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Sauerstofffreier Kupfertiegel mit Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung

Teile zur Dünnschichtabscheidung

Sauerstofffreier Kupfertiegel mit Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung

Artikelnummer : KMS06

Preis variiert je nach specs and customizations


Material
Sauerstofffreies Kupfer
Spezifikation
35-50*17-25mm
ISO & CE icon

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Einführung

Der sauerstofffreie Kupfertiegel mit Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung ist eine Art Laborgerät, das für die Abscheidung dünner Filme verwendet wird. Mithilfe eines Elektronenstrahls wird ein Material verdampft, das dann auf einem Substrat abgeschieden wird. Mit diesem Verfahren werden dünne Schichten aus Metallen, Dielektrika und anderen Materialien hergestellt.

Der sauerstofffreie Kupfertiegel mit Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung besteht aus sauerstofffreiem Kupfer, das eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist und beständig gegen Oxidation ist. Dadurch ist es ideal für den Einsatz in Hochtemperaturanwendungen geeignet. Der Tiegel ist außerdem wassergekühlt, um eine Überhitzung zu verhindern.

Der sauerstofffreie Kupfertiegel mit Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung ist ein vielseitiges Gerät, das für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden kann. Es wird häufig in der Halbleiterindustrie eingesetzt, kann aber auch in anderen Branchen eingesetzt werden, beispielsweise in der optischen und medizinischen Industrie.

Anwendung

Unter Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung versteht man den Prozess, bei dem Elektronenstrahlen verwendet werden, um Materialien im Prozess der Dünnfilmabscheidung zu verdampfen und sie dann auf dem Substrat zu kondensieren, um einen dünnen Film zu bilden. Wenn Sie Elektronenstrahlverdampfungstechniken verwenden, verwenden Sie sauerstofffreie Kupfertiegel, um eine sauerstofffreie oder sauerstoffarme Umgebung aufrechtzuerhalten und das Risiko einer Sauerstoffkontamination während der Verdampfung zu minimieren. Dies trägt dazu bei, dass hochwertige Filme ohne unerwünschte chemische Reaktionen oder Oxidation abgeschieden werden. Bei der Handhabung empfindlicher Materialien oder bei der Abscheidung dünner Filme, bei denen eine hohe Reinheit erforderlich ist, werden häufig sauerstofffreie Kupfertiegel bevorzugt.

  • Halbleiterindustrie: Herstellung von integrierten Schaltkreisen, Halbleiterbauelementen und Mikroelektronik.
  • Optik und Photonik: Optische Beschichtungen und Filme für Linsen, Spiegel, Filter, Wellenleiter und andere optische Komponenten.
  • Solarenergie: Durch Elektronenstrahlverdampfung werden Dünnschichtsolarzellen wie CIGS- (Kupfer-Indium-Gallium-Selenid) und CdTe-Solarzellen (Cadmiumtellurid) hergestellt.
  • Display-Technologie: Mithilfe der Elektronenstrahlverdampfung werden dünne Filme für verschiedene Arten von Displays hergestellt, darunter LCD- (Liquid Crystal Display), OLED- (Organic Light Emitting Diode) und Mikrodisplay-Technologien.
  • Herstellung von Sensoren und Elektronik: Durch Elektronenstrahlverdampfung werden dünne Schichten für Sensoren, Elektronik und integrierte Schaltkreise hergestellt.

Details des sauerstofffreien Kupfertiegels werden durch Elektronenstrahlverdampfung beschichtet

Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung sauerstofffreier Kupfertiegel, Detail 1

Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung sauerstofffreier Kupfertiegel, Detail 2

Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung sauerstofffreier Kupfertiegel, Detail 3

Technische Spezifikationen

Außendurchmesser und Höhe 35*17mm 40*17mm 45*22mm 50*25mm

Die von uns gezeigten Tiegel sind in verschiedenen Größen erhältlich, Sondergrößen sind auf Anfrage möglich.

Merkmale

Der sauerstofffreie Kupfertiegel mit Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung verfügt über einen Vier-Taschen-Herd, der bis zu vier Ausgangsmaterialien aufnehmen kann, was die sequentielle Abscheidung von vier Materialschichten ermöglicht, ohne das Vakuum zu unterbrechen. Dadurch ist es einfach, mehrere unterschiedliche Beschichtungsschichten aus unterschiedlichen Zielmaterialien aufzutragen und sich problemlos an eine Vielzahl von Lift-Off-Maskierungstechniken anzupassen.

Der Tiegel ist wassergekühlt, um zu verhindern, dass er sich durch Wärmeenergie aufheizt, und durch direktes Erhitzen der Ausgangsmaterialien wird das Risiko einer Hitzeschädigung des Substrats ausgeschlossen. Dies macht die Elektronenstrahlverdampfung ideal für Anwendungen, bei denen hohe Temperaturen und Verschleißfestigkeit von entscheidender Bedeutung sind, beispielsweise in der Luft- und Raumfahrt-, Automobil- und Schneidwerkzeugindustrie.

