Bei der Sputterbeschichtung im REM wird eine hauchdünne Schicht aus elektrisch leitendem Metall auf nicht oder schlecht leitende Proben aufgebracht. Dieses Verfahren ist entscheidend, um die Aufladung der Proben zu verhindern und das Signal-Rausch-Verhältnis bei der REM-Bildgebung zu verbessern. Die in der Regel 2-20 nm dicke Beschichtung wird mit einer Technik aufgebracht, bei der ein Metallplasma erzeugt und auf die Probe aufgebracht wird.
Ausführliche Erläuterung:
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Zweck der Sputter-Beschichtung:
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Die Sputterbeschichtung wird in erster Linie eingesetzt, um das Problem der Probenaufladung im REM zu lösen. Nichtleitende Materialien können statische elektrische Felder akkumulieren, wenn sie dem Elektronenstrahl ausgesetzt sind, wodurch das Bild verzerrt und die Probe beschädigt werden kann. Durch das Aufbringen einer leitfähigen Schicht, z. B. aus Gold, Platin oder deren Legierungen, wird die Ladung abgeleitet, so dass ein klares und unverzerrtes Bild entsteht.Technik und Verfahren:
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Bei der Sputterbeschichtung wird ein Metallplasma durch eine Glimmentladung erzeugt, bei der der Ionenbeschuss einer Kathode das Material abträgt. Die gesputterten Atome lagern sich dann auf der Probe ab und bilden einen dünnen, leitfähigen Film. Dieser Prozess wird sorgfältig kontrolliert, um eine gleichmäßige und konsistente Beschichtung zu gewährleisten, wobei häufig automatisierte Anlagen eingesetzt werden, um eine hohe Präzision und Qualität zu gewährleisten.
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Vorteile für die SEM-Bildgebung:
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Die Sputterbeschichtung verhindert nicht nur die Aufladung, sondern erhöht auch die Emission von Sekundärelektronen von der Probenoberfläche. Diese erhöhte Sekundärelektronenausbeute verbessert das Signal-Rausch-Verhältnis, was zu klareren und detaillierteren Bildern führt. Darüber hinaus kann die leitfähige Beschichtung dazu beitragen, thermische Schäden an der Probe zu verringern, indem sie die vom Elektronenstrahl erzeugte Wärme ableitet.Verwendete Metallsorten:
Zu den gängigen Metallen für die Sputterbeschichtung gehören Gold (Au), Gold/Palladium (Au/Pd), Platin (Pt), Silber (Ag), Chrom (Cr) und Iridium (Ir). Die Wahl des Metalls hängt von Faktoren wie den Eigenschaften der Probe und den spezifischen Anforderungen der REM-Analyse ab.Dicke der Beschichtung:
