Das CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition) bietet gegenüber dem PVD-Verfahren (Physical Vapor Deposition) eine Reihe von Vorteilen, die in erster Linie auf die Verfahrensmerkmale und die Art der Beschichtungen zurückzuführen sind, die damit hergestellt werden können. Zu diesen Vorteilen gehören die Möglichkeit, mit höheren Drücken zu arbeiten, die Fähigkeit, konforme Schichten auf unregelmäßigen Oberflächen abzuscheiden, und die Herstellung hochwertiger, gleichmäßiger Schichten. Außerdem können mit CVD Materialien wie Al2O3 verarbeitet werden, die mit herkömmlichen PVD-Verfahren nur schwer zu bearbeiten sind.
Höherer Betriebsdruck und geringere Anlagenkosten:
CVD-Verfahren arbeiten im Vergleich zu PVD mit deutlich höheren Drücken, so dass keine Hochvakuumpumpen erforderlich sind. Dieser geringere Bedarf an Vakuumtechnik kann zu niedrigeren Ausrüstungskosten führen, insbesondere wenn das System keine umfangreiche Gasmanagement-Infrastruktur für die Handhabung giftiger Gase benötigt.Konforme Schichtabscheidung auf unregelmäßigen Oberflächen:
Der höhere Druck und die laminaren Strömungseigenschaften von CVD ermöglichen die Abscheidung von Schichten, die nicht in der Sichtlinie liegen müssen. Dadurch können mit CVD auch Substrate mit unregelmäßigen Oberflächen oder dicht gepackte Substrate gleichmäßig beschichtet werden. Im Gegensatz zum PVD-Verfahren, das aufgrund seiner Richtungsabhängigkeit oft zu ungleichmäßigen Beschichtungen führt, kann CVD alle freiliegenden Teile einer komplexen 3D-Struktur gleichmäßig beschichten.
Herstellung gleichmäßiger Beschichtungen von hoher Qualität:
CVD zeichnet sich durch die Herstellung von Beschichtungen mit hervorragender Konformität aus. Es ist in der Lage, komplexe 3D-Strukturen gleichmäßig zu beschichten, was ein erheblicher Vorteil gegenüber dem PVD-Verfahren ist, bei dem die Beschichtung nach der Sichtlinie erfolgt. Die durch CVD erzeugte gleichmäßige Beschichtung hat keine Richtungseffekte und gewährleistet eine hochwertige und gleichmäßige Abdeckung.Handhabung spezifischer Materialien wie Al2O3:
CVD hat einen Vorteil bei der Verarbeitung von Materialien wie Al2O3, das eine sehr gute physikalische und chemische Stabilität, Härte, Verschleißfestigkeit und geringe Kosten aufweist. Diese Eigenschaften machen Al2O3 zu einem begehrten Beschichtungsmaterial, dessen Verarbeitung mit CVD besser möglich ist als mit herkömmlichem PVD, da der Herstellungsprozess beim PVD begrenzt ist.
