Die Dicke von Dünnschichten aus der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) reicht in der Regel von einigen Nanometern bis zu etwa 100 Mikrometern, wobei ein üblicher Bereich unter 1000 Nanometern (1 Mikron) liegt. Diese geringe Dicke ist entscheidend für die Erzielung bestimmter optischer, elektrischer und mechanischer Eigenschaften, die sich von denen des Grundmaterials unterscheiden.
Dickenbereich:
Die Dicke dünner Schichten bei der PVD-Beschichtung kann erheblich variieren, angefangen bei der atomaren Ebene, wo einzelne Atome oder Moleküle abgeschieden werden. Dies kann zu Schichten führen, die nur wenige Nanometer dünn sind. Im oberen Bereich kann die Schichtdicke bis zu 100 Mikrometer betragen, doch in vielen Anwendungen sind die Schichten viel dünner, oft weniger als 1 Mikrometer. In diesem Bereich lassen sich die Eigenschaften des Films, wie Transparenz, Leitfähigkeit und Härte, genau steuern.Methoden der Abscheidung:
Bei der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) wird der Dampf des Materials in einer Niederdruckumgebung abgeschieden. Zu den PVD-Verfahren gehören u. a. Sputtern, thermisches Verdampfen, Elektronenstrahlverdampfung und gepulste Laserabscheidung. Jedes Verfahren hat seine spezifischen Vorteile und wird je nach den gewünschten Eigenschaften der fertigen Schicht ausgewählt. So wird beispielsweise die Elektronenstrahlverdampfung häufig für die Abscheidung hochreiner Schichten verwendet, während das Sputtern eine hervorragende Haftung und Gleichmäßigkeit gewährleistet.
Die Bedeutung der Dünnheit:
Die Dicke der Schicht ist von entscheidender Bedeutung, da sie die Eigenschaften der Schicht direkt beeinflusst. Bei der Herstellung von Halbleitern beispielsweise sind sehr dünne Schichten erforderlich, um eine effiziente elektrische Leitfähigkeit zu gewährleisten, ohne dass sie viel Volumen oder Gewicht hinzufügen. Bei optischen Anwendungen können dünne Schichten so beschaffen sein, dass sie bestimmte Wellenlängen des Lichts reflektieren oder durchlassen, was nur durch eine präzise Kontrolle der Schichtdicke erreicht werden kann.
Visualisierung von Dünnheit:
