Das Vakuumniveau einer Vakuumpumpe bezieht sich auf das Druckniveau, das die Pumpe erreichen kann.
Verschiedene Arten von Vakuumpumpen bieten unterschiedliche Vakuumniveaus.
Das Vakuumniveau wird normalerweise in verschiedene Druckbereiche eingeteilt.
1. Grobvakuum
Dieser Bereich liegt zwischen 10^3 mbar und 1 mbar (760 bis 0,75 Torr).
2. Mittleres Vakuum
Dieser Bereich reicht von 1 mbar bis 10^-3 mbar (0,75 bis 7,5^-3 Torr).
3. Hochvakuum
Dieser Bereich reicht von 10^-3 mbar bis 10^-7 mbar (7,5^-3 bis 7,5^-7 Torr).
4. Ultra-Hochvakuum
Dieser Bereich reicht von 10^-7 mbar bis 10^-11 mbar (7,5^-7 bis 7,5^-11 Torr).
5. Extremes Hochvakuum
Dieser Bereich liegt unter 10^-11 mbar (< 7,5^-11 Torr).
Das Endvakuum ist das niedrigste Druckniveau, das eine Vakuumpumpe erzeugen kann.
Es ist der Punkt, an dem der Durchfluss auf Null fällt, d. h. die Pumpe kann keine Dämpfe mehr fördern.
Bei der Auswahl einer Vakuumpumpe ist es wichtig, das gewünschte Vakuumniveau für Ihre spezielle Anwendung zu berücksichtigen.
Membran-Vakuumpumpen können beispielsweise ein Endvakuum von bis zu 0,3 mbar bieten, während Drehschieber-Vakuumpumpen ein Endvakuum von bis zu 2 x 10^-3 mbar erreichen können.
Die Vakuumtiefe bezieht sich auf die Höhe des erreichten Vakuums und beeinflusst die Siedepunkte von Verbindungen.
Größere Vakuumtiefen ermöglichen niedrigere Siedepunkte.
Daher ist es wichtig, bei der Auswahl einer Vakuumpumpe die Siedepunkte der zu verwendenden Stoffe zu berücksichtigen.
Wenn Verbindungen mit hohem Siedepunkt verwendet werden, kann es von Vorteil sein, eine Vakuumpumpe mit einer größeren Vakuumtiefe zu kaufen.
Industrielle Vakuumpumpen werden in die Kategorie Ultrahochvakuum (UHV) eingeteilt.
UHV-Pumpen zeichnen sich durch einen Druck von weniger als etwa 100 Nanopascal (10^-7 Pascal, 10^-9 mbar, ~10^-9 Torr) aus.
Bei diesen Pumpen handelt es sich in der Regel um zweistufige Vakuumpumpen.
Eine zweistufige Vakuumpumpe wird bevorzugt, wenn UHV-Vakuumniveaus in einer industriellen Kapazität erreicht werden sollen.
Sie enthält zwei Sätze von Rotoren und Schaufeln, so dass sie eine Niedervakuumstufe und eine Hochvakuumstufe verwenden kann.
Die Hochvakuumstufe saugt Prozessgas an und leitet es an eine zweite Niedervakuumstufe weiter, die das Gas auf Atmosphärendruck komprimiert und so die Vakuumleistung der Pumpe verbessert.
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