MPCVD
HFCVD-Maschinensystemausrüstung für Ziehstein-Nanodiamantbeschichtung
Artikelnummer : MP-CVD-100
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Anwendung
Das Arbeitsprinzip der HFCVD-Diamantabscheidung durch chemische Gasphasenabscheidung ist: Mischen einer kohlenstoffhaltigen Atmosphäre mit übersättigtem Wasserstoff, Aktivieren auf eine bestimmte Weise und anschließendes Leiten durch eine bestimmte Atmosphärenzusammensetzung, Aktivierungsenergie, Substrattemperatur und den Abstand zwischen Substrat und Aktivierungsquelle usw. Unter diesen Bedingungen wird ein Diamantfilm auf der Bodenfläche abgeschieden. Es wird allgemein angenommen, dass die Keimbildung und das Wachstum von Diamantfilmen in drei Stufen unterteilt werden können:
- Kohlenstoffhaltiges Gas und Radon-Gas zersetzen sich bei einer bestimmten Temperatur in Kohlenstoff-, Wasserstoffatome und andere aktive freie Gruppen. Sie verbinden sich mit der Matrix, um zunächst eine sehr dünne Carbid-Übergangsschicht zu bilden.
- Kohlenstoffatome scheiden Diamantkeime auf der auf dem Substrat gebildeten Übergangsschicht ab.
- Der gebildete Diamantkristallkeim wächst unter geeigneten Bedingungen zu einem Diamantmikroobjekt heran und wächst dann zu einem Diamantfilm heran.
Details & Teile
Technische Spezifikationen
| HFCVD Technische Zusammensetzung | ||
| Technische Parameter | Ausrüstungszusammensetzung | Systemkonfiguration |
| Glocke: Ø 500mm, Höhe 550mm, SUS304 Edelstahlkammer; interne Edelstahlhautisolierung, Hubhöhe 350mm; | Ein Satz Vakuumkammer (Glocke) Hauptkörper (mit Mantel-Wasserkühlung) | Vakuumkammer (Glocke) Hauptkörper; Der Hohlraum besteht aus hochwertigem 304-Edelstahl; Vertikale Glocke: Der wassergekühlte Mantel ist am gesamten Umfang der Glocke angebracht. Die Innenwand der Glocke ist mit Edelstahlhaut isoliert, und die Glocke ist an der Seite befestigt. Genaue und stabile Positionierung; Beobachtungsfenster: horizontal in der Mitte der Vakuumkammer angeordnet 200mm Beobachtungsfenster, Wasserkühlung, Blende, Seiten- und Oberkonfiguration 45 Grad Schrägwinkel, 50° Beobachtungsfenster (beobachtet denselben Punkt wie das horizontale Beobachtungsfenster und die Probenauflageplattform); die beiden Beobachtungsfenster behalten die vorhandene Position und Größe bei. Der Boden der Glocke ist 20 mm höher als die Ebene der Werkbank, Kühlung vorgesehen; die in der Ebene reservierten Löcher, wie z. B. große Ventile, Entlüftungsventile, Luftdruckmessung, Bypassventile usw., sind mit Metallgitter abgedichtet und für die Installation von Elektrodenanschlüssen reserviert; |
| Gerätetisch: L1550* B900*H1100mm | Ein Satz Schleppprobentischvorrichtung (mit Doppelachsenantrieb) | Probenhaltervorrichtung: Edelstahl-Probenhalter (Schweißwasserkühlung) 6-Positionen-Vorrichtung; sie ist separat verstellbar, nur Höhenverstellung, der Höhenverstellbereich beträgt 25mm, und das seitliche Schütteln muss beim Auf- und Abwärtsfahren weniger als 3% betragen (d.h. das seitliche Schütteln beim Auf- oder Abwärtsfahren um 1mm beträgt weniger als 0,03mm), und die Probenbühne dreht sich beim Auf- und Abwärtsfahren nicht. |
| Endvakuum: 2,0×10-1Pa; | Ein Satz Vakuumsystem | Vakuumsystem: Vakuumsystemkonfiguration: mechanische Pumpe + Vakuumventil + physikalisches Entlüftungsventil + Hauptabluftrohr + Bypass; (vom Vakuumpumpenlieferanten bereitgestellt), das Vakuumventil verwendet ein pneumatisches Ventil; Vakuummessung: Membran-Druck. |
| Druckanstiegsrate: ≤5Pa/h; | Zwei Kanäle Massendurchflussmesser Gasversorgungssystem | Gasversorgungssystem: Der Massendurchflussmesser wird von Partei B konfiguriert, zweikanaliger Lufteinlass, der Durchfluss wird vom Massendurchflussmesser gesteuert, nach dem Zusammenführen der beiden Kanäle tritt er von oben in die Vakuumkammer ein, und das Innere des Lufteinlassrohrs beträgt 50 mm |
| Probenbewegung: Höhenbereich ± 25m; seitliches Schütteln im Verhältnis von ± 3% beim Auf- und Abwärtsfahren erforderlich; | Ein Satz Elektrodenvorrichtung (2 Kanäle) | Elektrodenvorrichtung: Die Längsrichtung der vier Elektrodenlöcher ist parallel zur Längsrichtung der Stützplattform und die Längsrichtung zeigt zum Hauptbeobachtungsfenster mit einem Durchmesser von 200 mm. |
