Die Röntgenfluoreszenzanalyse (XRF) durchdringt die Probe in der Regel in Tiefen zwischen 1-1000 µm. Die Eindringtiefe wird durch das Atomgewicht der Elemente in der Probe beeinflusst; leichtere Elemente sind in größeren Tiefen schwieriger zu erkennen als schwerere. Dies liegt daran, dass die charakteristischen Röntgenstrahlen, die während der Analyse ausgesendet werden, in diesen Tiefen im Allgemeinen von Oberflächenatomen stammen. Die Fähigkeit, Elemente in unterschiedlichen Tiefen zu erkennen, ist für eine genaue Analyse entscheidend, da sie das vom RFA-Spektrometer empfangene Signal beeinflusst. Elemente mit höherer Energie, typischerweise solche mit höherer Ordnungszahl, haben eine größere Austrittstiefe in einer Probe, was bedeutet, dass sie im Vergleich zu Elementen mit geringerer Energie in tieferen Schichten nachgewiesen werden können. Diese Tiefenempfindlichkeit ist ein Schlüsselfaktor bei der Vorbereitung und Interpretation von RFA-Analyseergebnissen.
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