Zur Erkennung von Leckagen in einem Vakuumsystem, insbesondere in Vakuumöfen, werden verschiedene Methoden eingesetzt. Diese Methoden sind entscheidend für die Aufrechterhaltung der Integrität und Effizienz des Vakuumsystems und stellen sicher, dass die Leckrate keine kritischen Schwellenwerte überschreitet, die die Leistung des Ofens beeinträchtigen könnten.
Methode zur Erkennung von Injektionen:
Bei dieser traditionellen Methode wird der Ofen evakuiert und dann Heliumgas außerhalb des Ofens zugeführt, wobei in der Regel ein Helium-Massenspektrometer verwendet wird. Das Spektrometer erkennt jegliches Helium, das durch undichte Stellen in das Vakuumsystem eindringt, und zeigt das Vorhandensein und die Position der undichten Stellen an. Diese Methode ist effektiv, da Helium ein kleines Molekül ist, das leicht durch die kleinsten Lecks eindringen kann, und die Verwendung eines Massenspektrometers ermöglicht eine präzise Erkennung.Methode zur Detektion von Düsen:
Diese Methode eignet sich für Objekte, die nicht evakuiert werden können, wie z. B. Wärmetauscher, wassergekühlte Flansche und elektrische Durchführungen. Das zu prüfende Objekt wird mit einem leckanzeigenden Gas, in der Regel Helium, gefüllt. Mit einem Sensor, häufig einem Helium-Massenspektrometer, wird dann geprüft, ob Gas austritt. Diese Methode ist vorteilhaft, wenn eine direkte Vakuumanwendung nicht möglich ist.
Erkennung von Inertgaslecks:
Die Unversehrtheit von Inertgassystemen ist in Vakuumöfen ebenfalls von entscheidender Bedeutung. Gängige Methoden zur Erkennung von Lecks in Inertgassystemen sind die Film- (Seifenblasen-) Methode und die Vakuumlecksuche. Bei der Seifenblasenmethode wird eine Seifenlösung auf verdächtige Bereiche aufgetragen, und es wird auf Blasen geachtet, die sich bilden, wenn ein Leck vorhanden ist. Bei der Vakuumlecksuche wird die Druckanstiegsrate im System überwacht, um Lecks zu erkennen.Vorbeugende Wartung und Überwachung:
Regelmäßige vorbeugende Wartung und kontinuierliche Überwachung des Vakuumniveaus während der Verarbeitung sind unerlässlich, um Lecks rechtzeitig zu erkennen und zu beheben. Dazu gehört die regelmäßige Inspektion von Vakuumdurchführung, Pumpen, O-Ringen und Flanschdichtflächen. Wird ein Leck entdeckt, wird der Ofen in der Regel mit Stickstoff aufgefüllt und erneut getestet. Bleibt das Leck bestehen, sind umfangreichere Wartungsarbeiten erforderlich, möglicherweise einschließlich einer Helium-Leckprüfung.
