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Graphit-Verdampfungstiegel

Teile zur Dünnschichtabscheidung

Graphit-Verdampfungstiegel

Artikelnummer : KME07

Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen


Material
Graphit
Zubehör
optional (Keramik-Verdampfungsschiffchen-Elektrodenfutter)
ISO & CE icon

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Anwendung

Graphit-Verdampfungstiegel sind Spezialgefäße für Hochtemperaturanwendungen, insbesondere für die Dünnschichtabscheidung. Diese Tiegel halten und verdampfen Materialien effizient bei extremen Temperaturen und erleichtern so die Abscheidung dünner Filme auf Substraten. Graphit, bekannt für seine hohe thermische Stabilität und hervorragende elektrische Leitfähigkeit, ist das Hauptmaterial für die Herstellung dieser Tiegel. Seine Wärmeleitfähigkeit sorgt für eine effiziente und gleichmäßige Erwärmung, was zu einer gleichmäßigen Verdampfungsrate führt.

  • Halbleiterfertigung, Optik, Materialforschung.
  • Thermische Verdampfung, Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung.
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), chemische Gasphasenabscheidung (CVD).
  • Bilden Sie dünne Filme aus Metallen, Legierungen, Oxiden und anderen Materialien auf dem Substrat, der Germaniumplatte und der Siliziumplatte.
  • Optische Beschichtung, Aluminiumbeschichtung aus Polyesterfolie, Vakuumbeschichtung.
  • Produktion von Mikroelektronik, Produktion von Solarzellen, Drähten und Verpackungsmaterialien, Einsatz von Röhrenöfen.

Details & Teile

Graphit-Verdampfungstiegel, Detail 1

Graphit-Verdampfungstiegel, Detail 2

Graphit-Verdampfungstiegel, Detail 3

Graphit-Verdampfungstiegel

Einzelheiten zum Keramik-Verdampfungsschiffchen-Elektrodenfutter
Keramisches Verdampfungsschiffchen-Elektrodenfutter

Einzelheiten zum Keramik-Verdampfungsschiffchen-Elektrodenfutter 2

Die von uns gezeigten Tiegel sind in verschiedenen Größen erhältlich, Sondergrößen sind auf Anfrage möglich.

Vorteil

  • Hohe Temperaturbeständigkeit, gute Thermoschockbeständigkeit, hohe Wärmeleitfähigkeit.
  • Polierte Oberfläche, Antioxidationsmittel, hohe Reinheit, keine Verschmutzung des Verdampfungsfilms.
  • Es verfügt über eine starke Korrosionsbeständigkeit gegenüber sauren und alkalischen Flüssigkeiten.
  • Gute Leitfähigkeit und thermische Effizienz, chemische Stabilität.
  • Widerstandsfähigkeit gegen mechanische Stöße, kleiner Wärmeausdehnungskoeffizient, lange Lebensdauer.
  • Hohe Festigkeit, mit steigender Temperatur nimmt die Festigkeit von Graphit zu.

FAQ

Was Sind Thermische Verdampfungsquellen?

Thermische Verdampfungsquellen sind Geräte, die in thermischen Verdampfungssystemen zur Abscheidung dünner Schichten auf Substraten verwendet werden. Sie funktionieren, indem sie ein Material (Verdampfungsmittel) auf hohe Temperaturen erhitzen, so dass es verdampft und dann auf einem Substrat kondensiert und einen dünnen Film bildet.

Wie Werden Tiegel Aus Hochreinem Graphit Hergestellt?

Tiegel aus hochreinem Graphit werden typischerweise durch ein Verfahren namens isostatisches Pressen hergestellt. Bei dieser Methode wird Graphitpulver in eine Gummiform gegeben und dann aus allen Richtungen hohem Druck ausgesetzt. Durch diesen Druck werden die Graphitpartikel zu einer dichten und gleichmäßigen Tiegelform verdichtet. Anschließend wird der Tiegel auf eine hohe Temperatur erhitzt, um eventuelle Verunreinigungen zu entfernen und seine Reinheit zu verbessern.

Was Sind Die Wichtigsten Arten Von Thermischen Verdampfungsquellen?

Zu den wichtigsten Arten von thermischen Verdampfungsquellen gehören Widerstandsverdampfungsquellen, Elektronenstrahlverdampfungsquellen und Blitzverdampfungsquellen. Jeder Typ verwendet unterschiedliche Methoden zur Erwärmung des Verdampfungsmittels, z. B. Widerstandsheizung, Elektronenstrahlheizung oder direkten Kontakt mit einer heißen Oberfläche.

Was Sind Die Häufigsten Anwendungen Von Tiegeln Aus Hochreinem Graphit?

Hochreine Graphittiegel haben ein breites Anwendungsspektrum in Branchen wie der Metallurgie, Gießereien und Labors. Sie werden üblicherweise zum Schmelzen und Gießen von Nichteisenmetallen, einschließlich Aluminium, Kupfer und Edelmetallen, verwendet. Tiegel aus hochreinem Graphit werden auch bei der Herstellung von Legierungen und Hochtemperaturkeramiken eingesetzt. Sie sind bei Prozessen wie der chemischen Analyse, Spektroskopie und Probenvorbereitung in Laboren unverzichtbar. Darüber hinaus finden diese Tiegel in der Halbleiterindustrie Anwendung zum Schmelzen und Züchten von Silizium und anderen Halbleitermaterialien.

Wie Funktionieren Thermische Verdampfungsquellen?

