Produkte Verbrauchsmaterialien und Materialien für das Labor Teile zur Dünnschichtabscheidung Keramik-Verdampfungsboot-Set
Keramik-Verdampfungsboot-Set

Teile zur Dünnschichtabscheidung

Keramik-Verdampfungsboot-Set

Artikelnummer : KME09

Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen


Material
Keramiktiegel / Wolframdraht
Größe des Keramiktiegels
0,25 ml / 0,5 ml / 1,0 ml / 2,0 ml / 3,0 ml
Wolframdrahtgröße
3*0,8 Draht/3*1,0mm Draht/3*0,8 Draht
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Anwendung

Combo-Boot-Komponenten werden in einem Prozess namens physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), insbesondere thermische Verdampfung, verwendet. Sie bestehen aus Keramikschiffchen und Wolframdrähten. Keramische Verdampferschiffchen bestehen aus Materialien wie Aluminiumoxid oder Graphit und dienen zur Aufnahme des zu verdampfenden Materials. Wenn das Boot erhitzt wird, verwandelt sich das Material von einem Feststoff in einen Gaszustand, was eine kontrollierte Verdunstung ermöglicht. Die Form des Bootes trägt dazu bei, den Dampf für eine effiziente Abscheidung auf das Substrat zu leiten. Als Heizwendel wird ein Wolframdraht verwendet. Es ist an eine Stromquelle angeschlossen und wenn Strom durch es fließt, erwärmt sich der Draht aufgrund seines Widerstands. Der Draht verfügt über einen hohen Schmelzpunkt und eine gute Wärmeleitfähigkeit und ist daher für diese Aufgabe geeignet. Durch die Bereitstellung von Wärme verdampft der Draht das Material im Inneren des Keramikschiffchens und sorgt so für eine kontrollierte Verdampfung.

Detail & Teile

Keramik-Verdampfungsboot-Set

Keramik-Verdampfungsboot-Set

Keramik-Verdampfungsboot-Set

Keramik-Verdampfungsboot-Set
Unterstützende Keramiktiegel-Spezifikationen: 0,25 ml/0,5 ml/1,0 ml/2,0 ml/3,0 ml
Keramik-Verdampfungsboot-Set
Spezifikationen des Wolframdrahtkorbs: 3*1,0-Draht – 2,0 ml / 3*0,8-Draht – 1,0 ml / 3*0,8-Draht – 0,5 ml

Technische Daten

MaterialKeramiktiegel / WolframdrahtGröße des Keramiktiegels0,25 ml / 0,5 ml / 1,0 ml / 2,0 ml / 3,0 mlWolframdrahtgröße3*0,8-Draht / 3*1,0-Draht / 3*0,8-Draht

Die von uns gezeigten Tiegel sind in verschiedenen Größen erhältlich, Sondergrößen sind auf Anfrage möglich.

Vorteil

  • Präzise Kontrolle der Filmablagerung
  • Vielseitigkeit bei der Materialabscheidung
  • Hohe Temperaturbeständigkeit
  • Effiziente Wärmeübertragung
  • Wiederholbare und reproduzierbare Ergebnisse
  • Kostengünstig für die Dünnschichtabscheidung

FAQ

Was sind Wolframboote?

Wolframschiffchen sind kleine Behälter oder Tabletts aus Wolframmetall. Sie sind für die Lagerung und den Transport von Materialien bei hohen Temperaturen in verschiedenen Industrie- und Laboranwendungen konzipiert. Wolframschiffchen werden häufig in Prozessen wie Verdampfung, Sintern und thermischer Analyse eingesetzt.

Welche Vorteile bietet die Verwendung von Wolframbooten?

Wolframboote bieten bei Hochtemperaturanwendungen mehrere Vorteile. Erstens hat Wolfram einen extrem hohen Schmelzpunkt von 3.422 °C, wodurch es für den Einsatz in Umgebungen mit extrem hohen Temperaturen geeignet ist. Wolframschiffchen verfügen außerdem über eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit, was eine effiziente Wärmeübertragung und eine gleichmäßige Erwärmung des zu verarbeitenden Materials ermöglicht. Sie verfügen über eine hohe mechanische Festigkeit und können Verformungen und Verwerfungen auch bei erhöhten Temperaturen standhalten. Wolfram ist äußerst beständig gegen chemische Korrosion, wodurch Wolframboote mit einer Vielzahl von Materialien und Umgebungen kompatibel sind. Darüber hinaus hat Wolfram einen niedrigen Dampfdruck, was bedeutet, dass es nur eine minimale Dampfverunreinigung aufweist und sich daher für hochreine Anwendungen eignet. Wolframboote haben eine lange Lebensdauer und können ohne nennenswerte Verschlechterung wiederholt verwendet werden.

Was sind thermische Verdampfungsquellen?

