Wissen Ist für SEM eine Sputterbeschichtung erforderlich?
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Technisches Team · Kintek Solution

Aktualisiert vor 1 Woche

Ist für SEM eine Sputterbeschichtung erforderlich?

Ja, die REM erfordert eine Sputterbeschichtung für bestimmte Arten von Proben, insbesondere für solche, die nicht oder nur schlecht leitfähig sind. Bei der Sputterbeschichtung wird eine hauchdünne Schicht aus elektrisch leitfähigem Metall auf die Probe aufgebracht, um Aufladung zu verhindern und die Qualität der REM-Bilder zu verbessern.

Erläuterung:

  1. Verhinderung von Aufladungen: Nicht oder schlecht leitende Proben können statische elektrische Felder ansammeln, wenn sie dem Elektronenstrahl in einem Rasterelektronenmikroskop (REM) ausgesetzt werden. Diese Ansammlung, die als Aufladung bezeichnet wird, kann das Bild verzerren und den Betrieb des REM beeinträchtigen. Durch Aufbringen einer leitfähigen Beschichtung durch Sputtern wird die Ladung abgeleitet, was Verzerrungen verhindert und klare Bilder gewährleistet.

  2. Verbesserung der Bildqualität: Die Sputterbeschichtung verhindert nicht nur die Aufladung, sondern erhöht auch die Emission von Sekundärelektronen von der Oberfläche der Probe. Diese erhöhte Emission von Sekundärelektronen verbessert das Signal-Rausch-Verhältnis, das für hochwertige, detaillierte Bilder im REM entscheidend ist. Die üblicherweise verwendeten Beschichtungsmaterialien wie Gold, Gold/Palladium, Platin, Silber, Chrom oder Iridium werden aufgrund ihrer Leitfähigkeit und ihrer Fähigkeit zur Bildung stabiler, dünner Schichten ausgewählt, die die Details der Probe nicht verdecken.

  3. Anwendbarkeit auf schwierige Proben: Bestimmte Proben, insbesondere solche, die strahlungsempfindlich oder nicht leitend sind, profitieren erheblich von der Sputterbeschichtung. Diese Proben könnten sonst nur schwer in einem REM abgebildet werden, ohne sie zu beschädigen oder aufgrund von Aufladung oder geringem Signal eine schlechte Bildqualität zu erzeugen.

Schlussfolgerung:

Die Sputterbeschichtung ist eine notwendige Probenvorbereitungstechnik für das REM, wenn es sich um nicht oder nur schlecht leitende Materialien handelt. Sie stellt sicher, dass sich die Proben unter dem Elektronenstrahl nicht aufladen, wodurch die Integrität der Bilder erhalten bleibt und genaue und detaillierte Beobachtungen im Nanobereich ermöglicht werden.

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