Teile zur Dünnschichtabscheidung
Molybdän/Wolfram/Tantal-Verdampfungsboot
Artikelnummer : KME01
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- Wolfram / Molybdän / Tantal
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Verdampferschiffchen werden im Widerstandsverdampfungsprozess zum Erhitzen und Verdampfen von Materialien verwendet. Sie bestehen aus Materialien mit niedrigem Dampfdruck, wie Wolfram, Molybdän, Molybdän-Lanthan (ML), Molybdän-Yttrium-Oxid (MY) oder Tantal, um sicherzustellen, dass keine Partikel des Bootsmaterials in den Dampf und die Endschicht gelangen. Verdampferschiffchen haben eine ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit, einen niedrigen Dampfdruck, eine gute elektrische Leitfähigkeit, einen sehr hohen Schmelzpunkt und sind formstabil.
Anwendung
Verdampferschiffchen werden in thermischen Verdampfungsanlagen zur Abscheidung von Metallen, Legierungen und Werkstoffen verwendet. Sie sind in verschiedenen Stärken aus Wolfram, Tantal und Molybdän erhältlich und gewährleisten die Kompatibilität mit verschiedenen Stromquellen. Diese Boote sind entscheidend für die Vakuumverdampfung und die Dünnschichtabscheidung, einschließlich der Elektronenstrahlherstellung. Sie finden breite Anwendung in Branchen wie der Vakuumbeschichtung, Elektronik, Solarenergie und Metallurgie. Um Rissbildung zu vermeiden, ist eine allmähliche Erwärmung des Behälters unerlässlich. Verdampfungsboote sind vielseitige Werkzeuge, die eine wichtige Rolle in der Materialanalyse und bei der Abscheidung dünner Schichten spielen.
Molybdän-, Wolfram- und Tantal-Verdampferschiffchen finden in verschiedenen Industriezweigen Anwendung, darunter:
- Vakuumverdampfung von Materialien
- Tragboote in Ofenmaschinen
- Seltene Erden-Industrie
- Sintern von Kernbrennstoffen
- Sintern von Kondensatorentladungen
Detail & Teile
Länge 100 Breite 8 Dicke 0,2/0,3mm | Länge 100 Breite 15 Dicke 0,2/0,3/0,5mm | Länge 100 Breite 20 Dicke 0,2/0,3/0,5 mm | Rillengröße: Länge 50 tief 2,6 |
Prinzip
Molybdän-/Wolfram-/Tantal-Verdampferschiffchen werden in thermischen Verdampfungssystemen zur Abscheidung einer Vielzahl von Metallen, Legierungen und Materialien verwendet. Die Schiffchen werden erhitzt, indem ein elektrischer Strom durch sie geleitet wird, der das Material zum Verdampfen bringt. Das verdampfte Material kondensiert dann auf dem Substrat und bildet einen dünnen Film. Die Dicke des Films lässt sich durch die Stromstärke, die durch das Schiffchen geleitet wird, und die Verdampfungszeit steuern.
Vorteile
- Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit
- Niedrige Dampfdrücke
- Gute elektrische Leitfähigkeit
- Sehr hoher Schmelzpunkt
- Formstabil
FAQ
Was Sind Thermische Verdampfungsquellen?
Vorsichtsmaßnahmen Für Die Verwendung Von Verdunstungsbooten.
Was Sind Die Wichtigsten Arten Von Thermischen Verdampfungsquellen?
Wie Funktionieren Thermische Verdampfungsquellen?
Welche Vorteile Bietet Die Verwendung Von Thermischen Verdampfungsquellen?
Für Welche Anwendungen Werden Thermische Verdampfungsquellen Eingesetzt?
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