Die Elektronenstrahlverdampfung wird auch für optische Dünnfilme eingesetzt, die von Laseroptiken über Solarpaneele bis hin zu Brillen und Architekturglas reichen, um ihnen die gewünschten leitfähigen, reflektierenden und durchlässigen Eigenschaften zu verleihen.

FAQ

Was ist ein Thermoelement?

Ein Thermoelement ist ein Gerät, das elektrische Energie in Wärme umwandelt, um die Temperatur eines Objekts oder Raums zu erhöhen. Es gibt verschiedene Arten von Thermoelementen, darunter Rohrheizelemente, Strahlungsheizelemente und kombinierte Heizelementsysteme. Die Wärmeübertragung erfolgt durch Wärmewiderstand und Wärmekapazität, und es gibt drei Wärmequellen: eine Stromquelle, eine Temperaturquelle und einen Flüssigkeitsfluss. Thermoelemente werden häufig in Laborgeräten sowie in verschiedenen häuslichen und industriellen Anwendungen eingesetzt.

Wie funktioniert ein Thermoelement?

Ein Thermoelement wandelt elektrische Energie durch den Prozess der Jouleschen Erwärmung in Wärme um. Wenn ein elektrischer Strom durch das Element fließt, stößt er auf einen Widerstand, was zu einer Erwärmung des Elements führt. Heizelemente aus Metall und Keramik arbeiten nach dem Prinzip der elektrischen Widerstandsheizung und erzeugen Wärme, indem sie dem Stromfluss durch das Material Widerstand leisten. Der elektrische Widerstandskoeffizient des Materials bestimmt seine Fähigkeit, Wärme proportional zur durchfließenden Strommenge zu erzeugen. Die erzeugte Wärme strahlt nach außen in die Wärmebehandlungskammer, wodurch Thermoelemente eine äußerst effektive Methode zur Wärmeerzeugung darstellen.

Welche Materialien werden üblicherweise für Verdampfertiegel verwendet?

Verdampfungstiegel bestehen üblicherweise aus Materialien wie Wolfram, Tantal, Molybdän, Graphit oder Keramikverbindungen. Diese Materialien haben einen hohen Schmelzpunkt und eine gute Wärmeleitfähigkeit, wodurch sie für die beim Verdampfen erforderlichen Hochtemperaturbedingungen geeignet sind. Die Wahl des Tiegelmaterials hängt von Faktoren wie dem Verdampfungsmaterial, den gewünschten Filmeigenschaften und den Prozessparametern ab.

Welche Vorteile bietet der Einsatz von Abdampftiegeln?

Verdampfungstiegel bieten bei Dünnschichtabscheidungsprozessen mehrere Vorteile. Sie bieten eine kontrollierte Umgebung für die Verdampfung von Materialien und ermöglichen eine präzise Kontrolle der Filmdicke und Gleichmäßigkeit. Tiegel halten hohen Temperaturen stand und sorgen für eine effiziente Wärmeübertragung, sodass konstante Verdampfungsraten gewährleistet sind. Sie sind in verschiedenen Größen und Formen erhältlich, um sich an unterschiedliche Verdampfungssysteme und Substratkonfigurationen anzupassen. Verdampfungstiegel ermöglichen auch die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien, darunter Metalle, Halbleiter und Keramik. Sie lassen sich einfach be- und entladen und ermöglichen so einen schnellen Materialwechsel oder Prozessanpassungen. Insgesamt sind Verdampfungstiegel unverzichtbare Werkzeuge für Dünnschichtabscheidungstechniken und bieten Vielseitigkeit, Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit.

Wie sollten Verdampfertiegel gehandhabt und gewartet werden?

Um ihre Langlebigkeit und Leistung zu gewährleisten, sollten Verdampfertiegel sorgfältig gehandhabt und gewartet werden. Tiegel sollten vor jedem Gebrauch gründlich gereinigt werden, um eventuelle Rückstände früherer Ablagerungen zu entfernen. Vermeiden Sie die Verwendung von abrasiven Materialien, die die Oberfläche des Tiegels beschädigen könnten. Fassen Sie die Tiegel beim Be- und Entladen mit sauberen Handschuhen oder Spezialwerkzeugen an, um eine Kontamination zu vermeiden. Bewahren Sie Tiegel bei Nichtgebrauch in einer trockenen und sauberen Umgebung auf, um Korrosion oder Zersetzung zu vermeiden. Eine regelmäßige Überprüfung der Tiegel auf Risse, Defekte oder Verschleißerscheinungen ist wichtig, um unerwartete Ausfälle während des Verdampfungsprozesses zu verhindern. Befolgen Sie die Empfehlungen des Herstellers für alle spezifischen Wartungsverfahren, wie z. B. Glühen oder Oberflächenbehandlung, um die Lebensdauer des Tiegels zu verlängern.
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