Wissen 4 Arten von Vakuumpumpen erklärt: Welche ist die richtige für Ihre Anwendung?
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Technisches Team · Kintek Solution

Aktualisiert vor 2 Monaten

4 Arten von Vakuumpumpen erklärt: Welche ist die richtige für Ihre Anwendung?

Wenn es um Vakuumanwendungen geht, ist die Wahl der Pumpe entscheidend. Sie hängt von den spezifischen Anforderungen Ihrer Anwendung ab, z. B. vom gewünschten Vakuumniveau und von der Art des Prozesses.

4 Arten von Vakuumpumpen erklärt: Welche ist die richtige für Ihre Anwendung?

4 Arten von Vakuumpumpen erklärt: Welche ist die richtige für Ihre Anwendung?

Drehschieberpumpen

Drehschieberpumpen werden häufig in Vakuumöfen eingesetzt. Sie können Vakuumniveaus von etwa 5x10-2 mbar erreichen. Diese Pumpen arbeiten mit einem Satz rotierender und stationärer Schaufeln, die Luft einschließen und ausstoßen und so ein Vakuum erzeugen. Sie sind für ihre Zuverlässigkeit bekannt und werden häufig in Grobvakuumanwendungen eingesetzt.

Wälzkolbenpumpen

Wälzkolbenpumpen, auch als mechanische Druckerhöhungspumpen bekannt, werden in der Regel in Verbindung mit anderen Vakuumpumpen eingesetzt, um deren Leistung zu erhöhen. Sie sind in der Lage, große Gasmengen bei relativ hohem Druck zu fördern und eignen sich daher für Anwendungen, die eine schnelle Evakuierung großer Mengen erfordern.

Öl-Diffusionspumpen

Öldiffusionspumpen sind in der Lage, sehr hohe Vakuumniveaus zu erreichen, typischerweise im Bereich von 10-5 bis 10-7 mbar. Sie arbeiten, indem sie einen Hochgeschwindigkeitsstrahl aus Öldampf gegen die Wände einer Kammer richten, der dann kondensiert und in den Kessel zurückkehrt, während die Gasmoleküle vom Strahl fortgetragen werden. Diese Pumpen werden häufig in Hochvakuumanwendungen eingesetzt.

Turbomolekularpumpen

Turbomolekularpumpen sind darauf ausgelegt, Ultrahochvakuum zu erzeugen, das oft unter 10-9 mbar liegt. Sie arbeiten mit einer Reihe von schnell rotierenden Schaufeln, die den Gasmolekülen einen Impuls verleihen und sie so aus der Vakuumkammer "herausschleudern". Diese Pumpen sind ideal für Anwendungen, die sehr hohe Vakuumniveaus erfordern, wie z. B. in der Halbleiterfertigung.

Bei der Auswahl einer Vakuumpumpe müssen Faktoren wie das erforderliche Vakuumniveau, die Durchflussmenge und die spezifischen Anforderungen der Anwendung berücksichtigt werden. Wenn die Anwendung beispielsweise ein Grobvakuum (über 1 mbar) erfordert, könnte eine Membranpumpe aufgrund ihres ölfreien Betriebs und ihres geringen Wartungsbedarfs geeignet sein. Für Hoch- oder Ultrahochvakuumanwendungen hingegen wären Pumpen wie Öldiffusions- oder Turbomolekularpumpen besser geeignet.

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