Der Bereich einer Vakuumdichtheitsprüfung misst in der Regel die Leckrate in Mikrometern pro Stunde. Bei kritischen Anwendungen, wie z. B. der Verarbeitung von Superlegierungen oder reaktiven Metallen, sollte die Leckrate weniger als 5 Mikrometer/Stunde betragen. Bei normalen Vakuumanwendungen liegt die akzeptable Leckrate im Allgemeinen zwischen 10 und 20 Mikron/Stunde.
Bei der Prüfung der Leckrate wird der Ofen auf einen bestimmten Unterdruck, in der Regel 1 x 10^-4 Torr oder mehr, abgepumpt und dann das Pumpsystem von der Ofenkammer isoliert. Das Vakuumniveau wird nach 30 Minuten und erneut nach 60 Minuten überwacht und aufgezeichnet. Aus der Differenz der Vakuumniveaus in diesem Zeitraum wird die Leckrate in Mikron pro Stunde berechnet, die dann mit den in den geltenden Spezifikationen festgelegten Akzeptanzkriterien verglichen wird.
Mit dieser Methode wird sichergestellt, dass das Vakuumsystem seine Integrität und Leistung beibehält und keine wesentlichen Luft- oder Wasserlecks auftreten, die das Vakuumniveau und die Gesamteffizienz des Ofens beeinträchtigen könnten. Der Einsatz spezifischer Lecksuchmethoden, wie z. B. die Ausblasmethode oder die Saugdüsenmethode mit Helium-Massenspektrometern, erhöht die Genauigkeit und Zuverlässigkeit des Lecktestverfahrens zusätzlich.
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