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Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtungs-Wolframtiegel / Molybdäntiegel

Teile zur Dünnschichtabscheidung

Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtungs-Wolframtiegel / Molybdäntiegel

Artikelnummer : KMS04

Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen


Material
Molybdenum / Tungsten
Spezifikation
30–50 mm x 15–25 mm
ISO & CE icon

Versand:

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Anwendung

Elektronenstrahlverdampfung (EBE) ist eine physikalische Gasphasenabscheidungstechnik (PVD) zur Dünnschichtabscheidung. Bei der EBE wird ein Strahl hochenergetischer Elektronen verwendet, um ein festes Material zu erhitzen und zu verdampfen, das dann auf einem Substrat kondensiert und einen dünnen Film bildet. Tiegel aus Wolfram und Molybdän werden aufgrund ihrer hervorragenden thermischen und mechanischen Eigenschaften häufig in Elektronenstrahlverdampfungsprozessen eingesetzt. Wolfram/Molybdän-Tiegel werden üblicherweise für die Dünnschichtabscheidung bei der Herstellung von Mikroelektronik wie integrierten Schaltkreisen (ICs) und Mikroprozessoren verwendet. optische Beschichtungsverfahren, um dünne Filme auf Linsen, Spiegeln oder anderen optischen Komponenten abzuscheiden; sind Dünnfilmabscheidungen für Antireflexbeschichtungen oder leitfähige Schichten; Verschleißfeste Beschichtungen: Mit Wolframtiegeln können verschleißfeste Beschichtungen auf verschiedenen Bauteilen wie Schneidwerkzeugen oder Motorteilen usw. abgeschieden werden.

Details & Teile

Details zum Wolframtiegel / Molybdäntiegel durch Elektronenstrahlverdampfung

Details zum Wolframtiegel / Molybdäntiegel durch Elektronenstrahlverdampfung.2

Details zum Wolframtiegel / Molybdäntiegel durch Elektronenstrahlverdampfung.3

Details zum Wolframtiegel / Molybdäntiegel durch Elektronenstrahlverdampfung.3

Details zum Wolframtiegel / Molybdäntiegel durch Elektronenstrahlverdampfung 5

Technische Spezifikationen

Außendurchmesser und Höhe 30*15mm 34*20mm 35*17mm 40*17mm 42*19mm 45*22mm 50mm*22

Die von uns gezeigten Tiegel sind in verschiedenen Größen erhältlich, Sondergrößen sind auf Anfrage möglich.

Vorteile

  • Sehr hoher Schmelzpunkt; Geeignet für die Verarbeitung von Materialien mit hohem Schmelzpunkt. Hohe Wärmeleitfähigkeit für effiziente Wärmeübertragung beim Verdampfen.
  • Hohe Reinheit; Die Verwendung eines Wolframtiegels trägt dazu bei, die Reinheit des abgeschiedenen Films sicherzustellen.
  • Hohe mechanische Festigkeit; Wolfram ist für seine hervorragende mechanische Festigkeit und Verformungsbeständigkeit bei hohen Temperaturen bekannt.
  • Niedriger Dampfdruck; Wolfram hat einen niedrigen Dampfdruck, der dazu beiträgt, Verunreinigungen zu minimieren und während der Verdampfung eine saubere Vakuumumgebung aufrechtzuerhalten.

FAQ

Was Sind Thermische Verdampfungsquellen?

Thermische Verdampfungsquellen sind Geräte, die in thermischen Verdampfungssystemen zur Abscheidung dünner Schichten auf Substraten verwendet werden. Sie funktionieren, indem sie ein Material (Verdampfungsmittel) auf hohe Temperaturen erhitzen, so dass es verdampft und dann auf einem Substrat kondensiert und einen dünnen Film bildet.

Was Sind Die Wichtigsten Arten Von Thermischen Verdampfungsquellen?

Zu den wichtigsten Arten von thermischen Verdampfungsquellen gehören Widerstandsverdampfungsquellen, Elektronenstrahlverdampfungsquellen und Blitzverdampfungsquellen. Jeder Typ verwendet unterschiedliche Methoden zur Erwärmung des Verdampfungsmittels, z. B. Widerstandsheizung, Elektronenstrahlheizung oder direkten Kontakt mit einer heißen Oberfläche.

Wie Funktionieren Thermische Verdampfungsquellen?

