MPCVD
Zylindrischer Resonator MPCVD-Diamant-Maschine für Labor-Diamant Wachstum
Artikelnummer : KTWB315
Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen
- Mikrowellenleistung
- Mikrowellenfrequenz 2450±15MHZ
- Ausgangsleistung
- 1~10 KW stufenlos einstellbar
- Mikrowellen-Leckage
- ≤2MW/cm2
- Ausgang Wellenleiterschnittstelle
- WR340, 430 mit FD-340, 430 Standardflansch
- Probenhalter
- Durchmesser des Probentischs≥72mm, effektive Nutzfläche≥66 mm
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Holen Sie sich jetzt Ihr Angebot! Eine Nachricht hinterlassen Schnell Angebot einholen Via Online-ChatMPCVD steht für Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition. Es handelt sich um eine Methode zur Herstellung hochwertiger Diamantschichten im Labor unter Verwendung eines kohlenstoffhaltigen Gases und eines Mikrowellenplasmas.
MPCVD-Anlage
Das MPCVD-System (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) ist ein Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten auf einer Substratoberfläche. Das System besteht aus einer Vakuumkammer, in der der Abscheidungsprozess stattfindet, einem Mikrowellengenerator und einem Gaszufuhrsystem. Der Mikrowellengenerator dient zur Erzeugung eines Plasmas in der Vakuumkammer, das zur Zersetzung und Abscheidung der Gasspezies auf dem Substrat verwendet wird.
Der Mikrowellengenerator ist in der Regel ein Magnetron oder Klystron, das Mikrowellen im Bereich von 2,45 GHz erzeugt. Die Mikrowellen werden durch ein Quarzfenster in die Vakuumkammer eingekoppelt.
Das Gaszufuhrsystem besteht aus Massenflussreglern (MFCs), die den Gasfluss in die Vakuumkammer steuern. Die MFCs sind in Standard-Kubikzentimeter pro Minute (sccm) kalibriert.
Die Temperatur des Substrats wird durch die Position des Plasmas gesteuert und durch ein Thermoelement gemessen. Das Plasma wird zur Erwärmung des Substrats verwendet, und die Temperatur wird durch das Thermoelement überwacht, um sicherzustellen, dass das Substrat während des Abscheidungsprozesses die gewünschte Temperatur hat.
Anwendungen
MPCVD ist eine vielversprechende Technologie für die Herstellung kostengünstiger, hochwertiger großer Diamanten.
Die einzigartigen Eigenschaften des Diamanten, darunter seine Härte, Steifigkeit, hohe Wärmeleitfähigkeit, geringe Wärmeausdehnung, Strahlungshärte und chemische Inertheit, machen ihn zu einem wertvollen Material.
Trotz seines großen Potenzials haben die hohen Kosten, die begrenzte Größe und die Schwierigkeiten bei der Kontrolle von Verunreinigungen bei natürlichen und synthetischen Hochdruck- und Hochtemperaturdiamanten ihre Anwendungen eingeschränkt.
MPCVD ist das wichtigste Verfahren zur Herstellung von Diamantsteinen und -filmen.
Die Züchtung von Diamantfilmen kann sowohl ein- als auch polykristallin sein und wird in der Halbleiterindustrie für großformatige Diamantsubstrate sowie in der Diamantschneid- und Bohrwerkzeugindustrie eingesetzt.
Im Vergleich zur HPHT-Methode für im Labor gezüchtete Diamanten ist die Mikrowellen-CVD-Methode vorteilhaft für die Züchtung großformatiger Diamanten bei geringeren Kosten, was sie zu einer idealen Lösung für Anwendungen in der Halbleiterindustrie, für die Züchtung optischer Diamanten und für den Bedarf des Marktes für große Schmuckdiamanten macht.
Vorteile von MPCVD
MPCVD ist eine Diamantsynthesemethode, die mehrere Vorteile gegenüber anderen Methoden wie HFCVD und DC-PJ CVD aufweist. Es vermeidet die Verunreinigung von Diamanten durch heiße Drähte und ermöglicht die Verwendung mehrerer Gase, um unterschiedlichen industriellen Anforderungen gerecht zu werden. Im Vergleich zur DC-PJ-CVD ermöglicht sie eine sanfte und kontinuierliche Anpassung der Mikrowellenleistung und eine stabile Steuerung der Reaktionstemperatur, wodurch vermieden wird, dass Kristallkeime aufgrund von Lichtbogenbildung und Flammenausfall vom Substrat fallen. Aufgrund der großen Fläche des stabilen Entladungsplasmas gilt die MPCVD-Methode als die vielversprechendste Diamantsynthesemethode für industrielle Anwendungen.
Die mit der MPCVD-Methode hergestellten Diamanten sind im Vergleich zu den mit der HPHT-Methode hergestellten Diamanten von höherer Reinheit, und der Produktionsprozess verbraucht weniger Energie. Außerdem ermöglicht die MPCVD-Methode die Herstellung größerer Diamanten.
