MPCVD
Glockenglas-Resonator-MPCVD-Maschine für Labor- und Diamantwachstum
Artikelnummer : KTMP315
Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen
- Mikrowellenengergie
- Mikrowellenfrequenz 2450 ± 15 MHz
- Ausgangsleistung
- 1~10 KW stufenlos einstellbar
- Mikrowellenleckage
- ≤2MW/cm2
- Ausgangswellenleiterschnittstelle
- WR340, 430 mit FD-340, 430 Standardflansch
- Beispiel halter
- Durchmesser des Probentisches ≥ 70 mm, effektive Nutzungsfläche ≥ 64 mm
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Holen Sie sich jetzt Ihr Angebot! Eine Nachricht hinterlassen Schnell Angebot einholen Via Online-ChatMPCVD steht für Microwave Plasma Chemical Vapour Deposition. Es züchtet hochwertige Diamantfilme in Laboren unter Verwendung von Kohlenstoffgas und Mikrowellenplasma.
MPCVD-System
MPCVD ist ein System zur Abscheidung dünner Filme auf einem Substrat mithilfe einer Vakuumkammer, eines Mikrowellengenerators und eines Gaszufuhrsystems. In der Kammer wird durch ein Magnetron oder Klystron, das Mikrowellen mit 2,45 GHz erzeugt, ein Plasma erzeugt. Das Gaszufuhrsystem verfügt über in sccm kalibrierte MFCs zur Steuerung des Gasflusses. Die Substrattemperatur wird durch das Plasma gesteuert und mit einem Thermoelement gemessen. Das Plasma erhitzt das Substrat und die Temperatur wird während der Abscheidung überwacht.
Anwendungen
MPCVD verspricht die Herstellung großer, hochwertiger Diamanten zu geringen Kosten.
Die einzigartigen Eigenschaften von Diamant, wie Härte, Steifigkeit, hohe Wärmeleitfähigkeit, geringe Wärmeausdehnung, Strahlungshärte und chemische Inertheit, machen ihn zu einem wertvollen Material. Allerdings haben die hohen Kosten, die begrenzte Größe und die Schwierigkeit, Verunreinigungen natürlicher und synthetischer Hochdruck-Hochtemperaturdiamanten zu kontrollieren, ihre Anwendungen eingeschränkt.
MPCVD ist die Hauptausrüstung für die Züchtung von Diamantedelsteinen und -filmen, die entweder einkristallin oder polykristallin sein können. Die Halbleiterindustrie nutzt das Diamantfilmwachstum in großem Umfang für großformatige Diamantsubstrate sowie die Diamantschneid- oder Bohrwerkzeugindustrie.
Im Vergleich zur HPHT-Methode für im Labor gezüchtete Diamanten ist die Mikrowellen-CVD-Methode für das Wachstum großformatiger Diamanten zu geringeren Kosten vorteilhaft und somit eine ideale Lösung für das Wachstum von Halbleiterdiamanten, Optikdiamanten und den großen Markt für Schmuckdiamanten.
Vorteile von MPCVD
MPCVD ist ein Diamantsyntheseverfahren mit Vorteilen gegenüber HFCVD und DC-PJ CVD. Es vermeidet Kontaminationen und ermöglicht den Einsatz mehrerer Gase. Es bietet eine stufenlose Einstellung der Mikrowellenleistung und eine stabile Temperaturregelung, wodurch der Verlust von Impfkristallen vermieden wird. MPCVD ist aufgrund einer großen, stabilen Plasmafläche vielversprechend für industrielle Anwendungen.
MPCVD erzeugt reinere Diamanten mit weniger Energie als HPHT. Es ermöglicht auch die Herstellung größerer Diamanten.
