Bei der Rasterelektronenmikroskopie (REM) ist die Wahl der richtigen Beschichtung entscheidend für optimale Ergebnisse.
Die Art der Beschichtung hängt von mehreren Faktoren ab, z. B. von der benötigten Auflösung, der Leitfähigkeit der Probe und davon, ob Sie die Röntgenspektroskopie einsetzen möchten.
5 Schlüsselfaktoren, die bei der Auswahl der besten Beschichtung für das REM zu beachten sind
1. Anforderungen an die Auflösung
In der Vergangenheit war Gold das am häufigsten verwendete Beschichtungsmaterial. Das liegt daran, dass Gold eine hohe Leitfähigkeit und eine kleine Korngröße hat, was ideal für hochauflösende Bilder ist.
2. Anforderungen an die Leitfähigkeit
Für die energiedispersive Röntgenanalyse (EDX) wird normalerweise Kohlenstoff bevorzugt. Dies liegt daran, dass der Röntgenpeak von Kohlenstoff nicht mit anderen Elementen interferiert, was ihn ideal für die spektroskopische Analyse macht.
3. Ultrahochauflösende Bildgebung
Für die ultrahochauflösende Bildgebung werden Materialien wie Wolfram, Iridium und Chrom verwendet. Diese Materialien weisen noch feinere Körner auf, was zu extrem detaillierten Bildern führt.
4. Umkehrbarkeit und Vielseitigkeit
Platin, Palladium und Silber werden ebenfalls für REM-Beschichtungen verwendet. Insbesondere Silber bietet den Vorteil, dass es reversibel ist und somit vielseitig eingesetzt werden kann.
5. Moderne SEM-Fähigkeiten
Bei modernen REM-Geräten kann der Bedarf an Beschichtungen durch fortschrittliche Funktionen wie Niederspannungs- und Niedervakuummodi reduziert werden. Diese Modi ermöglichen die Untersuchung nicht leitender Proben mit minimalen Aufladungsartefakten.
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