Vorteile unseres MPCVD-Systems
Wir sind seit vielen Jahren in der Branche tätig und haben daher einen großen Kundenstamm, der unseren Anlagen vertraut und sie nutzt. Unsere MPCVD-Anlage läuft seit über 40.000 Stunden ununterbrochen und beweist dabei außergewöhnliche Stabilität, Zuverlässigkeit, Wiederholbarkeit und Kosteneffizienz. Weitere Vorteile unserer MPCVD-Anlage sind:
- 3-Zoll-Substratwachstumsfläche, max. Chargenbelastung bis zu 45 Stück Diamanten
- 1-10Kw einstellbare Mikrowellenleistung für weniger Stromverbrauch
- Reichhaltiges erfahrenes Forschungsteam mit Unterstützung für bahnbrechende Diamant-Züchtungsrezepte
- Exklusives technisches Unterstützungsprogramm für das Null-Diamanten-Zuchtteam
Durch den Einsatz unserer hochentwickelten Technologie haben wir unser MPCVD-System in mehreren Runden aufgerüstet und verbessert, was zu einer deutlich verbesserten Effizienz und geringeren Kosten geführt hat. Das Ergebnis ist, dass unsere MPCVD-Anlagen an der Spitze des technologischen Fortschritts stehen und zu einem wettbewerbsfähigen Preis angeboten werden. Wir freuen uns auf ein Gespräch mit Ihnen.
Arbeitsprozess
Die MPCVD-Anlage steuert die Strömung der einzelnen Gaswege und den Druck in der Kavität, während die Reaktionsgase (wie CH4, H2, Ar, O2, N2 usw.) unter einem bestimmten Druck in die Kavität eingeleitet werden. Nach der Stabilisierung des Luftstroms erzeugt der 6KW-Festkörpermikrowellengenerator Mikrowellen, die dann durch den Wellenleiter in die Kavität eingeleitet werden.
Das Reaktionsgas geht unter dem Mikrowellenfeld in einen Plasmazustand über und bildet einen Plasmaball, der über dem Diamantsubstrat schwebt. Die hohe Temperatur des Plasmas heizt das Substrat auf eine bestimmte Temperatur auf. Die in der Kavität erzeugte überschüssige Wärme wird durch die Wasserkühleinheit abgeführt.
Um optimale Wachstumsbedingungen während des MPCVD-Züchtungsprozesses von einkristallinem Diamant zu gewährleisten, passen wir Faktoren wie Leistung, Zusammensetzung der Gasquelle und Hohlraumdruck an. Da die Plasmakugel nicht mit der Kavitätenwand in Berührung kommt, ist der Wachstumsprozess frei von Verunreinigungen, was die Qualität des Diamanten verbessert.
Details & Teile
Mikrowellenanlage
Reaktionskammer
Gasfluss-System
Vakuum- und Sensorsystem
Technische Daten
Mikrowellen-System |
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Reaktionskammer |
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Probenhalter |
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Gasfluss-System |
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Kühlsystem |
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Temperatursensor |
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Steuerungssystem |
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Optionale Funktion |
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Warnungen
Die Sicherheit des Bedieners steht an erster Stelle! Bitte bedienen Sie das Gerät mit Vorsicht. Das Arbeiten mit brennbaren, explosiven oder giftigen Gasen ist sehr gefährlich. Der Bediener muss alle erforderlichen Vorsichtsmaßnahmen treffen, bevor er das Gerät in Betrieb nimmt. Das Arbeiten mit Überdruck in den Reaktoren oder Kammern ist gefährlich. Der Bediener muss die Sicherheitsvorschriften strikt einhalten. Besondere Vorsicht ist auch beim Umgang mit luftreaktiven Materialien geboten, insbesondere unter Vakuum. Durch ein Leck kann Luft in das Gerät eindringen und eine heftige Reaktion hervorrufen.
Für Sie entworfen
KinTek bietet umfassenden, maßgeschneiderten Service und Ausrüstung für Kunden auf der ganzen Welt. Unsere spezialisierte Teamarbeit und unsere erfahrenen Ingenieure sind in der Lage, die kundenspezifischen Hardware- und Software-Ausrüstungsanforderungen zu erfüllen und unseren Kunden beim Aufbau der exklusiven und personalisierten Ausrüstung und Lösung zu helfen!
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FAQ
Was Ist Mpcvd?
Was Ist Eine Mpcvd-Maschine?
Was Sind Die Vorteile Von Mpcvd?
Sind CVD-Diamanten Echt Oder Gefälscht?
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KINTEK's MPCVD machine is a game-changer! Its 1-10Kw adjustable output microwave power feature not only saves electricity but also ensures precise control over the diamond growth process.
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As a lab manager, I appreciate the stability and reliability of the KINTEK MPCVD system. It has been running non-stop for over 40,000 hours, providing us with consistent, high-quality diamond growth.
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KINTEK's exclusive technical support program for teams with zero diamond growing experience is a lifesaver. Their guidance and assistance have been instrumental in our successful adoption of the MPCVD system.
5.0
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The 3 inches substrate growing area and max. batch load of up to 45 pieces diamonds make the KINTEK MPCVD machine a highly efficient and productive choice for our lab. We can now produce more diamonds in less time.
4.9
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The KINTEK MPCVD machine has exceeded our expectations. Its user-friendly interface, stable performance, and exceptional diamond quality have made it an indispensable tool in our lab.
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