Quarz unterliegt beim Erhitzen mehreren Veränderungen, die erhebliche Auswirkungen auf die Herstellung von Silizium (Si) haben können.
5 Hauptveränderungen von Quarz beim Erhitzen und ihre Auswirkungen auf die Siliziumproduktion
1. Erweichung und thermische Ausdehnung
Quarz, insbesondere Quarzglas, hat einen hohen Erweichungspunkt (etwa 1270 Grad Celsius) und einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten.
Bei längerer Einwirkung von Temperaturen in der Nähe des Erweichungspunkts kann der Quarz jedoch erweichen.
Dies kann zu einer Verformung oder Veränderung seiner Form und Struktur führen.
Dies ist kritisch bei Anwendungen wie dem Mikrowellen-Rohrofen, wo das Quarzrohr nicht länger als 3 Stunden bei 1200 Grad Celsius verwendet werden sollte, um Schäden zu vermeiden.
2. Rekristallisation und Bildung von Siliziumkarbid
Bei Hochtemperaturprozessen kann Quarz rekristallisieren und dabei feine Siliziumkarbidkörner bilden.
Dieser Prozess ist entscheidend für die Bildung von Heizelementen aus Siliziumkarbid.
Die Anzahl der zwischen den Körnern gebildeten Verbindungen wirkt sich direkt auf den elektrischen Widerstand des Materials aus.
Mehr Verbindungen führen zu einem geringeren Widerstand, der für das effiziente Funktionieren der Heizelemente unerlässlich ist.
3. Reinheit und chemische Beständigkeit
Die hohe Reinheit von Quarz ist für die Halbleiterherstellung unerlässlich.
Der in dieser Industrie verwendete Quarz muss einen extrem hohen SiO2-Gehalt (mindestens 99,9 %) aufweisen, um das Einbringen schädlicher Metalle während des Herstellungsprozesses zu verhindern.
Durch Erhitzung verursachte Veränderungen des Quarzes können seine Reinheit beeinträchtigen.
Dies könnte zu Verunreinigungen bei der Herstellung von Silizium führen.
4. Widerstandsfähigkeit gegen Temperaturschocks und Korrosion
Quarz ist für seine Widerstandsfähigkeit gegenüber Temperaturschocks und Korrosion bekannt.
Unsachgemäße Erhitzung oder schnelle Temperaturwechsel können diese Eigenschaften jedoch beeinträchtigen.
Dies kann möglicherweise zu Rissen oder anderen Formen der Verschlechterung führen.
Dies kann die Langlebigkeit und Leistung von Quarzkomponenten in Hochtemperaturumgebungen, wie z. B. Öfen in der Siliziumproduktion, beeinträchtigen.
5. Optische und elektrische Eigenschaften
Quarz ist hochtransparent und hat hervorragende elektrische Isolationseigenschaften.
Durch Erhitzung können sich diese Eigenschaften verändern.
Dies kann die Leistung von Quarz in Anwendungen beeinträchtigen, bei denen optische Klarheit oder elektrische Isolierung entscheidend sind.
In Mikrowellen-Röhrenöfen zum Beispiel kann jede Verschlechterung der optischen Eigenschaften von Quarz die Effizienz des Ofens beeinträchtigen.
Schlussfolgerung
Die Veränderungen von Quarz während des Erhitzens sind erheblich und können sich direkt auf die Siliziumproduktion auswirken, indem sie die Reinheit, die strukturelle Integrität und die funktionalen Eigenschaften von Quarz beeinträchtigen.
Eine ordnungsgemäße Kontrolle der Erhitzungsprozesse und die Wartung der Quarzkomponenten sind von entscheidender Bedeutung, um die optimale Leistung von Quarz in der Siliziumproduktion und anderen industriellen Hochtemperaturanwendungen sicherzustellen.
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