MPCVD
Ziehdüse mit Nano-Diamantbeschichtung, HFCVD-Ausrüstung
Artikelnummer : MP-CVD-100
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Das Funktionsprinzip der chemischen Gasphasenabscheidung von Diamant durch HFCVD besteht darin, eine kohlenstoffhaltige Atmosphäre mit übersättigtem Wasserstoff zu mischen, ihn auf eine bestimmte Weise zu aktivieren und ihn dann durch eine bestimmte Atmosphärenzusammensetzung, Aktivierungsenergie, Substrattemperatur und den Abstand zwischen dem Substrat und zu leiten die Aktivierungsquelle usw. Unter diesen Bedingungen wird ein Diamantfilm auf der unteren Oberfläche abgeschieden. Es wird allgemein angenommen, dass die Keimbildung und das Wachstum von Diamantfilmen in drei Phasen unterteilt werden können:
- Kohlenstoffhaltiges Gas und Radongas zerfallen bei einer bestimmten Temperatur in Kohlenstoff, Wasserstoffatome und andere aktive freie Gruppen. Sie verbinden sich mit der Matrix und bilden zunächst eine sehr dünne Karbid-Übergangsschicht.
- Kohlenstoffatome lagern Diamantkeime auf der auf dem Substrat gebildeten Übergangsschicht ab.
- Der gebildete Diamantkristallkern wächst unter einer geeigneten Umgebung zu einem Diamantmikroelement und dann zu einem Diamantfilm.
Details & Teile
Technische Spezifikationen
| Technische Zusammensetzung von HFCVD | ||
| Technische Parameter | Zusammensetzung der Ausrüstung | Systemkonfiguration |
| Glasglocke: Durchm. 500 mm, Höhe 550 mm, Kammer aus Edelstahl SUS304; innere Edelstahlhautisolierung, Hubhöhe beträgt 350 mm; | Ein Satz Hauptkörper der Vakuumkammer (Glocke) (ummantelte Wasserkühlungsstruktur) | Hauptkörper der Vakuumkammer (Glocke); Der Hohlraum besteht aus hochwertigem Edelstahl 304; Vertikale Glasglocke: Der ummantelte Wasserkühlmantel ist am gesamten Umfang der Glasglocke angebracht. Die Innenwand der Glasglocke ist mit einer Edelstahlhaut isoliert und die Glasglocke ist seitlich befestigt. Genaue und stabile Positionierung; Beobachtungsfenster: horizontal in der Mitte der Vakuumkammer angeordnet. 200-mm-Beobachtungsfenster, Wasserkühlung, Prallplatte, seitliche und obere Konfiguration, 45-Grad-Abschrägungswinkel, 50°-Beobachtungsfenster (beobachten Sie den gleichen Punkt wie das horizontale Beobachtungsfenster und die Probentragplattform ); Die beiden Beobachtungsfenster behalten die bestehende Position und Größe bei. Der Boden der Glasglocke ist 20 mm höher als die Ebene der Bank, eingestellte Kühlung; Die im Flugzeug reservierten Löcher, wie z. B. große Ventile, Entlüftungsventile, Luftdruckmessung, Bypassventile usw., sind mit Metallgitter abgedichtet und für die Installation der Elektrodenschnittstelle reserviert. |
| Gerätetisch: L1550* B900*H1100mm | Ein Satz Schleppprobentischgeräte (mit Doppelachsenantrieb) | Probenhaltergerät: Probenhalter aus Edelstahl (Schweißwasserkühlung), 6-Positionen-Gerät; Es kann separat eingestellt werden, nur nach oben und unten verstellbar, der Einstellbereich nach oben und unten beträgt 25 mm, und das linke und rechte Schütteln muss beim Auf- und Abfahren weniger als 3 % betragen (d. h. das linke und rechte Schütteln von). Das Ansteigen oder Absenken um 1 mm beträgt weniger als 0,03 mm und der Probentisch dreht sich beim Anheben oder Absenken nicht. |
