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Vakuumlichtbogen-Induktionsofen

Vakuumofen

Vakuumlichtbogen-Induktionsofen

Artikelnummer : KT-VA

Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen


Kapazität
1-200 kg
Betriebsspannung
20-40 V
Vakuumdruck
1.3-1.3x10-2
ISO & CE icon

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Anwendungen

Der Vakuumlichtbogenofen wird hauptsächlich zum Schmelzen von aktiven Metallen wie Titan, Niob, Zirkonium und feuerfesten Metallen wie Wolfram und Molybdän verwendet. Darüber hinaus wird er auch zum Schmelzen von Eisenbasis-, Nickelbasis-, Kobaltbasis- und anderen Legierungsmaterialien eingesetzt.

Der Vakuumlichtbogenofen zeichnet sich durch hohe Temperaturen, schnelles Schmelzen, bemerkenswerten Entgasungseffekt, frei von feuerfesten Verunreinigungen des geschmolzenen Metalls und die Fähigkeit zur Reduzierung nichtmetallischer Einschlüsse im Metall aus.

Der Vakuumlichtbogenofen wird in Schulen, Forschungsinstituten und Institutionen weit verbreitet zum Schmelzen und Reinigen von Metallmaterialien mit extrem hohen Temperaturen, hoch-entropischen Legierungsmaterialien, Ausgangslegierungsmaterialien, feuerfesten Metallmaterialien sowie seltenen und Edelmetallmaterialien eingesetzt. Er kann Sauerstoff und Verunreinigungen effektiv entfernen.

Details & Teile

Er wird zum Schmelzen von Metallen/Legierungen mit hohem Schmelzpunkt und zur Herstellung von massiven amorphen Materialien durch Vakuum-Sauggießen verwendet. Er eignet sich für die wissenschaftliche Forschung und die Kleinserienherstellung neuer Vakuummetallurgiematerialien an Universitäten und wissenschaftlichen Forschungsinstituten.
Er besteht hauptsächlich aus einer Vakuumkammer für das Lichtbogenschmelzen, einer Lichtbogenkanone, einem Lichtbogenschmelzstromversorgungsgerät, einem Fünfstationen-wasserkühlten Kupfertiegel, einem Drehmanipulator, einem Vakuum-Sauggießgerät, einem Arbeitsgasstromkreis, einer Systemabsaugung, einer Vakuummess- und elektrischen Steuerungssystem, einer Installationsmaschine und anderen Teilen.

Merkmal

  • Der Ofenkörper besteht vollständig aus Edelstahl, mit schönem Aussehen und ohne Rost.
  • Vertikale zylindrische Vakuumkammer
  • Ausgestattet mit einem Beobachtungsfenster mit großem Durchmesser, kann die Schmelzsituation im Ofen in Echtzeit beobachtet werden
  • Die Schmelztemperatur ist hoch, die Temperatur kann über 3500 Grad liegen,
  • Es wird ein spezielles Schmelzstromversorgungsgerät für das Lichtbogenschmelzen verwendet.
  • Ausgestattet mit einem Simulationsbildschirm für die Bedienung, werden die Steuerdaten intuitiv angezeigt, und die Bedienung ist intuitiv und einfach
  • Hochvakuumdesign, der Vakuumgrad kann 5x10E-4 Pa und höher erreichen
  • Übertemperaturschutz und zusätzliches Filterglas zum Schutz der Augen
  • Die wassergekühlte Kupferelektrode kann um 360 Grad bewegt werden, und die Bedienung ist flexibel. Gleichzeitig ist der wassergekühlte Tiegel klein und austauschbar und kann angepasst werden.
  • Mit Materialdrehvorrichtung, um die Situation des ungleichmäßigen Schmelzens auf einer Seite des Materials zu überwinden
  • Gießstation mit Vakuum-Sauggießen
  • Effizienz der Ausrüstung: Die meisten Metallmaterialien werden in einer Minute oder weniger erhitzt und wieder eingeschmolzen.

