Wissen Wie hoch ist das Vakuum in einer Diffusionspumpe? 5 wichtige Einblicke
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Technisches Team · Kintek Solution

Aktualisiert vor 2 Monaten

Wie hoch ist das Vakuum in einer Diffusionspumpe? 5 wichtige Einblicke

Das Vakuumniveau einer Diffusionspumpe kann ein Endvakuum im Bereich von 10^-6 Torr erreichen.

Dieses hohe Vakuumniveau wird durch den Einsatz einer Öldiffusionspumpe erreicht.

Diese Art von Pumpe arbeitet ohne bewegliche Teile und nutzt die Verdampfung und Kondensation von Öl, um Gasmoleküle aufzufangen und zu extrahieren.

Auf diese Weise wird ein Hochvakuum erzeugt.

Wie hoch ist das Vakuum bei einer Diffusionspumpe? 5 wichtige Einblicke

Wie hoch ist das Vakuum in einer Diffusionspumpe? 5 wichtige Einblicke

1. Funktionsprinzip

Die Funktionsweise der Diffusionspumpe basiert auf der Verdampfung von Öl.

Dieses Öl kondensiert dann beim Fallen.

Durch diesen Prozess werden Gasmoleküle eingeschlossen und abgesaugt, wodurch ein Hochvakuum erzeugt wird.

Das Fehlen von beweglichen Teilen in der Diffusionspumpe erhöht ihre Haltbarkeit und Zuverlässigkeit.

Dadurch eignet sie sich für verschiedene industrielle Anwendungen wie Elektronenstrahlmikroskopie, Vakuumbeschichtung, Beschichtungen und Vakuumöfen.

2. Vakuumniveaus

Die Diffusionspumpe ist in der Lage, ein Hochvakuum im Bereich von 10^-2 bis 10^-10 Torr zu erzeugen.

Dieser Bereich liegt deutlich unter dem, was mit einer mechanischen Pumpe allein erreicht werden kann.

Eine mechanische Pumpe arbeitet normalerweise bis zu einem Druck von etwa 10^-2 Pa.

Wenn die mechanische Pumpe einen Druck von weniger als 20 Torr erreicht, sinkt ihr Wirkungsgrad.

Dies macht den Einsatz einer Booster-Pumpe und schließlich einer Diffusionspumpe erforderlich, um die gewünschten Vakuumwerte zu erreichen.

3. Systemkonfiguration

Die Diffusionspumpe ist normalerweise Teil eines mehrstufigen Vakuumsystems.

Dieses System umfasst eine mechanische Pumpe und eine Haltepumpe.

Die Haltepumpe sorgt dafür, dass das Öl in der Diffusionspumpe nicht in den Behälter entweicht, wenn das Überströmventil zwischen der mechanischen und der Diffusionspumpe aktiviert wird.

Diese Einrichtung ist entscheidend für die Aufrechterhaltung des von der Diffusionspumpe erreichten Vakuums.

4. Anwendung in Öfen

In industriellen Anwendungen wie z. B. Vakuumöfen kann der Einsatz einer Diffusionspumpe das Vakuumniveau erheblich verbessern.

Ein mit einer Diffusionspumpe ausgestatteter Ofen kann zum Beispiel ein Betriebsvakuum im Bereich von 10^-5 Torr erreichen.

Ohne Diffusionspumpe liegt es bei 50-60 Mikron Hg.

Dieses höhere Vakuumniveau ist wichtig für Prozesse, die eine sehr saubere und kontrollierte Umgebung ohne atmosphärische Verunreinigungen erfordern.

5. Endvakuum

Das Endvakuum eines Ofens mit Diffusionspumpe liegt normalerweise im Bereich von 10^-6 Torr.

Dies ist deutlich niedriger als das, was mit mechanischen Pumpen allein erreicht werden kann.

Dieses Vakuumniveau ist entscheidend für das ordnungsgemäße Funktionieren und die Effizienz hochpräziser industrieller Prozesse.

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