Diffusionspumpen können je nach dem erforderlichen Vakuum unterschiedliche Temperaturen erreichen.
Hier sind die Temperaturen für verschiedene Vakuumbereiche:
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Für einen Vakuumbereich von 10-9 bis 10-10 Torr beträgt die Temperatur der Diffusionspumpe 245°C.
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Für einen Vakuumbereich von 10-7 bis 10-8 Torr beträgt die Temperatur der Diffusionspumpe 220°C.
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Für einen Vakuumbereich von 10-5 bis 10-6 Torr beträgt die Temperatur der Diffusionspumpe 180°C.
Wie heiß wird eine Diffusionspumpe? 4 Schlüsseltemperaturen, die Sie kennen sollten
1. Verständnis des Betriebs einer Diffusionspumpe
Der Betrieb einer Diffusionspumpe hängt von zwei Elementen ab: dem Diffusionspumpenöl und einem Heizelement.
Das Heizgerät erhitzt die Kesselplatte, die das Öl auf Siedetemperatur bringt.
Der aufsteigende Öldampf wird in einem sich vertikal verjüngenden Stapel mit Düsenöffnungen entlang seiner Höhe komprimiert.
Die Düsen sind angewinkelt, so dass ein Dampfschirm entsteht, der die Luft einfängt und es der Pumpe ermöglicht, ein Vakuum zu erzeugen.
2. Die Bedeutung einer regelmäßigen Wartung
Es ist wichtig zu wissen, dass das Öl der Diffusionspumpe mit der Zeit verunreinigt werden kann, was zu möglichen Problemen führen kann.
Eine Verunreinigung kann auftreten, wenn sich das in der Arbeitslast enthaltene Öl beim Erhitzen verflüchtigt und in die Diffusionspumpe gelangt.
Dies kann den Flammpunkt des Öls herabsetzen und möglicherweise zu Überhitzung und sogar Explosionen führen.
Um einen sicheren und effizienten Betrieb zu gewährleisten, wird daher eine regelmäßige Wartung empfohlen, die mindestens einen jährlichen Wechsel des Diffusionspumpenöls und eine regelmäßige Demontage und Reinigung der Düsenbaugruppe und der inneren Teile der Diffusionspumpe umfasst.
3. Herausforderungen bei der Wärmeübertragung und Leistungsabgabe
Hinsichtlich der Wärmeübertragung und Leistungsabgabe kann es bei Diffusionspumpen schwierig sein, eine gleichmäßige Temperatur aufrechtzuerhalten und Gaslecks zu vermeiden.
Der Einsatz von Lüftern, eine gängige Lösung für Probleme mit der Temperaturgleichmäßigkeit bei Gas, eignet sich möglicherweise nicht für Diffusionspumpen, die mit hohem Druck arbeiten.
Der Freiraum um die Gebläsewelle kann zu erheblichen Gaslecks führen, die die Vakuumintegrität beeinträchtigen.
Daher sind möglicherweise alternative Lösungen erforderlich, um diese Probleme zu lösen.
4. Ein spezifischer Vorfall von Überhitzung
In einem konkreten Fall wurde bei einer Untersuchung festgestellt, dass die Überhitzung einer Diffusionspumpe durch einen Mangel an Kühlwasser verursacht wurde, weil eine Wasserleitung durch Mineralablagerungen verstopft war.
Dies führte zu einer Überhitzung des auf Silikon basierenden Diffusionspumpenöls.
Um solche Probleme zu vermeiden, ist es wichtig, für eine ordnungsgemäße Kühlung und Wartung der Diffusionspumpe zu sorgen.
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