Thermische Verdampfungsquellen sind Geräte, die in thermischen Verdampfungssystemen zur Abscheidung dünner Schichten auf Substraten verwendet werden. Sie funktionieren, indem sie ein Material (Verdampfungsmittel) auf hohe Temperaturen erhitzen, so dass es verdampft und dann auf einem Substrat kondensiert und einen dünnen Film bildet.

Was sind die wichtigsten Arten von thermischen Verdampfungsquellen?

Zu den wichtigsten Arten von thermischen Verdampfungsquellen gehören Widerstandsverdampfungsquellen, Elektronenstrahlverdampfungsquellen und Blitzverdampfungsquellen. Jeder Typ verwendet unterschiedliche Methoden zur Erwärmung des Verdampfungsmittels, z. B. Widerstandsheizung, Elektronenstrahlheizung oder direkten Kontakt mit einer heißen Oberfläche.

Wie funktionieren thermische Verdampfungsquellen?

Thermische Verdampfungsquellen funktionieren, indem elektrischer Strom durch ein Widerstandsmaterial geleitet wird, das sich auf hohe Temperaturen erhitzt. Diese Wärme wird auf das Verdampfungsmittel übertragen, wodurch es schmilzt und verdampft. Der Dampf wandert dann durch eine Vakuumkammer und kondensiert auf einem Substrat, wobei ein dünner Film entsteht.

Welche Vorteile bietet der Einsatz von Verdunstungsschiffchen?

Verdampfungsboote bieten bei Dünnschichtabscheidungsprozessen mehrere Vorteile. Sie bieten eine kontrollierte Umgebung für die Verdampfung von Materialien und gewährleisten eine präzise Kontrolle der Filmdicke und Gleichmäßigkeit. Verdampferschiffchen halten hohen Temperaturen stand und sorgen für eine effiziente Wärmeübertragung, sodass konstante Verdampfungsraten gewährleistet sind. Sie sind in verschiedenen Größen und Formen erhältlich und eignen sich für unterschiedliche Verdampfungssysteme und Substratkonfigurationen. Verdampfungsboote ermöglichen die Abscheidung einer breiten Palette von Materialien, darunter Metalle, Halbleiter und Keramik. Sie lassen sich leicht be- und entladen und ermöglichen so einen schnellen Materialwechsel oder Prozessanpassungen. Insgesamt sind Verdampfungsboote unverzichtbare Werkzeuge für Dünnschichtabscheidungstechniken und bieten Vielseitigkeit, Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit.

Welche Materialien werden üblicherweise für Verdampfertiegel verwendet?

Verdampfungstiegel bestehen üblicherweise aus Materialien wie Wolfram, Tantal, Molybdän, Graphit oder Keramikverbindungen. Diese Materialien haben einen hohen Schmelzpunkt und eine gute Wärmeleitfähigkeit, wodurch sie für die beim Verdampfen erforderlichen Hochtemperaturbedingungen geeignet sind. Die Wahl des Tiegelmaterials hängt von Faktoren wie dem Verdampfungsmaterial, den gewünschten Filmeigenschaften und den Prozessparametern ab.

Welche Vorteile bietet die Verwendung von thermischen Verdampfungsquellen?

Zu den Vorteilen thermischer Verdampfungsquellen gehören hohe Abscheideraten, gute Richtwirkung, hervorragende Gleichmäßigkeit und Kompatibilität mit verschiedenen Materialien. Außerdem sind sie relativ einfach und erschwinglich, so dass sie sich für eine Vielzahl von Anwendungen bei der Dünnschichtabscheidung eignen.

Wie hoch ist die typische Lebensdauer eines Verdampferschiffchens?

Die Lebensdauer eines Verdunstungsschiffchens kann abhängig von mehreren Faktoren variieren. Dies hängt in erster Linie vom verwendeten Material des Bootes, den Betriebsbedingungen und der Häufigkeit der Nutzung ab. Verdampferschiffchen aus hochschmelzenden Metallen wie Wolfram oder Molybdän sind im Allgemeinen langlebiger und haben eine längere Lebensdauer als Boote aus Keramikmaterialien. Bei ordnungsgemäßer Handhabung, regelmäßiger Wartung und geeigneten Reinigungsverfahren können Verdampferschiffchen typischerweise für mehrere Abscheidungszyklen verwendet werden. Allerdings kann es im Laufe der Zeit zu Abnutzungserscheinungen wie Rissbildung oder Zersetzung der Verdampferschiffchen kommen, die ihre Lebensdauer verkürzen können. Es ist wichtig, den Zustand des Verdampferschiffchens zu überwachen, regelmäßige Inspektionen durchzuführen und es bei Bedarf auszutauschen, um eine gleichmäßige und zuverlässige Dünnfilmabscheidung sicherzustellen.

Welche Vorteile bietet der Einsatz von Abdampftiegeln?

