Bei den Vakuumpumpen gibt es zwei Haupttypen: einstufige und zweistufige Vakuumpumpen.
5 wichtige Punkte, die Sie wissen sollten
1. Anzahl der Pumpenkammern
Eine einstufige Vakuumpumpe hat eine Pumpenkammer.
Eine zweistufige Vakuumpumpe hat zwei in Reihe geschaltete Pumpenkammern.
2. Verdichtungsverhältnis und Vakuumniveau
Der Hauptunterschied zwischen den beiden Pumpen ist das Verdichtungsverhältnis und das erreichbare Vakuumniveau.
3. Einstufige Vakuumpumpe
Bei einer einstufigen Vakuumpumpe entlüftet die Pumpenkammer direkt in die Atmosphäre.
Sie kann ein Grob- oder Feinvakuum erreichen, typischerweise bis zu einem Druck von etwa 1 Millibar.
Dieser Pumpentyp wird üblicherweise für Anwendungen verwendet, die kein hohes Vakuumniveau erfordern, wie z. B. allgemeine industrielle Prozesse.
4. Zweistufige Vakuumpumpe
Eine zweistufige Vakuumpumpe verwendet zwei Sätze von Rotoren und Schaufeln.
Die erste Stufe, die so genannte Niedervakuumstufe, saugt das Prozessgas an und leitet es an die zweite Stufe, die so genannte Hochvakuumstufe, weiter.
In der Hochvakuumstufe wird das Gas auf Atmosphärendruck komprimiert, wodurch ein besseres Vakuum erreicht wird.
Mit zweistufigen Vakuumpumpen können höhere Vakuumniveaus erreicht werden, typischerweise im Bereich von 10^-3 bis 10^-4 Millibar.
5. Anwendungen und bevorzugte Verwendung
Zweistufige Vakuumpumpen werden bevorzugt in industriellen Anwendungen eingesetzt, in denen ein höheres Vakuumniveau erforderlich ist, wie z. B. bei der Herstellung von Ultrahochvakuum (UHV).
UHV-Vakuumniveaus sind durch Drücke von weniger als etwa 100 Nanopascal (10^-7 Pascal, 10^-9 mbar, ~10^-9 Torr) gekennzeichnet.
Diese Vakuumniveaus werden in der Regel in Branchen wie der Halbleiterherstellung, Forschungslabors und der Vakuumbeschichtung benötigt.
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