Wenn es darum geht, ein hohes Vakuum zu erreichen, ist in der Regel eine Kombination von Pumpen erforderlich.
Die erste Wahl für hohe Vakuumniveaus ist oft eine Turbomolekularpumpe oder eine Öldiffusionspumpe.
Diese Pumpen sind für sehr niedrige Drücke ausgelegt und werden in der Regel in Verbindung mit einer Vorpumpe eingesetzt.
Eine Vorpumpe, z. B. eine Drehschieberpumpe oder eine trockene Scroll-Pumpe, trägt dazu bei, die anfänglichen Vakuumbedingungen zu schaffen, die die Hochvakuumpumpe benötigt, um effektiv zu arbeiten.
5 wichtige Fakten, die Sie wissen müssen
1. Turbomolekularpumpen
Turbomolekularpumpen sind speziell für den Betrieb bei sehr hohen Vakuumniveaus, in der Regel unter 10^-7 mbar, ausgelegt.
Sie arbeiten mit rotierenden Schaufeln, die den Gasmolekülen einen Impuls entgegen der Strömungsrichtung des Gases verleihen.
Dadurch wird das Gas effektiv aus dem System gepumpt, wodurch diese Pumpen bei der Entfernung von Gasen sehr effizient sind.
Turbomolekularpumpen werden häufig in Anwendungen eingesetzt, die ein Ultrahochvakuum erfordern, z. B. in der Halbleiterfertigung, der wissenschaftlichen Forschung und in Weltraumsimulationskammern.
2. Öl-Diffusionspumpen
Öldiffusionspumpen sind ein weiterer Pumpentyp, der für Hochvakuumanwendungen eingesetzt wird.
Sie arbeiten, indem sie einen Hochgeschwindigkeitsstrahl aus Öldampf gegen die Wände einer Kammer richten.
Der Öldampf kondensiert dann und kehrt in den Kessel zurück, während die Gasmoleküle in der Kammer zu einem Auslass getrieben werden, wo sie gesammelt und entfernt werden.
Diese Pumpen können ein Vakuum von bis zu 10^-7 mbar erreichen und werden häufig in wissenschaftlichen und industriellen Anwendungen eingesetzt, bei denen ein hohes Vakuum erforderlich ist.
3. Vorvakuumpumpen
Sowohl Turbomolekular- als auch Öldiffusionspumpen benötigen eine Vorpumpe, um effektiv zu funktionieren.
Eine Vorpumpe, z. B. eine Drehschieberpumpe, erzeugt am Einlass der Hochvakuumpumpe ein Grobvakuum.
Dieses Grobvakuum wird dann von der Hochvakuumpumpe weiter verfeinert, um die gewünschten ultraniedrigen Drücke zu erreichen.
4. Kombination von Pumpen
Für Hochvakuumanwendungen ist der Einsatz einer Turbomolekularpumpe oder einer Öldiffusionspumpe in Kombination mit einer Vorpumpe unerlässlich.
Dieser Aufbau ist für verschiedene wissenschaftliche und industrielle Prozesse, bei denen Hochvakuumbedingungen erforderlich sind, von entscheidender Bedeutung.
5. Anwendungen
Hochvakuumanlagen sind in vielen Bereichen von entscheidender Bedeutung, z. B. bei der Halbleiterherstellung, in der wissenschaftlichen Forschung und in Weltraumsimulationskammern.
Diese Anlagen gewährleisten Präzision und Zuverlässigkeit für die anspruchsvollsten Anwendungen.
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