Eine Vakuumdichtheitsprüfung ist ein wichtiges Verfahren zur Messung der Leckrate in Mikron pro Stunde.
Diese Prüfung ist wichtig, um die Integrität und Leistung von Vakuumsystemen sicherzustellen.
Was ist der Bereich einer Vakuumdichtheitsprüfung? (3 Schlüsselpunkte)
1. Leckrate für kritische Anwendungen
Bei kritischen Anwendungen, wie z. B. der Verarbeitung von Superlegierungen oder reaktiven Metallen, sollte die Leckrate weniger als 5 Mikrometer/Stunde betragen.
2. Leckrate für normale Vakuumanwendungen
Für normale Vakuumanwendungen liegt die akzeptable Leckrate im Allgemeinen zwischen 10 und 20 Mikron/Stunde.
3. Methode zur Durchführung des Leckratentests
Bei der Dichtheitsprüfung wird der Ofen auf einen bestimmten Unterdruck abgepumpt, typischerweise 1 x 10^-4 Torr oder mehr.
Das Pumpsystem wird dann von der Ofenkammer isoliert.
Das Vakuumniveau wird nach 30 Minuten und erneut nach 60 Minuten überwacht und aufgezeichnet.
Die Differenz der Vakuumniveaus in diesem Zeitraum wird zur Berechnung der Leckrate in Mikron pro Stunde verwendet.
Diese berechnete Leckrate wird dann mit den in den geltenden Spezifikationen festgelegten Akzeptanzkriterien verglichen.
Mit dieser Methode wird sichergestellt, dass das Vakuumsystem seine Integrität und Leistung beibehält.
Sie verhindert erhebliche Luft- oder Wasserlecks, die das Vakuumniveau und die Gesamteffizienz des Ofens beeinträchtigen könnten.
Der Einsatz spezifischer Lecksuchmethoden, wie z. B. die Blasmethode oder die Saugdüsenmethode mit Helium-Massenspektrometern, erhöht die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Dichtheitsprüfung zusätzlich.
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