Technisches Team · Kintek Solution

Das Vakuumniveau einer Diffusionspumpe kann ein Endvakuum im Bereich von 10^-6 Torr erreichen. Dieses hohe Vakuumniveau wird durch den Einsatz einer Öldiffusionspumpe erreicht, die ohne bewegliche Teile arbeitet und die Verdampfung und Kondensation von Öl nutzt, um Gasmoleküle einzuschließen und zu extrahieren und so eine Hochvakuumumgebung zu schaffen.

Erläuterung:

1. Funktionsprinzip: Die Diffusionspumpe arbeitet auf der Grundlage der Verdampfung von Öl, das dann beim Fallen kondensiert. Durch diesen Prozess werden Gasmoleküle eingefangen und abgesaugt, wodurch ein Hochvakuum erzeugt wird. Das Fehlen beweglicher Teile in der Diffusionspumpe erhöht ihre Haltbarkeit und Zuverlässigkeit, so dass sie sich für verschiedene industrielle Anwendungen wie Elektronenstrahlmikroskopie, Vakuumabscheidung, Beschichtungen und Vakuumöfen eignet.

2. Vakuumniveaus: Die Diffusionspumpe ist in der Lage, ein Hochvakuum im Bereich von 10^-2 bis 10^-10 Torr zu erzeugen. Dieser Bereich liegt deutlich unter dem, was mit einer mechanischen Pumpe allein erreicht werden kann, die in der Regel bis zu einem Druck von etwa 10^-2 Pa arbeitet. Wenn die mechanische Pumpe einen Druck von weniger als 20 Torr erreicht, sinkt ihr Wirkungsgrad, so dass der Einsatz einer Booster-Pumpe und schließlich einer Diffusionspumpe erforderlich wird, um die gewünschten Vakuumwerte zu erreichen.

3. Aufbau des Systems: Die Diffusionspumpe ist in der Regel Teil eines mehrstufigen Vakuumsystems, das eine mechanische Pumpe und eine Haltepumpe umfasst. Die Haltepumpe sorgt dafür, dass das Öl in der Diffusionspumpe nicht in den Behälter entweicht, wenn das Überströmventil zwischen der mechanischen und der Diffusionspumpe aktiviert wird. Dieser Aufbau ist entscheidend für die Aufrechterhaltung des von der Diffusionspumpe erreichten Vakuums.

4. Anwendung in Öfen: In industriellen Anwendungen wie z. B. Vakuumöfen kann der Einsatz einer Diffusionspumpe das Vakuumniveau erheblich verbessern. So kann ein mit einer Diffusionspumpe ausgestatteter Ofen ein Betriebsvakuum im Bereich von 10^-5 Torr erreichen, verglichen mit 50-60 Micron Hg ohne Diffusionspumpe. Dieses höhere Vakuumniveau ist für Prozesse, die eine sehr saubere und kontrollierte Umgebung erfordern, die frei von atmosphärischen Verunreinigungen ist, unerlässlich.

5. Ultimatives Vakuum: Das Endvakuum eines Ofens mit Diffusionspumpe liegt in der Regel im Bereich von 10^-6 Torr und damit deutlich unter dem, was mit mechanischen Pumpen allein erreicht werden kann. Dieses Vakuumniveau ist entscheidend für das ordnungsgemäße Funktionieren und die Effizienz hochpräziser industrieller Prozesse.

Zusammenfassend lässt sich sagen, dass sich das Vakuumniveau einer Diffusionspumpe durch ihre Fähigkeit auszeichnet, extrem niedrige Drücke zu erreichen, typischerweise im Bereich von 10^-6 Torr, was für hochpräzise industrielle Anwendungen, die eine sehr saubere und kontrollierte Umgebung erfordern, unerlässlich ist.

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