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Der Behälter, der das metallische Ausgangsmaterial bei der Elektronenstrahlverdampfung enthält, wird als Tiegel .Der Tiegel ist eine entscheidende Komponente des Elektronenstrahlverdampfungssystems, da er das Ausgangsmaterial enthält, das durch den Elektronenstrahl verdampft wird.Er wird in der Regel aus Materialien wie Kupfer, Wolfram oder technischer Keramik hergestellt, um den hohen Temperaturen standzuhalten und die Materialreinheit zu erhalten.Der Tiegel ist häufig wassergekühlt, um eine Überhitzung zu vermeiden und die Unversehrtheit des Ausgangsmaterials während des Verdampfungsprozesses zu gewährleisten.Dieser Aufbau ermöglicht eine präzise und hochreine Abscheidung von Dünnschichten auf Substraten.

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Die wichtigsten Punkte werden erklärt:

1. Definition des Schmelztiegels:

   • Der Tiegel ist der Behälter, der das metallische Ausgangsmaterial in Elektronenstrahlverdampfungssystemen aufnimmt.Er ist so konzipiert, dass er extremen Temperaturen standhält und die Reinheit des Ausgangsmaterials während des Verdampfungsprozesses aufrechterhält.

2. Verwendete Materialien für Schmelztiegel:

   • Tiegel werden in der Regel aus hochtemperaturbeständigen Materialien hergestellt, wie z. B.:
     • Kupfer:Bietet eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit und wird häufig wassergekühlt.
     • Wolfram:Bekannt für seinen hohen Schmelzpunkt und seine Haltbarkeit.
     • Technische Keramiken:Sie bieten thermische und chemische Stabilität und gewährleisten minimale Kontamination.

3. Funktion des Tiegels:

   • Der Tiegel dient als Reservoir für das Ausgangsmaterial, das durch den Elektronenstrahl verdampft wird.Die starke Hitze des Elektronenstrahls schmilzt das Material, so dass es verdampft und sich auf dem Substrat ablagert.

4. Wasser-Kühlsystem:

   • Tiegel sind oft wassergekühlt, um:
     • Überhitzung zu vermeiden und die strukturelle Integrität zu erhalten.
     • Vermeidung der gemeinsamen Abscheidung von Tiegelmaterial und Ausgangsmaterial, um eine hochreine Abscheidung zu gewährleisten.

5. Rolle im E-Beam-Verdampfungsprozess:

   • Der Tiegel wird in der Vakuumkammer positioniert, und der Elektronenstrahl wird auf ihn gerichtet, um das Ausgangsmaterial zu verdampfen.Die verdampften Partikel wandern dann nach oben und setzen sich auf dem Substrat ab, wo sie eine dünne, hochreine Schicht bilden.

6. Die Bedeutung des Tiegeldesigns:

   • Das Design und das Material des Tiegels sind entscheidend für:
     • Sicherstellung einer effizienten Wärmeübertragung.
     • Aufrechterhaltung der Materialreinheit.
     • Erzielung einer präzisen und gleichmäßigen Dünnschichtabscheidung.

7. Anwendungen der E-Beam-Verdampfung:

   • Die E-Beam-Verdampfung ist in der Industrie, die hochreine dünne Schichten benötigt, weit verbreitet, z. B:
     • Optische Beschichtungen:Für Sonnenkollektoren, Gläser und Architekturglas.
     • Herstellung von Halbleitern:Für die Abscheidung dünner Schichten auf Wafern.
     • Forschung und Entwicklung:Für die Herstellung spezieller Beschichtungen mit präziser Dickenkontrolle.

Wenn die Käufer von E-Beam-Verdampfungsanlagen die Rolle und das Design des Tiegels verstehen, können sie fundierte Entscheidungen über die für ihre spezifischen Anwendungen erforderlichen Materialien und Kühlsysteme treffen und so eine optimale Leistung und hochwertige Ergebnisse sicherstellen.

Zusammenfassende Tabelle:

Aspekt	Einzelheiten
Definition	Behälter für metallisches Ausgangsmaterial in Elektronenstrahl-Verdampfungsanlagen.
Werkstoffe	Kupfer, Wolfram, technische Keramiken.
Funktion	Hält das Ausgangsmaterial für die Verdampfung durch den Elektronenstrahl.
Wasserkühlung	Verhindert Überhitzung und gewährleistet Materialreinheit.
Anwendungen	Optische Beschichtungen, Halbleiterherstellung, F&E.

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