Die bei der Lecksuche im Vakuumsystem angewandten Methoden umfassen in erster Linie die Injektionsmethode und die Saugdüsenmethode, sowie zusätzliche Techniken für Inertgaslecks und allgemeine Wartungsarbeiten.
Methode der Injektionssuche:
Bei dieser traditionellen Methode wird der Ofen evakuiert und Heliumgas außerhalb des Ofens zugeführt, das in der Regel an ein Helium-Massenspektrometer angeschlossen ist. Das System überwacht, ob Helium in das Vakuumsystem gelangt, was auf ein Leck hinweisen würde. Diese Methode ist sehr effektiv, da Helium ein kleines Molekül ist und selbst durch die kleinsten Lecks dringen kann, was es zu einem zuverlässigen Prüfgas für die Erkennung von Lecks in Vakuumsystemen macht.Methode zum Aufspüren von Düsen:
Diese Methode eignet sich für Objekte, die nicht evakuiert werden können, wie z. B. Wärmetauscher, wassergekühlte Flansche und elektrische Durchführungen. Ein Leckanzeigegas, in der Regel Helium, wird in das zu prüfende Objekt eingefüllt. Mit einem Sensor oder einem Helium-Massenspektrometer wird dann geprüft, ob Gas von außen austritt, was auf ein Leck hinweist. Diese Methode ist besonders nützlich für Komponenten, die nicht Teil der Hauptvakuumkammer sind, aber für die Gesamtintegrität des Vakuums entscheidend sind.
Erkennung von Inertgaslecks:
Bei Systemen, die mit Inertgasen arbeiten, ist es von entscheidender Bedeutung, dass keine Leckagen aus dem Gasversorgungssystem in den Vakuumofen gelangen. Zwei gängige Methoden zur Erkennung von Inertgaslecks sind die Filmmethode (Seifenblasen) und die Vakuumlecksuche. Bei der Filmmethode wird eine Seifenlösung auf die vermuteten Leckstellen aufgetragen und auf Blasen untersucht, während bei der Vakuummethode ein Vakuummeter verwendet wird, um Druckänderungen zu überwachen, die auf ein Leck hinweisen.Wartung und Präventivmaßnahmen:
Regelmäßige Wartung und vorbeugende Maßnahmen sind für die Minimierung von Leckagen unerlässlich. Dazu gehören der Einsatz von Helium-Lecksuchern oder die Restgasanalyse zur Lokalisierung kleinster Lecks, der Austausch von provisorischen Dichtungsmassen sowie die regelmäßige Überprüfung und der Austausch von Komponenten wie Dichtungen, Ventilen und Pumpen. Eine ordnungsgemäße Wartung verhindert nicht nur unvorhergesehene Ausfälle der Anlage, sondern optimiert auch die Leistung und Lebensdauer des Vakuumofens und senkt so im Laufe der Zeit die Gesamtbetriebskosten.
