Welche Beschichtung für die REM am besten geeignet ist, hängt von den spezifischen Anforderungen der Analyse ab, z. B. von der Auflösung, der Leitfähigkeit und dem Bedarf an Röntgenspektroskopie. In der Vergangenheit wurde Gold aufgrund seiner hohen Leitfähigkeit und geringen Korngröße, die ideal für hochauflösende Bilder ist, am häufigsten verwendet. Für die energiedispersive Röntgenanalyse (EDX) wird jedoch in der Regel Kohlenstoff bevorzugt, da sein Röntgenpeak nicht mit anderen Elementen interferiert.
Für die ultrahochauflösende Bildgebung werden Materialien wie Wolfram, Iridium und Chrom aufgrund ihrer noch feineren Korngrößen verwendet. Auch Platin, Palladium und Silber kommen zum Einsatz, wobei Silber den Vorteil der Reversibilität bietet. Bei modernen REMs kann der Bedarf an Beschichtungen aufgrund von Funktionen wie Niederspannungs- und Niedervakuummodi, die die Untersuchung nicht leitender Proben mit minimalen Aufladungsartefakten ermöglichen, reduziert werden.
Die Sputterbeschichtung, insbesondere mit Metallen wie Gold, Iridium oder Platin, ist eine Standardmethode zur Vorbereitung nicht oder schlecht leitender Proben für die REM. Diese Beschichtung trägt dazu bei, Aufladung zu verhindern, thermische Schäden zu verringern und die Emission von Sekundärelektronen zu verstärken, wodurch die Qualität der Bilder verbessert wird. Bei der Röntgenspektroskopie wird jedoch eine Kohlenstoffbeschichtung bevorzugt, um Interferenzen mit den Röntgenpeaks anderer Elemente zu vermeiden.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Wahl des Beschichtungsmaterials für das REM von der jeweiligen Anwendung und den analytischen Anforderungen abhängt. Gold und Kohlenstoff werden häufig verwendet, wobei Gold für hochauflösende Bilder und Kohlenstoff für EDX-Analysen bevorzugt wird. Andere Materialien wie Wolfram, Iridium, Platin und Silber werden für spezielle Anforderungen wie ultrahochauflösende Bildgebung oder Reversibilität verwendet.
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