möglicherweise zu Überhitzung und sogar Explosionen führen. Um einen sicheren und effizienten Betrieb zu gewährleisten, wird daher eine regelmäßige Wartung empfohlen, die mindestens einen jährlichen Wechsel des Diffusionspumpenöls und eine regelmäßige Demontage und Reinigung der Düsenbaugruppe und der inneren Teile der Diffusionspumpe umfasst.
In Bezug auf die Wärmeübertragung und die Verlustleistung können Diffusionspumpen bei der Aufrechterhaltung der Temperaturgleichmäßigkeit und der Vermeidung von Gaslecks vor Herausforderungen stehen. Der Einsatz von Lüftern, eine gängige Lösung für Probleme mit der Temperaturgleichmäßigkeit bei Gas, eignet sich möglicherweise nicht für Diffusionspumpen, die mit hohem Druck arbeiten. Der Freiraum um die Gebläsewelle kann zu erheblichen Gaslecks führen, die die Vakuumintegrität beeinträchtigen. Daher sind möglicherweise alternative Lösungen erforderlich, um diese Probleme zu lösen.
In einem konkreten Fall ergab eine Untersuchung, dass die Überhitzung einer Diffusionspumpe durch einen Mangel an Kühlwasser verursacht wurde, weil eine Wasserleitung durch Mineralablagerungen verstopft war. Dies führte zu einer Überhitzung des auf Silikon basierenden Diffusionspumpenöls. Um solche Probleme zu vermeiden, ist es wichtig, für eine angemessene Kühlung und Wartung der Diffusionspumpe zu sorgen.
Insgesamt arbeitet eine Diffusionspumpe je nach erforderlichem Vakuumniveau bei unterschiedlichen Temperaturen. Eine regelmäßige Wartung, einschließlich Ölwechsel und Reinigung, ist für einen sicheren und effizienten Betrieb unerlässlich. Darüber hinaus sind eine ordnungsgemäße Kühlung und die Berücksichtigung von Problemen mit der Temperaturgleichmäßigkeit wichtige Aspekte beim Betrieb von Diffusionspumpen.
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