Die Sputtering-Beschichtung ist ein Verfahren zum Aufbringen dünner, funktioneller Schichten auf ein Substrat. Dies geschieht durch ein physikalisches Aufdampfverfahren. Bei diesem Verfahren werden durch hochenergetische Teilchen Atome aus einem Zielmaterial herausgeschlagen. Diese Atome lagern sich dann auf einem Substrat ab und bilden eine starke Verbindung auf atomarer Ebene.
Die 3 wichtigsten Schritte werden erklärt
1. Vorbereitung der Umgebung
Das Verfahren beginnt mit der Evakuierung einer Kammer, um alle Moleküle zu entfernen. Dann wird die Kammer mit einem bestimmten Gas wie Argon, Sauerstoff oder Stickstoff gefüllt. Die Wahl des Gases hängt von dem aufzubringenden Material ab.
2. Aktivierung des Sputtering-Prozesses
An das Targetmaterial wird ein negatives elektrisches Potential angelegt. Der Kammerkörper dient als positive Anode. Durch diese Anordnung wird in der Kammer eine Plasmaentladung erzeugt.
3. Ausstoß und Ablagerung von Material
Hochenergetische Teilchen treffen auf das Zielmaterial, wodurch Atome herausgeschleudert werden. Diese Atome wandern durch die Vakuumkammer und lagern sich als dünner Film auf dem Substrat ab.
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