Unter Abscheidung versteht man in der Nanotechnologie das Verfahren, bei dem dünne oder dicke Schichten einer Substanz auf einer festen Oberfläche erzeugt werden, und zwar Atom für Atom oder Molekül für Molekül. Das Ergebnis dieses Prozesses ist eine Beschichtung, die die Eigenschaften der Substratoberfläche je nach der beabsichtigten Anwendung verändert. Die Dicke dieser Schichten kann von einem einzelnen Atom (Nanometer) bis zu mehreren Millimetern reichen und hängt von der Abscheidungsmethode und dem verwendeten Material ab.
Methoden der Abscheidung:
Die Abscheidetechniken sind sehr unterschiedlich und umfassen Methoden wie Sprühen, Schleuderbeschichtung, Plattieren und Vakuumabscheidung. Vor allem die Vakuumabscheidung findet in der Nanotechnologie große Anwendung, da sich mit ihr gleichmäßig dünne Schichten auf atomarer Ebene erzeugen lassen. Diese Methode umfasst die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) und die chemische Gasphasenabscheidung (CVD), die sich durch die Quelle des Dampfes unterscheiden (physikalisch für PVD und chemisch für CVD).Vakuumbeschichtung in der Nanotechnologie:
Die Vakuumabscheidung, insbesondere die PVD, hat sich für das Wachstum von Nanodrähten und Nanoblechen als sehr nützlich erwiesen. Bei diesem Verfahren werden in der Regel die Ausgangsmaterialien in Pulverform bei hohen Temperaturen sublimiert. Üblicherweise werden hochreine Oxidpulver verwendet, und Temperaturgradienten werden erreicht, indem Kühlwasser schrittweise über das Gehäuse geleitet wird. Diese Methode ermöglicht eine präzise Steuerung der Schichtdicke und der Gleichmäßigkeit, die für Anwendungen im Nanobereich entscheidend sind.
Technologien für die Dünnschichtabscheidung:
Die Dünnschichtabscheidung ist eine entscheidende Technologie für die Herstellung integrierter Schaltkreise und gewinnt in der Nanotechnologie zunehmend an Bedeutung. Bei diesem Verfahren wird eine dünne Schicht auf eine Oberfläche aufgebracht, indem das Beschichtungsmaterial durch verschiedene Techniken wie Elektrizität, große Hitze, chemische Reaktionen oder Verdampfung aus einem dampfförmigen oder gelösten Zustand umgewandelt wird. Eine der ältesten und gebräuchlichsten Arten der Dünnschichtabscheidung ist die Galvanisierung, bei der ein Zielobjekt in ein chemisches Bad getaucht wird, das gelöste Metallatome enthält, und ein elektrischer Strom die Abscheidung dieser Atome auf dem Zielobjekt bewirkt.
