Die Abscheidung dünner Schichten erfordert eine Vielzahl von Materialien, um die gewünschten Eigenschaften für verschiedene Anwendungen zu gewährleisten.
Welche Materialien werden für Dünnschichten benötigt? (4 wesentliche Arten)
1. Metalle
Metalle werden aufgrund ihrer hervorragenden thermischen und elektrischen Leitfähigkeit häufig für die Dünnschichtabscheidung verwendet.
Sie sind besonders nützlich bei Anwendungen, die eine effiziente Wärmeableitung oder elektrische Leitung erfordern, wie z. B. bei der Halbleiterherstellung und der Produktion elektronischer Bauteile.
2. Oxide
Oxide bieten schützende Eigenschaften und werden häufig dort eingesetzt, wo Haltbarkeit und Widerstandsfähigkeit gegen Umwelteinflüsse entscheidend sind.
Sie sind vorteilhaft bei Anwendungen wie optischen Beschichtungen und der Herstellung von Flachbildschirmen, wo der Film verschiedenen Bedingungen standhalten muss, ohne sich zu verschlechtern.
3. Verbindungen
Verbindungen können so gestaltet werden, dass sie spezifische Eigenschaften besitzen, was sie für verschiedene Anwendungen vielseitig einsetzbar macht.
So werden beispielsweise Verbindungshalbleiter wie GaAs aufgrund ihrer einzigartigen elektrischen Eigenschaften in der Elektronik eingesetzt.
In ähnlicher Weise werden Nitride wie TiN aufgrund ihrer Härte und Verschleißfestigkeit in Schneidwerkzeugen und Verschleißteilen verwendet.
4. Hochreine Werkstoffe und Chemikalien
Hochreine Werkstoffe und Chemikalien wie Vorläufergase, Sputtertargets und Verdampfungsfilamente sind für die Bildung oder Modifizierung von Dünnschichtschichten und Substraten unerlässlich.
Diese Materialien gewährleisten die Qualität und Leistung der Dünnschichten, insbesondere bei kritischen Anwendungen wie optischen Beschichtungen und mikroelektronischen Geräten.
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