Vorteile unseres MPCVD-Systems
Wir engagieren uns seit vielen Jahren in der Branche und verfügen daher über einen großen Kundenstamm, der unseren Geräten vertraut und sie nutzt. Unsere MPCVD-Anlage läuft seit über 40.000 Stunden im Dauerbetrieb und beweist außergewöhnliche Stabilität, Zuverlässigkeit, Wiederholbarkeit und Kosteneffizienz. Weitere Vorteile unseres MPCVD-Systems sind:
- 3 Zoll Substratwachstumsfläche, max. Stapelladung von bis zu 45 Stück Diamanten
- 1-10 kW einstellbare Ausgangsleistung der Mikrowelle für weniger Stromverbrauch
- Umfangreiches, erfahrenes Forschungsteam mit Rezeptunterstützung für den Grenzdiamantenanbau
- Exklusives technisches Supportprogramm für das Zero Diamond Growing Experience-Team
Durch die Nutzung unserer gesammelten fortschrittlichen Technologie haben wir mehrere Runden von Upgrades und Verbesserungen an unserem MPCVD-System implementiert, was zu einer deutlich verbesserten Effizienz und geringeren Anlagenkosten führte. Daher stehen unsere MPCVD-Geräte an der Spitze des technologischen Fortschritts und werden zu einem wettbewerbsfähigen Preis angeboten. Gerne können Sie sich von uns beraten lassen.
Arbeitsverarbeitung
Die MPCVD-Maschine steuert den Fluss jedes Gaspfads und den Hohlraumdruck, während sie Reaktionsgase (wie CH4, H2, Ar, O2, N2 usw.) unter spezifischem Druck in den Hohlraum einleitet. Nach der Stabilisierung des Luftstroms erzeugt der 6-kW-Festkörper-Mikrowellengenerator Mikrowellen, die dann durch den Wellenleiter in den Hohlraum eingeleitet werden.
Das Reaktionsgas geht unter dem Mikrowellenfeld in einen Plasmazustand über und bildet eine Plasmakugel, die über dem Diamantsubstrat schwebt. Die hohe Temperatur des Plasmas erhitzt das Substrat auf eine bestimmte Temperatur. Überschüssige Wärme, die im Hohlraum entsteht, wird durch die Wasserkühleinheit abgeführt.
Um optimale Wachstumsbedingungen während des MPCVD-Einkristalldiamantwachstumsprozesses sicherzustellen, passen wir Faktoren wie Leistung, Gasquellenzusammensetzung und Hohlraumdruck an. Da die Plasmakugel außerdem nicht mit der Hohlraumwand in Kontakt kommt, verläuft der Diamantwachstumsprozess frei von Verunreinigungen, wodurch die Qualität des Diamanten verbessert wird.
Details & Teile
Mikrowellensystem
Reaktionskammer
Gasflusssystem
Vakuum- und Sensorsystem
Technische Spezifikationen
| Mikrowellensystem |
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| Reaktionskammer |
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| Beispiel halter |
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| Gasflusssystem |
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| Kühlsystem |
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| Temperatursensor |
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| Kontrollsystem |
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| Optionale Funktion |
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Warnungen
Die Sicherheit des Bedieners steht an erster Stelle! Bitte bedienen Sie das Gerät mit Vorsicht. Das Arbeiten mit brennbaren, explosiven oder giftigen Gasen ist sehr gefährlich. Der Bediener muss alle erforderlichen Vorsichtsmaßnahmen treffen, bevor er das Gerät in Betrieb nimmt. Das Arbeiten mit Überdruck in den Reaktoren oder Kammern ist gefährlich. Der Bediener muss die Sicherheitsvorschriften strikt einhalten. Besondere Vorsicht ist auch beim Umgang mit luftreaktiven Materialien geboten, insbesondere unter Vakuum. Durch ein Leck kann Luft in das Gerät eindringen und eine heftige Reaktion hervorrufen.
Für Sie entworfen
KinTek bietet umfassenden, maßgeschneiderten Service und Ausrüstung für Kunden auf der ganzen Welt. Unsere spezialisierte Teamarbeit und unsere erfahrenen Ingenieure sind in der Lage, die kundenspezifischen Hardware- und Software-Ausrüstungsanforderungen zu erfüllen und unseren Kunden beim Aufbau der exklusiven und personalisierten Ausrüstung und Lösung zu helfen!
Bitte senden Sie uns Ihre Ideen, unsere Ingenieure sind jetzt für Sie bereit!
FAQ
Was Ist Eine CVD-Diamantmaschine?
Welche Arten Von Diamantwachstumsmaschinen Gibt Es?
Was Sind Die Vorteile Von Im Labor Gezüchteten Diamanten?
Was Ist Das Grundprinzip Von CVD?
Was Kostet Eine CVD-Wachstumsmaschine?
Welche Verschiedenen Arten Von CVD-Methoden Gibt Es?
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