Eine Diffusionsvakuumpumpe ist eine Art von Vakuumpumpe, die ohne bewegliche Teile arbeitet.
Sie nutzt den Dampf einer siedenden Flüssigkeit, um Luftmoleküle einzufangen und aus einer Kammer zu entfernen.
Auf diese Weise lassen sich hohe Vakuumniveaus von 10^-2 bis 10^-10 Torr erreichen.
Diffusionspumpen unterscheiden sich von mechanischen Pumpen, die physikalische Mechanismen wie Kolben oder Rippen zur Verdrängung von Luft verwenden.
Diese Pumpen werden als Fluid-Entrainment-Pumpen bezeichnet.
Bei dieser Art von Pumpen schließt der Dampf der Arbeitsflüssigkeit Luftmoleküle ein.
Die Luftmoleküle werden dann umgelenkt und abgekühlt und an einer anderen Stelle wieder freigesetzt.
Dieser Prozess ist in verschiedenen industriellen Anwendungen wie Elektronenstrahlmikroskopie, Vakuumbeschichtung, Beschichtungen und Vakuumöfen von entscheidender Bedeutung.
5 wichtige Punkte zum Verständnis
1. Betrieb ohne bewegliche Teile
Diffusionsvakuumpumpen arbeiten ohne bewegliche Teile.
Dies ist ein wesentlicher Unterschied zu mechanischen Pumpen, die auf physikalischen Mechanismen beruhen.
2. Nutzung des Dampfes einer siedenden Flüssigkeit
Diese Pumpen nutzen den Dampf einer siedenden Flüssigkeit, um Luftmoleküle einzufangen und zu entfernen.
Mit dieser Methode können sie hohe Vakuumniveaus erreichen.
3. Prozess der Flüssigkeitseinschleusung
Der Dampf der Arbeitsflüssigkeit fängt die Luftmoleküle ein.
Diese Moleküle werden dann umgelenkt und abgekühlt, so dass sie an einer anderen Stelle wieder freigesetzt werden.
4. Entscheidend für industrielle Anwendungen
Diffusionspumpen sind in verschiedenen industriellen Anwendungen unverzichtbar.
Dazu gehören Elektronenstrahlmikroskopie, Vakuumbeschichtung, Beschichtungen und Vakuumöfen.
5. Kombination mit anderen Pumpen
In Vakuumsystemen werden Diffusionspumpen häufig zusammen mit anderen Pumpentypen eingesetzt.
Mechanische Pumpen oder Drehschieberpumpen werden in der Regel für das erste Abpumpen verwendet.
Diffusionspumpen werden eingesetzt, um Drücke zu erreichen, die niedriger sind als die, die mechanische Pumpen allein erzeugen können.
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