CVD-Beschichtung (Chemical Vapor Deposition Coating) ist ein Verfahren zum Aufbringen von Dünnfilmbeschichtungen auf verschiedene Substrate. Bei diesem Verfahren werden gasförmige Ausgangsstoffe bei erhöhten Temperaturen, in der Regel bei 500°C bis 1925°F, in einem Reaktor mit kontrollierter Atmosphäre zur Reaktion gebracht. Die Reaktionen zwischen diesen Gasen und der erhitzten Substratoberfläche führen zur Bildung von harten, verschleißfesten Beschichtungen, die sich chemisch und metallurgisch mit dem Substrat verbinden.
Details zum Verfahren:
Das CVD-Verfahren beginnt mit der Einleitung bestimmter Gase in den Reaktor. Diese Gase reagieren bei hohen Temperaturen und bilden eine dünne Schicht auf dem Substrat. So führt beispielsweise die Reaktion von TiCl4, N2 und H2 bei 1000 °C zur Bildung von TiN (Titanium Nitride), einer gängigen CVD-Beschichtung, die für ihre Härte und Verschleißfestigkeit bekannt ist. In ähnlicher Weise wird TiC (Titancarbid) durch die Reaktion von TiCl4, CH4 und H2 bei 1030°C hergestellt.Vorteile von CVD-Beschichtungen:
CVD-Beschichtungen werden wegen ihrer Haltbarkeit und Umweltfreundlichkeit sehr geschätzt. Sie werden in großem Umfang in Branchen eingesetzt, die leistungsstarke dünne Schichten benötigen, z. B. bei Werkzeugmaschinen, Verschleißteilen und Analyseinstrumenten. Die Beschichtungen bieten eine hervorragende Verschleiß- und Abriebfestigkeit und eignen sich daher ideal für Metallumformungsanwendungen und andere stark beanspruchte Umgebungen.
Umwelt- und Sicherheitsaspekte:
Während des CVD-Prozesses entstehen Nebenprodukte wie Chlor und Salzsäuregas. Diese Gase werden aus der Kammer abgeleitet und müssen gemäß den Umweltvorschriften gereinigt werden, um die Sicherheit und Einhaltung der Vorschriften zu gewährleisten.