| Endvakuumgrad: 2,0×10-1Pa; | Eine Reihe von Vakuumsystemen | Vakuumsystem: Konfiguration des Vakuumsystems: mechanische Pumpe + Vakuumventil + physisches Entlüftungsventil + Hauptabgasrohr + Bypass; (vom Vakuumpumpenlieferanten bereitgestellt), das Vakuumventil verwendet ein pneumatisches Ventil; Vakuumsystemmessung: Membrandruck. |
| Druckanstiegsrate: ≤5Pa/h; | Zweikanaliges Massendurchflussmesser-Gasversorgungssystem | Gasversorgungssystem: Der Massendurchflussmesser wird von Partei B konfiguriert, Zwei-Wege-Lufteinlass, die Durchflussrate wird durch den Massendurchflussmesser gesteuert, nach dem Zwei-Wege-Treffen gelangt er von oben in die Vakuumkammer und von innen des Lufteinlassrohrs beträgt 50 mm |
| Bewegung des Probentisches: Auf- und Abwärtsbereich beträgt ± 25 m; Es ist erforderlich, das Verhältnis von links und rechts beim Auf- und Abwärtsfahren um ± 3 % zu schütteln. | Ein Satz Elektrodengerät (2 Kanäle) | Elektrodengerät: Die Längsrichtung der vier Elektrodenlöcher verläuft parallel zur Längsrichtung der Stützplattform und die Längsrichtung zeigt zum Hauptbeobachtungsfenster mit einem Durchmesser von 200 mm. |
| Arbeitsdruck: Membranmanometer-Manometer verwenden, Messbereich: 0 ~ 10 kPa; Arbeitskonstante bei 1 kPa ~ 5 kPa, der konstante Druckwert ändert sich um plus oder minus 0,1 kPa; | Eine Reihe von Kühlwassersystemen | Kühlwassersystem: Die Glocke, die Elektroden und die Bodenplatte sind alle mit Kühlleitungen für zirkulierendes Wasser und mit einem Alarmgerät für unzureichenden Wasserdurchfluss ausgestattet. 3.7: Steuersystem. Schalter, Instrumente, Instrumente und Stromversorgung für Glockenanheben, Luftablass, Vakuumpumpe, Hauptstraße, Bypass, Alarm, Durchfluss, Luftdruck usw. sind an der Seite des Ständers angebracht und werden über einen 14-Zoll-Touchscreen gesteuert ; Das Gerät verfügt über ein vollautomatisches Steuerprogramm ohne manuelle Eingriffe und kann Daten und Anrufdaten speichern |
| Position des Lufteinlasses: Der Lufteinlass befindet sich oben an der Glasglocke und die Position der Auslassöffnung befindet sich direkt unter dem Probenhalter. | Kontrollsystem | |
| Steuerungssystem: SPS-Steuerung + 10-Zoll-Touchscreen | Ein Satz automatischer Druckregelsysteme (originales Druckregelventil aus Deutschland importiert) | |
| Aufblassystem: 2-Kanal-Massendurchflussmesser, Durchflussbereich: 0–2000 sccm und 0–200 sccm; Pneumatisches Ventilventil | Widerstandsvakuummeter | |
| 3.1.10 Vakuumpumpe: D16C Vakuumpumpe | ||
Vorteile
Die Ziehmatrize mit Nano-Diamant-Verbundbeschichtung verwendet Hartmetall (WC-Co) als Substrat und verwendet die chemische Dampfphasenmethode (kurz CVD-Methode), um die herkömmliche Diamant- und Nano-Diamant-Verbundbeschichtung auf der Oberfläche des Inneren aufzutragen Loch der Form. Und ein brandneues Produkt, das nach dem Schleifen und Polieren der Beschichtung entsteht. Die auf die Oberfläche des Innenlochs aufgetragene Nano-Diamant-Verbundbeschichtung weist nicht nur die Eigenschaften einer starken Haftung und Verschleißfestigkeit der herkömmlichen Diamantbeschichtung auf, sondern bietet auch die Vorteile einer flachen und glatten Oberfläche der Nano-Diamantbeschichtung und geringer Reibung Koeffizient und einfaches Schleifen und Polieren. Die Beschichtungstechnologie löst nicht nur das technische Problem der Beschichtungshaftung, sondern überwindet auch den Engpass, dass die Oberfläche der Diamantbeschichtung nicht leicht zu polieren ist, und beseitigt die Hindernisse für die Industrialisierung von CVD-Diamantfilmen.
