Eine einstufige Vakuumpumpe hat eine Pumpenkammer, während eine zweistufige Vakuumpumpe zwei in Reihe geschaltete Pumpenkammern hat. Der Hauptunterschied zwischen den beiden besteht im Verdichtungsverhältnis und dem erreichbaren Vakuum.
Bei einer einstufigen Vakuumpumpe entlüftet die Pumpenkammer direkt in die Atmosphäre. Sie kann ein grobes oder niedriges Vakuumniveau erreichen, typischerweise bis zu einem Druck von etwa 1 Millibar. Diese Art von Pumpe wird üblicherweise für Anwendungen verwendet, die kein hohes Vakuumniveau erfordern, wie z. B. allgemeine industrielle Prozesse.
Eine zweistufige Vakuumpumpe hingegen verwendet zwei Sätze von Rotoren und Schaufeln. Die erste Stufe, die so genannte Niedervakuumstufe, saugt das Prozessgas an und leitet es an die zweite Stufe, die so genannte Hochvakuumstufe, weiter. In der Hochvakuumstufe wird das Gas auf Atmosphärendruck komprimiert, wodurch ein besseres Vakuum erreicht wird. Zweistufige Vakuumpumpen können höhere Vakuumniveaus erreichen, typischerweise im Bereich von 10^-3 bis 10^-4 Millibar.
Zweistufige Vakuumpumpen werden bevorzugt in industriellen Anwendungen eingesetzt, bei denen ein höheres Vakuumniveau erforderlich ist, wie z. B. bei der Herstellung von Ultrahochvakuum (UHV). UHV-Vakuumniveaus sind durch Drücke von weniger als etwa 100 Nanopascal (10^-7 Pascal, 10^-9 mbar, ~10^-9 Torr) gekennzeichnet. Diese Vakuumniveaus werden in der Regel in Branchen wie der Halbleiterherstellung, Forschungslabors und der Vakuumbeschichtung benötigt.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass der Unterschied zwischen einstufigen und zweistufigen Vakuumpumpen in der Anzahl der Pumpenkammern und den daraus resultierenden Vakuumniveaus liegt, die sie erreichen können. Eine einstufige Pumpe hat eine Kammer und kann ein Grobvakuum erreichen, während eine zweistufige Pumpe zwei Kammern hat und höhere Vakuumniveaus erreichen kann, insbesondere im Ultrahochvakuumbereich.
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