| Arbeitsdruck: Membrandruckmesser, Messbereich: 0 ~ 10kPa; konstanter Betrieb bei 1kPa ~5kPa, der konstante Druckwert ändert sich um plus oder minus 0,1kPa; | Ein Satz Kühlwassersystem | Kühlwassersystem: Die Glocke, Elektroden und Bodenplatte sind alle mit zirkulierenden Wasserkühlleitungen ausgestattet und verfügen über eine Alarmvorrichtung bei unzureichendem Wasserdurchfluss 3.7: Steuerungssystem. Schalter, Instrumente, Geräte und Stromversorgung für Glockenheben, Entlüften, Vakuumpumpe, Hauptleitung, Bypass, Alarm, Durchfluss, Luftdruck usw. sind an der Seite des Ständers angebracht und werden über einen 14-Zoll-Touchscreen gesteuert; die Ausrüstung verfügt über ein vollautomatisches Steuerungsprogramm ohne manuelles Eingreifen und kann Daten speichern und abrufen |
| Lufteinlassposition: Lufteinlass oben an der Glocke, und die Position des Auslassstutzens befindet sich direkt unter dem Probenhalter; | Steuerungssystem | |
| Steuerungssystem: SPS-Steuerung + 10-Zoll-Touchscreen | Ein Satz automatisches Druckregelsystem (Original-Druckregelventil aus Deutschland) | |
| Aufblassystem: 2 Kanäle Massendurchflussmesser, Durchflussbereich: 0-2000sccm und 0-200sccm; Pneumatikventil | Widerstands-Vakuummeter | |
| 3.1.10 Vakuumpumpe: D16C Vakuumpumpe | ||
Vorteile
Der Ziehstein mit Nanodiamant-Verbundbeschichtung verwendet Hartmetall (WC-Co) als Substrat und die chemische Gasphasenabscheidung (kurz CVD-Methode), um die herkömmliche Diamant- und Nanodiamant-Verbundbeschichtung auf der Oberfläche des Innendurchgangs der Form aufzubringen. Und ein brandneues Produkt, das nach dem Schleifen und Polieren der Beschichtung erhalten wird. Die auf die Oberfläche des Innendurchgangs aufgebrachte Nanodiamant-Verbundbeschichtung weist nicht nur die Eigenschaften einer starken Haftung und Verschleißfestigkeit der herkömmlichen Diamantbeschichtung auf, sondern bietet auch die Vorteile einer ebenen und glatten Oberfläche der Nanodiamantbeschichtung, eines geringen Reibungskoeffizienten und einer einfachen Schleif- und Polierbarkeit. Die Beschichtungstechnologie löst nicht nur das technische Problem der Beschichtungshaftung, sondern durchbricht auch den Engpass, dass die Oberfläche der Diamantbeschichtung nicht leicht zu polieren ist, und beseitigt Hindernisse für die Industrialisierung von CVD-Diamantfilmen.
|
Technische Indikatoren |
Traditioneller Ziehstein |
Nanodiamant-beschichteter Ziehstein |
|
Oberflächenkorngröße der Beschichtung |
Keine |
20~80nm |
|
Diamantgehalt der Beschichtung |
Keine |
≥99% |
|
Diamantbeschichtungsdicke |
Keine |
10 ~ 15mm |
|
Oberflächenrauheit |
Ra≤0,1mm |
Klasse A: Ra≤0,1mm Klasse B: Ra≤0,05mm |
|
Innendurchmesserbereich der beschichteten Ziehsteine |
Ø3 ~ Ø70mm |
Ø3 ~ Ø70mm |
|
Lebensdauer |
Die Lebensdauer hängt von den Arbeitsbedingungen ab |
6-10 mal länger |
|
Oberflächenreibungskoeffizient |
0,8 |
0,1 |
- Für die Parallelität und Geradheit der Hubplattform der Ausrüstung hat unser Unternehmen spezielle Werkzeuge hergestellt. Die biaxiale Hubmethode reicht aus, um die beiden Enden um etwa ±2 Drähte anzuheben und abzusenken, sodass kleinere Formen hergestellt werden können.
- Für die Werkzeuge der Ausrüstung integriert unser Unternehmen die Position jedes Unternehmens bei den Werkzeugen und zielt auf die Werkzeuge und Prozesse der Form ab. Gute Werkzeuge und Klemmung, stabil und zuverlässig, hohe Präzision, einfach zu bedienen.
- Für das Absperrventil der Ausrüstung verwenden andere Hersteller Klappenventile, die nicht linear verstellt werden können (d.h. der Spalt vergrößert sich beim Öffnen schnell). Unser Unternehmen konzipiert es nach dem Prinzip des Absperrventils und der stabilen Druckregelung, so dass der Absperrspalt linear verstellt werden kann, um eine stabile Druckregelung zu erreichen;
- Das vollautomatische Steuerungssystem steuert den Druck automatisch nach Computer-Algorithmen; es kann die Zufälligkeit des Bedieners reduzieren und den Prozess vertraulicher machen. Es spart Arbeitskräfte und die Konsistenz der Formqualität bei gleichen Spezifikationen ist idealer;
- Für die Stabilität der Hubglocke verwenden wir selbstschmierende Lager, die die Drehung flexibler und staufreier machen. Grundlegender Prozess, Diamantbeschichtung kann nach dem Diamantbeschichtungsprozess jedes Kunden hergestellt werden.
Warnungen
Die Sicherheit des Bedieners steht an erster Stelle! Bitte bedienen Sie das Gerät mit Vorsicht. Das Arbeiten mit brennbaren, explosiven oder giftigen Gasen ist sehr gefährlich. Der Bediener muss alle erforderlichen Vorsichtsmaßnahmen treffen, bevor er das Gerät in Betrieb nimmt. Das Arbeiten mit Überdruck in den Reaktoren oder Kammern ist gefährlich. Der Bediener muss die Sicherheitsvorschriften strikt einhalten. Besondere Vorsicht ist auch beim Umgang mit luftreaktiven Materialien geboten, insbesondere unter Vakuum. Durch ein Leck kann Luft in das Gerät eindringen und eine heftige Reaktion hervorrufen.
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