Die Vakuumverdampfung ist eine Technik, die vor allem in der Mikroelektronik eingesetzt wird, um dünne Schichten aus festen Materialien auf spezielle Substrate aufzubringen. Bei diesem Verfahren wird das feste Material, das so genannte Verdampfungsmittel, in einer Hochvakuumumgebung erhitzt. Das Verdampfungsmittel verwandelt sich in einen Dampf und kondensiert dann auf dem Substrat, wobei ein dünner Film entsteht. Diese Methode ist entscheidend für die Herstellung von aktiven Komponenten, Gerätekontakten, Metallverbindungen und verschiedenen Arten von Dünnschichtwiderständen und Kondensatoren.
Mechanismus der Vakuumverdampfung:
Das Grundprinzip der Vakuumverdampfung ist die Herabsetzung des Siedepunkts von Materialien unter reduziertem Druck. In einem Vakuum ist der atmosphärische Druck deutlich niedriger als auf Meereshöhe, so dass Materialien bei viel niedrigeren Temperaturen verdampfen können. Dies ist besonders vorteilhaft für empfindliche Materialien, die sich bei großer Hitze zersetzen könnten.Anwendung in der Mikroelektronik:
Im Bereich der Mikroelektronik wird die Vakuumverdampfung zur Abscheidung dünner Schichten verwendet, die verschiedene Funktionen erfüllen. So werden beispielsweise Metallverbindungen in integrierten Schaltkreisen hergestellt, die für die elektrische Leitfähigkeit wichtig sind. Außerdem werden Dünnschichtwiderstände mit niedrigem Temperaturkoeffizienten aufgedampft, die für die Aufrechterhaltung eines stabilen elektrischen Widerstands über einen bestimmten Temperaturbereich entscheidend sind.
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Arten der Vakuumverdampfung:
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In der Referenz werden zwei spezifische Arten genannt: Parallelverdampfung und Rotationsverdampfung.Parallelverdampfung:
Bei dieser Technik wird in den Probenröhren ein Wirbel erzeugt, um die Oberfläche für die Verdampfung zu vergrößern. Die Wirbelbewegung trägt zu einer schnelleren Verdampfung bei. Moderne Systeme enthalten Vakuumpumpen und Heizelemente, um den Prozess weiter zu beschleunigen, sowie eine Kühlfalle zum Auffangen von Lösungsmittelgasen, um Probenverluste und Kreuzkontaminationen zu minimieren.
Rotierende Verdampfung:
Die Rotationsverdampfung wird in der Regel zur Entfernung niedrig siedender Lösungsmittel aus Proben verwendet. Bei diesem Verfahren wird ein Probenkolben in einem beheizten Bad unter vermindertem Druck gedreht. Durch die Rotation wird eine größere Oberfläche für die Verdampfung geschaffen, und der reduzierte Druck senkt den Siedepunkt des Lösungsmittels, so dass es bei niedrigeren Temperaturen verdampfen kann. Diese Methode eignet sich besonders für die Abtrennung von Lösungsmitteln aus komplexen und empfindlichen Gemischen, ohne die gelösten Stoffe zu beschädigen.
