Das Sputtern eignet sich besser für die Abscheidung von Legierungen, da die Zusammensetzung der abgeschiedenen Schicht der des Rohmaterials ähnelt, die Stufenabdeckung hervorragend ist und sich gleichmäßige Schichten mit starker Haftung abscheiden lassen.
Beibehaltung der Zusammensetzung ähnlich wie beim Rohmaterial:
Durch Sputtern wird sichergestellt, dass die Konzentration der abgeschiedenen Schicht der des Rohmaterials sehr nahe kommt. Dies ist besonders wichtig für die Abscheidung von Legierungen, da es sicherstellt, dass die Eigenschaften der Legierung in der Dünnschicht erhalten bleiben. Im Gegensatz zu anderen Verfahren, bei denen die Ausbeute der Abscheidung vom Atomgewicht der Spezies abhängen kann, was dazu führt, dass die Legierungsbestandteile mit unterschiedlichen Raten abgeschieden werden und sich die Konzentration der abgeschiedenen Schicht möglicherweise ändert, gleicht das Sputtern diese Unterschiede aus. Da es sich bei diesem Prozess um ein Oberflächenphänomen handelt, wird die Oberfläche mit Atomen der verbleibenden Komponenten angereichert, wodurch die Unterschiede in den Sputtering-Raten effektiv ausgeglichen werden. Das Ergebnis ist eine Schicht, die eine ähnliche Konzentration aufweist wie das ursprüngliche Legierungsziel.Ausgezeichnete Stufenabdeckung:
Das Sputtern bietet eine hervorragende Stufenbedeckung, die für die Abscheidung dünner Schichten auf Substraten mit komplexer Topografie entscheidend ist. Der hohe Prozessdruck beim Sputtern führt zu einer kurzen mittleren freien Weglänge für die Moleküle, wodurch die gesputterten Atome in der Luft gestreut werden. Diese Streuung erhöht die Anisotropie des Prozesses, so dass sich die Atome gleichmäßiger auf dem Substrat absetzen können, auch auf Stufen und anderen Unregelmäßigkeiten. Dies ist besonders vorteilhaft für die Abscheidung von Legierungen, da es sicherstellt, dass die Legierungsschicht gleichmäßig auf dem Substrat abgeschieden wird und die Integrität der Legierungszusammensetzung und -eigenschaften erhalten bleibt.
Gleichmäßige Schichten mit starker Haftung:
