CVD- und PECVD-Ofen
Vom Kunden gefertigte, vielseitige CVD-Rohrofen-CVD-Maschine
Artikelnummer : KT-CTF16
Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen
- Max. Temperatur
- 1600 ℃
- Konstante Arbeitstemperatur
- 1550 ℃
- Durchmesser des Ofenrohrs
- 60 mm
- Heizzone
- 3x300 mm
- Erwärmungsrate
- 0-10 ℃/min
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Der vom Kunden gefertigte vielseitige CVD-Ofen KT-CTF16 kann gemäß den individuellen Anforderungen des Kunden hergestellt werden, wodurch die exklusive Ausrüstung des Forschers realisiert werden kann.
Vom Kunden erstellte Funktionen wie Schiebeofenkammer, Schiebe-/Rotations-/Kipp-/Schüttelofen-Reaktionsrohr, vertikale Wirbelschicht-Reaktionskammer, Flüssigkeitsvergasungszuführung, Vakuumdichtung, kontinuierliche Zuführung und Entladung, Sammlung toxischer Emissionen, Pilot-CVD-Produktion und so weiter.
Merkmale
- Unabhängige Heizzonen können ein längeres konstantes Temperaturfeld und gleichzeitig einen kontrollierten Temperaturgradienten erzeugen
- PID-programmierbare Temperaturregelung, hervorragende Regelgenauigkeit und Unterstützung für Fernsteuerung und zentrale Steuerung
- Hochpräzise Steuerung des MFC-Massendurchflussmessers, Vormischung der Quellgase und stabile Gaszufuhrgeschwindigkeit
- Edelstahl-Vakuumflansch mit verschiedenen Adapteranschlüssen für unterschiedliche Konfigurationen von Vakuumpumpstationen, gute Abdichtung und hoher Vakuumgrad
- KT-CTF16 Pro verfügt über einen 7-Zoll-TFT-Touchscreen-Controller, benutzerfreundlichere Programmeinstellungen und Verlaufsdatenanalyse
Verschiedene Temperatur- und Setup-CVD-Systeme verfügbar
Technische Spezifikationen
| Ofenmodell | KT-CTF16-60 |
| Max. Temperatur | 1600℃ |
| Konstante Arbeitstemperatur | 1550℃ |
| Ofenrohrmaterial | Hochreines Al2O3-Rohr |
| Durchmesser des Ofenrohrs | 60mm |
| Heizzone | 3x300mm |
| Kammermaterial | Polykristalline Aluminiumoxidfaser |
| Heizkörper | Siliziumkarbid |
| Erwärmungsrate | 0-10℃/min |
| Wärmepaar | S-Typ |
| Temperaturregler | Digitaler PID-Regler/Touchscreen-PID-Regler |
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±1℃ |
| Gaspräzises Steuergerät | |
| Durchflussmesser | MFC-Massendurchflussmesser |
| Gaskanäle | 3 Kanäle |
| Fließrate | MFC1: 0-5SCCM O2 MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| Linearität | ±0,5 % FS |
| Wiederholbarkeit | ±0,2 % FS |
| Rohrleitung und Ventil | Edelstahl |
| Maximaler Betriebsdruck | 0,45 MPa |
| Durchflussmesser-Controller | Digitaler Knopf-Controller/Touchscreen-Controller |
| Standard-Vakuumeinheit (optional) | |
| Vakuumpumpe | Drehschieber-Vakuumpumpe |
| Fördermenge der Pumpe | 4L/S |
| Vakuum-Sauganschluss | KF25 |
| Vakuummessgerät | Pirani/Resistance-Silizium-Vakuummeter |
| Nennvakuumdruck | 10Pa |
| Hochvakuumeinheit (optional) | |
| Vakuumpumpe | Drehschieberpumpe+Molekularpumpe |
| Fördermenge der Pumpe | 4L/S+110L/S |
| Vakuum-Sauganschluss | KF25 |
| Vakuummessgerät | Verbundvakuummeter |
| Nennvakuumdruck | 6x10-5Pa |
| Die oben genannten Spezifikationen und Setups können individuell angepasst werden | |
Standardpaket
| NEIN. | Beschreibung | Menge |
| 1 | Ofen | 1 |
| 2 | Quarzrohr | 1 |
| 3 | Vakuumflansch | 2 |
| 4 | Rohr-Thermoblock | 2 |
| 5 | Rohr-Thermoblockhaken | 1 |
| 6 | Hitzebeständiger Handschuh | 1 |
| 7 | Präzise Gassteuerung | 1 |
| 8 | Vakuumeinheit | 1 |
| 9 | Bedienungsanleitung | 1 |
Optionales Setup
- Erkennung und Überwachung von Rohrgasen wie H2, O2 usw
- Unabhängige Überwachung und Aufzeichnung der Ofentemperatur
- RS 485-Kommunikationsanschluss für PC-Fernsteuerung und Datenexport
- Fügen Sie Gase ein, die die Durchflussmenge steuern, z. B. Massendurchflussmesser und Schwebekörper-Durchflussmesser
- Touchscreen-Temperaturregler mit vielseitigen, bedienerfreundlichen Funktionen
- Hochvakuumpumpstationsaufbauten, wie Flügelzellenvakuumpumpe, Molekularpumpe, Diffusionspumpe
Warnungen
Die Sicherheit des Bedieners steht an erster Stelle! Bitte bedienen Sie das Gerät mit Vorsicht. Das Arbeiten mit brennbaren, explosiven oder giftigen Gasen ist sehr gefährlich. Der Bediener muss alle erforderlichen Vorsichtsmaßnahmen treffen, bevor er das Gerät in Betrieb nimmt. Das Arbeiten mit Überdruck in den Reaktoren oder Kammern ist gefährlich. Der Bediener muss die Sicherheitsvorschriften strikt einhalten. Besondere Vorsicht ist auch beim Umgang mit luftreaktiven Materialien geboten, insbesondere unter Vakuum. Durch ein Leck kann Luft in das Gerät eindringen und eine heftige Reaktion hervorrufen.
Für Sie entworfen
KinTek bietet umfassenden, maßgeschneiderten Service und Ausrüstung für Kunden auf der ganzen Welt. Unsere spezialisierte Teamarbeit und unsere erfahrenen Ingenieure sind in der Lage, die kundenspezifischen Hardware- und Software-Ausrüstungsanforderungen zu erfüllen und unseren Kunden beim Aufbau der exklusiven und personalisierten Ausrüstung und Lösung zu helfen!
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