Technische Indikatoren | Traditioneller Zeichenstempel | Ziehmatrize mit Nanodiamantbeschichtung |
Korngröße der Beschichtungsoberfläche | keiner | 20~80nm |
Diamantgehalt der Beschichtung | keiner | ≥99 % |
Dicke der Diamantbeschichtung | keiner | 10 ~ 15 mm |
Oberflächenrauheit | Ra≤0,1mm | Klasse A: Ra≤0,1 mm Klasse B: Ra≤0,05 mm |
Bereich des Innenlochdurchmessers der Beschichtungsziehmatrize | Ф3 ~ Ф70mm | Ф3 ~ Ф70mm |
Lebensdauer | Die Lebensdauer hängt von den Arbeitsbedingungen ab | 6-10 mal länger |
Oberflächenreibungskoeffizient | 0,8 | 0,1 |
- Für die Parallelität und Geradlinigkeit der Formhebeplattform der Anlage hat unser Unternehmen speziell Spezialwerkzeuge hergestellt. Die biaxiale Hebemethode reicht aus, um die beiden Enden um etwa ±2 Drähte anheben und absenken zu können, sodass kleinere Formen hergestellt werden können.
- Für die Werkzeugausstattung der Ausrüstung integriert unser Unternehmen den Standort jedes Unternehmens in die Werkzeugausstattung und zielt dabei auf die Werkzeugausstattung und den Prozess der Form ab. Gute Werkzeuge und Klemmung, stabil und zuverlässig, hohe Präzision, einfach zu bedienen.
- Als Absperrventil der Geräte verwenden andere Hersteller Prallventile, die nicht linear verstellbar sind (d. h. der Spalt vergrößert sich schnell, sobald man es öffnet). Unser Unternehmen konstruiert es nach dem Prinzip des Absperrventils und der stabilen Druckregelung, so dass der Absperrspalt linear eingestellt werden kann, um eine stabile Druckregelung zu erreichen;
- Das vollautomatische Steuersystem regelt den Druck automatisch nach Computeralgorithmen; Dadurch kann die Zufälligkeit des Bedieners verringert und der Prozess vertraulicher gestaltet werden. Dies spart Arbeit und die Konsistenz der Formqualität bei gleichen Spezifikationen ist idealer.
- Für die Stabilität der Hubglocke verwendet unser Unternehmen selbstschmierende Lager, die die Drehung flexibler und verklemmungsfreier machen. Grundverfahren: Die Diamantbeschichtung kann entsprechend dem Diamantbeschichtungsverfahren jedes Kunden durchgeführt werden.
Warnungen
Die Sicherheit des Bedieners steht an erster Stelle! Bitte bedienen Sie das Gerät mit Vorsicht. Das Arbeiten mit brennbaren, explosiven oder giftigen Gasen ist sehr gefährlich. Der Bediener muss alle erforderlichen Vorsichtsmaßnahmen treffen, bevor er das Gerät in Betrieb nimmt. Das Arbeiten mit Überdruck in den Reaktoren oder Kammern ist gefährlich. Der Bediener muss die Sicherheitsvorschriften strikt einhalten. Besondere Vorsicht ist auch beim Umgang mit luftreaktiven Materialien geboten, insbesondere unter Vakuum. Durch ein Leck kann Luft in das Gerät eindringen und eine heftige Reaktion hervorrufen.
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