Thermische Verdampfungsquellen funktionieren, indem elektrischer Strom durch ein Widerstandsmaterial geleitet wird, das sich auf hohe Temperaturen erhitzt. Diese Wärme wird auf das Verdampfungsmittel übertragen, wodurch es schmilzt und verdampft. Der Dampf wandert dann durch eine Vakuumkammer und kondensiert auf einem Substrat, wobei ein dünner Film entsteht.

Welche Materialien Werden üblicherweise Für Verdampfertiegel Verwendet?

Verdampfungstiegel bestehen üblicherweise aus Materialien wie Wolfram, Tantal, Molybdän, Graphit oder Keramikverbindungen. Diese Materialien haben einen hohen Schmelzpunkt und eine gute Wärmeleitfähigkeit, wodurch sie für die beim Verdampfen erforderlichen Hochtemperaturbedingungen geeignet sind. Die Wahl des Tiegelmaterials hängt von Faktoren wie dem Verdampfungsmaterial, den gewünschten Filmeigenschaften und den Prozessparametern ab.

Welche Faktoren Sollten Bei Der Auswahl Von Tiegeln Aus Hochreinem Graphit Berücksichtigt Werden?

Bei der Auswahl von Tiegeln aus hochreinem Graphit sollten mehrere Faktoren berücksichtigt werden. Erstens sollten Größe und Fassungsvermögen des Tiegels auf die beabsichtigte Anwendung und die Menge des zu schmelzenden oder zu verarbeitenden Materials abgestimmt sein. Die Wärmeleitfähigkeit, die Temperaturwechselbeständigkeit und die chemische Kompatibilität des Tiegels sollten bewertet werden, um sicherzustellen, dass er den spezifischen Prozessanforderungen entspricht. Es ist wichtig, Tiegel aus hochwertigem Graphitmaterial mit hohem Reinheitsgrad auszuwählen, um Verunreinigungen zu minimieren und eine hervorragende Leistung zu gewährleisten. Auch das Design und die Konstruktion des Tiegels sollten berücksichtigt werden, beispielsweise das Vorhandensein von Griffen oder Ausgießern für eine einfache Handhabung. Darüber hinaus empfiehlt es sich, Hersteller oder Experten auf diesem Gebiet zu konsultieren, um die Auswahl der am besten geeigneten Tiegel aus hochreinem Graphit für bestimmte Anwendungen sicherzustellen.

Welche Vorteile Bietet Die Verwendung Von Thermischen Verdampfungsquellen?

Zu den Vorteilen thermischer Verdampfungsquellen gehören hohe Abscheideraten, gute Richtwirkung, hervorragende Gleichmäßigkeit und Kompatibilität mit verschiedenen Materialien. Außerdem sind sie relativ einfach und erschwinglich, so dass sie sich für eine Vielzahl von Anwendungen bei der Dünnschichtabscheidung eignen.

Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Von Abdampftiegeln?

Verdampfungstiegel bieten bei Dünnschichtabscheidungsprozessen mehrere Vorteile. Sie bieten eine kontrollierte Umgebung für die Verdampfung von Materialien und ermöglichen eine präzise Kontrolle der Filmdicke und Gleichmäßigkeit. Tiegel halten hohen Temperaturen stand und sorgen für eine effiziente Wärmeübertragung, sodass konstante Verdampfungsraten gewährleistet sind. Sie sind in verschiedenen Größen und Formen erhältlich, um sich an unterschiedliche Verdampfungssysteme und Substratkonfigurationen anzupassen. Verdampfungstiegel ermöglichen auch die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien, darunter Metalle, Halbleiter und Keramik. Sie lassen sich einfach be- und entladen und ermöglichen so einen schnellen Materialwechsel oder Prozessanpassungen. Insgesamt sind Verdampfungstiegel unverzichtbare Werkzeuge für Dünnschichtabscheidungstechniken und bieten Vielseitigkeit, Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit.

Für Welche Anwendungen Werden Thermische Verdampfungsquellen Eingesetzt?

Thermische Aufdampfquellen werden in verschiedenen Anwendungen eingesetzt, z. B. bei der Herstellung von optischen Beschichtungen, Halbleiterbauelementen und verschiedenen Arten von Dünnschichten. Sie sind besonders nützlich in Industriezweigen, die eine genaue Kontrolle über die Ablagerung von Materialien auf Substraten benötigen.

Wie Sollten Verdampfertiegel Gehandhabt Und Gewartet Werden?

Um ihre Langlebigkeit und Leistung zu gewährleisten, sollten Verdampfertiegel sorgfältig gehandhabt und gewartet werden. Tiegel sollten vor jedem Gebrauch gründlich gereinigt werden, um eventuelle Rückstände früherer Ablagerungen zu entfernen. Vermeiden Sie die Verwendung von abrasiven Materialien, die die Oberfläche des Tiegels beschädigen könnten. Fassen Sie die Tiegel beim Be- und Entladen mit sauberen Handschuhen oder Spezialwerkzeugen an, um eine Kontamination zu vermeiden. Bewahren Sie Tiegel bei Nichtgebrauch in einer trockenen und sauberen Umgebung auf, um Korrosion oder Zersetzung zu vermeiden. Eine regelmäßige Überprüfung der Tiegel auf Risse, Defekte oder Verschleißerscheinungen ist wichtig, um unerwartete Ausfälle während des Verdampfungsprozesses zu verhindern. Befolgen Sie die Empfehlungen des Herstellers für alle spezifischen Wartungsverfahren, wie z. B. Glühen oder Oberflächenbehandlung, um die Lebensdauer des Tiegels zu verlängern.
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