Verdampfungstiegel bieten bei Dünnschichtabscheidungsprozessen mehrere Vorteile. Sie bieten eine kontrollierte Umgebung für die Verdampfung von Materialien und ermöglichen eine präzise Kontrolle der Filmdicke und Gleichmäßigkeit. Tiegel halten hohen Temperaturen stand und sorgen für eine effiziente Wärmeübertragung, sodass konstante Verdampfungsraten gewährleistet sind. Sie sind in verschiedenen Größen und Formen erhältlich, um sich an unterschiedliche Verdampfungssysteme und Substratkonfigurationen anzupassen. Verdampfungstiegel ermöglichen auch die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien, darunter Metalle, Halbleiter und Keramik. Sie lassen sich einfach be- und entladen und ermöglichen so einen schnellen Materialwechsel oder Prozessanpassungen. Insgesamt sind Verdampfungstiegel unverzichtbare Werkzeuge für Dünnschichtabscheidungstechniken und bieten Vielseitigkeit, Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit.

Für welche Anwendungen werden thermische Verdampfungsquellen eingesetzt?

Thermische Aufdampfquellen werden in verschiedenen Anwendungen eingesetzt, z. B. bei der Herstellung von optischen Beschichtungen, Halbleiterbauelementen und verschiedenen Arten von Dünnschichten. Sie sind besonders nützlich in Industriezweigen, die eine genaue Kontrolle über die Ablagerung von Materialien auf Substraten benötigen.

Können Verdunstungsschiffchen wiederverwendet werden?

Verdampferschiffchen können wiederverwendet werden, dies hängt jedoch von mehreren Faktoren ab. Der Zustand, die Sauberkeit und die Kompatibilität des Bootes mit verschiedenen Verdunstungsmaterialien spielen eine wichtige Rolle bei der Entscheidung, ob es wiederverwendet werden kann. Wenn das Verdampferschiffchen in gutem Zustand ist, keine Risse oder Mängel aufweist und gründlich gereinigt wurde, kann es in der Regel für spätere Abscheidungen wiederverwendet werden. Wenn das Boot jedoch reaktiven Materialien ausgesetzt war oder Anzeichen einer Beschädigung aufweist, ist es möglicherweise nicht für die Wiederverwendung geeignet. Berücksichtigen Sie bei der Wiederverwendung von Verdunstungsschiffchen die Möglichkeit einer Kontamination oder unerwünschter Reaktionen. Regelmäßige Inspektionen und ordnungsgemäße Reinigungsverfahren sind unerlässlich, um die Leistung des Bootes aufrechtzuerhalten und seine Eignung für die Wiederverwendung sicherzustellen.

Wie sollten Verdampfertiegel gehandhabt und gewartet werden?

Um ihre Langlebigkeit und Leistung zu gewährleisten, sollten Verdampfertiegel sorgfältig gehandhabt und gewartet werden. Tiegel sollten vor jedem Gebrauch gründlich gereinigt werden, um eventuelle Rückstände früherer Ablagerungen zu entfernen. Vermeiden Sie die Verwendung von abrasiven Materialien, die die Oberfläche des Tiegels beschädigen könnten. Fassen Sie die Tiegel beim Be- und Entladen mit sauberen Handschuhen oder Spezialwerkzeugen an, um eine Kontamination zu vermeiden. Bewahren Sie Tiegel bei Nichtgebrauch in einer trockenen und sauberen Umgebung auf, um Korrosion oder Zersetzung zu vermeiden. Eine regelmäßige Überprüfung der Tiegel auf Risse, Defekte oder Verschleißerscheinungen ist wichtig, um unerwartete Ausfälle während des Verdampfungsprozesses zu verhindern. Befolgen Sie die Empfehlungen des Herstellers für alle spezifischen Wartungsverfahren, wie z. B. Glühen oder Oberflächenbehandlung, um die Lebensdauer des Tiegels zu verlängern.

Wie wählt man das geeignete Verdampferschiffchenmaterial aus?

Die Auswahl des geeigneten Verdampferschiffchenmaterials hängt von mehreren Faktoren ab. Berücksichtigen Sie den Schmelzpunkt des zu verdampfenden Materials und wählen Sie ein Bootsmaterial mit einem höheren Schmelzpunkt, um ein Versagen des Bootes zu verhindern. Berücksichtigen Sie außerdem die Kompatibilität des Bootsmaterials mit dem Verdampfer, um Reaktionen oder Kontaminationen zu vermeiden. Die Wärmeleitfähigkeit und Wärmekapazität des Bootes sollten für eine effiziente Wärmeübertragung und Temperaturkontrolle während der Verdunstung bewertet werden. Berücksichtigen Sie außerdem die mechanischen Eigenschaften des Bootes wie Festigkeit und Haltbarkeit, um sicherzustellen, dass es wiederholten Heiz- und Kühlzyklen standhält.
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