Die Goldbeschichtung für die Rasterelektronenmikroskopie (REM) ist entscheidend für die Verbesserung der Bildqualität und die Vermeidung von Probenschäden.
5 wichtige Einblicke in die Goldbeschichtung für SEM
1. Schichtdicke
Die typische Dicke von Goldbeschichtungen für SEM-Anwendungen liegt zwischen 2 und 20 Nanometern (nm).
2. Sputter-Beschichtungsprozess
Diese ultradünne Goldschicht wird mit einem Verfahren namens Sputter Coating aufgebracht.
3. Zweck der Beschichtung
Der Hauptzweck dieser Beschichtung besteht darin, die Aufladung der Probe zu verhindern und den Nachweis von Sekundärelektronen zu verbessern.
4. Die Vorteile von Gold
Gold ist das am häufigsten verwendete Material, da es aufgrund seiner geringen Arbeitsfunktion sehr effizient für die Beschichtung ist.
5. Spezifische Anwendungen
Bei speziellen Anwendungen, wie der Beschichtung eines 6"-Wafers mit Gold/Palladium (Au/Pd), wurde eine Schichtdicke von 3 nm verwendet.
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