Die DLC-Beschichtung (Diamond Like Carbon) ist eine Beschichtung, die sehr haltbar ist und eine hohe Härte aufweist. Aufgrund ihrer hohen Härte und chemischen Beständigkeit wird sie häufig als Schutzschicht für verschiedene Materialien verwendet. DLC-Schichten werden mit dem Verfahren der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (RF PECVD) im Hochfrequenzbereich abgeschieden, das die Abscheidung von Kohlenstoffschichten mit einem breiten Spektrum an optischen und elektrischen Eigenschaften ermöglicht.
Die DLC-Beschichtung zeichnet sich durch ihre hohe Härte aus, die zwischen 1500 und 3000 HV liegt. Sie weist ähnliche Eigenschaften wie natürlicher Diamant auf, mit einer Härte, die der von natürlichem Diamant nahe kommt. Aufgrund dieser hohen Härte eignet sie sich für Anwendungen in der Automobil- und Maschinenindustrie, z. B. in Antriebssträngen, Lagern, Nockenwellen und anderen Elementen.
Die DLC-Beschichtung kann selbst bei relativ niedrigen Temperaturen von etwa 300 °C mit hoher Haftfestigkeit unter Verwendung geeigneter Haftschichten aufgebracht werden. Dadurch ist sie mit verschiedenen Substraten, wie Stahl und Hartmetallen, kompatibel. Darüber hinaus hat die DLC-Beschichtung einen niedrigen Reibungskoeffizienten (COF) von nur 0,1 gegenüber Lagerstählen und eignet sich daher für Anwendungen, bei denen eine geringere Reibung gewünscht wird.
Die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PACVD) ist ein Verfahren, das üblicherweise zur Abscheidung von DLC-Schichten verwendet wird. Dieses Verfahren aktiviert chemische Reaktionen durch Plasmaanregung und Ionisierung und ermöglicht die Abscheidung bei niedrigen Temperaturen von nur etwa 200 °C unter Verwendung gepulster Glüh- oder Hochfrequenzentladungen. PACVD ermöglicht die Erzeugung von DLC-Schichten mit einem niedrigen Reibungskoeffizienten und einer skalierbaren Oberflächenhärte.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass DLC-Beschichtungen äußerst haltbare und harte Schichten sind, die für verschiedene Anwendungen in unterschiedlichen Branchen eingesetzt werden. Sie wird mit dem RF-PECVD-Verfahren oder dem PACVD-Verfahren abgeschieden, das eine Abscheidung bei niedrigen Temperaturen ermöglicht. Die DLC-Beschichtung weist eine hohe Härte, einen niedrigen Reibungskoeffizienten und eine gute Haftung auf verschiedenen Substraten auf.