Thermische Verdampfungsquellen funktionieren, indem elektrischer Strom durch ein Widerstandsmaterial geleitet wird, das sich auf hohe Temperaturen erhitzt. Diese Wärme wird auf das Verdampfungsmittel übertragen, wodurch es schmilzt und verdampft. Der Dampf wandert dann durch eine Vakuumkammer und kondensiert auf einem Substrat, wobei ein dünner Film entsteht.

Welche Materialien Werden üblicherweise Für Verdampfertiegel Verwendet?

Verdampfungstiegel bestehen üblicherweise aus Materialien wie Wolfram, Tantal, Molybdän, Graphit oder Keramikverbindungen. Diese Materialien haben einen hohen Schmelzpunkt und eine gute Wärmeleitfähigkeit, wodurch sie für die beim Verdampfen erforderlichen Hochtemperaturbedingungen geeignet sind. Die Wahl des Tiegelmaterials hängt von Faktoren wie dem Verdampfungsmaterial, den gewünschten Filmeigenschaften und den Prozessparametern ab.

Welche Vorteile Bietet Die Verwendung Von Thermischen Verdampfungsquellen?

Zu den Vorteilen thermischer Verdampfungsquellen gehören hohe Abscheideraten, gute Richtwirkung, hervorragende Gleichmäßigkeit und Kompatibilität mit verschiedenen Materialien. Außerdem sind sie relativ einfach und erschwinglich, so dass sie sich für eine Vielzahl von Anwendungen bei der Dünnschichtabscheidung eignen.

Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Von Abdampftiegeln?

Verdampfungstiegel bieten bei Dünnschichtabscheidungsprozessen mehrere Vorteile. Sie bieten eine kontrollierte Umgebung für die Verdampfung von Materialien und ermöglichen eine präzise Kontrolle der Filmdicke und Gleichmäßigkeit. Tiegel halten hohen Temperaturen stand und sorgen für eine effiziente Wärmeübertragung, sodass konstante Verdampfungsraten gewährleistet sind. Sie sind in verschiedenen Größen und Formen erhältlich, um sich an unterschiedliche Verdampfungssysteme und Substratkonfigurationen anzupassen. Verdampfungstiegel ermöglichen auch die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien, darunter Metalle, Halbleiter und Keramik. Sie lassen sich einfach be- und entladen und ermöglichen so einen schnellen Materialwechsel oder Prozessanpassungen. Insgesamt sind Verdampfungstiegel unverzichtbare Werkzeuge für Dünnschichtabscheidungstechniken und bieten Vielseitigkeit, Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit.

Für Welche Anwendungen Werden Thermische Verdampfungsquellen Eingesetzt?

Thermische Aufdampfquellen werden in verschiedenen Anwendungen eingesetzt, z. B. bei der Herstellung von optischen Beschichtungen, Halbleiterbauelementen und verschiedenen Arten von Dünnschichten. Sie sind besonders nützlich in Industriezweigen, die eine genaue Kontrolle über die Ablagerung von Materialien auf Substraten benötigen.

Wie Sollten Verdampfertiegel Gehandhabt Und Gewartet Werden?

Um ihre Langlebigkeit und Leistung zu gewährleisten, sollten Verdampfertiegel sorgfältig gehandhabt und gewartet werden. Tiegel sollten vor jedem Gebrauch gründlich gereinigt werden, um eventuelle Rückstände früherer Ablagerungen zu entfernen. Vermeiden Sie die Verwendung von abrasiven Materialien, die die Oberfläche des Tiegels beschädigen könnten. Fassen Sie die Tiegel beim Be- und Entladen mit sauberen Handschuhen oder Spezialwerkzeugen an, um eine Kontamination zu vermeiden. Bewahren Sie Tiegel bei Nichtgebrauch in einer trockenen und sauberen Umgebung auf, um Korrosion oder Zersetzung zu vermeiden. Eine regelmäßige Überprüfung der Tiegel auf Risse, Defekte oder Verschleißerscheinungen ist wichtig, um unerwartete Ausfälle während des Verdampfungsprozesses zu verhindern. Befolgen Sie die Empfehlungen des Herstellers für alle spezifischen Wartungsverfahren, wie z. B. Glühen oder Oberflächenbehandlung, um die Lebensdauer des Tiegels zu verlängern.
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