Technische Spezifikationen

Modell KT-VA1 KT-VA5 KT-VA25 KT-VA200
Kapazität (Kg) 1 5-15 25 200
Arbeitsspannung (V) 20-40
Arbeitsstrom (A) 1000A 3000A 6000A 12000A
Vakuumdruck (Pa) 1,3-1,3x10-2
Elektrodengröße (mm) Φ25-40 x 400 Φ10-45x1200 Φ30-60x1350 Φ56-150x1745
Barrengröße (mm) Φ60x100 Φ80x135 Φ100x400mm Φ200x670mm
Abmessungen (m) 0,8x0,35x1,8 3,81x3,0x5,21 4,43x3,33x4,93 7,4x3,4x6,72

Warnungen

Die Sicherheit des Bedieners steht an erster Stelle! Bitte bedienen Sie das Gerät mit Vorsicht. Das Arbeiten mit brennbaren, explosiven oder giftigen Gasen ist sehr gefährlich. Der Bediener muss alle erforderlichen Vorsichtsmaßnahmen treffen, bevor er das Gerät in Betrieb nimmt. Das Arbeiten mit Überdruck in den Reaktoren oder Kammern ist gefährlich. Der Bediener muss die Sicherheitsvorschriften strikt einhalten. Besondere Vorsicht ist auch beim Umgang mit luftreaktiven Materialien geboten, insbesondere unter Vakuum. Durch ein Leck kann Luft in das Gerät eindringen und eine heftige Reaktion hervorrufen.

Für Sie entworfen

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FAQ

Was Ist Ein Vakuum-Induktionsofen Und Wie Funktioniert Er?

Ein Vakuum-Induktionsofen ist ein Gerät, das Metall durch elektromagnetische Induktionserwärmung schmilzt. In einer Vakuumumgebung erzeugt die elektromagnetische Induktionserwärmung durch Induktionsspulen Wirbelströme im Metall, die das Metall über seinen Schmelzpunkt hinaus erhitzen. Die Abwesenheit von Sauerstoff und anderen Gasen im Vakuum verhindert, dass das Metall mit diesen Gasen reagiert, wodurch die Qualität und Reinheit von Hochtemperaturlegierungen gewährleistet wird.

Wozu Dient Ein Vakuumofen?

Ein Vakuumofen dient der Hochtemperaturverarbeitung von Materialien in einer kontrollierten Umgebung ohne jegliche Kontamination. Dabei wird das Produkt von einem Vakuum umgeben, das Oxidation und Wärmeverlust des Produkts durch Konvektion verhindert. Dieser Ofen wird üblicherweise zur Wärmebehandlung von Stahllegierungen bei Temperaturen unter 1200 °C verwendet. Hochtemperatur-Vakuumöfen können Temperaturen von bis zu 3000 °C erreichen und werden für industrielle Prozesse wie Sintern, Hartlöten, Glühen und Wärmebehandlung mit hoher Konsistenz und geringer Kontamination eingesetzt. Die Möglichkeit, eine gleichmäßige Erwärmung des gesamten Werkstücks zu erreichen, ist ein wesentlicher Vorteil der Verwendung eines Hochtemperatur-Vakuumofens.

Was Ist Ein CVD-Ofen?

Bei der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) handelt es sich um eine Technologie, die verschiedene Energiequellen wie Erhitzen, Plasmaanregung oder Lichtstrahlung nutzt, um gasförmige oder dampfförmige chemische Substanzen an der Gasphase oder Gas-Feststoff-Grenzfläche chemisch zu reagieren und so feste Ablagerungen im Reaktor zu bilden chemische Reaktion. Vereinfacht ausgedrückt werden zwei oder mehr gasförmige Rohstoffe in eine Reaktionskammer eingeleitet, reagieren dann miteinander, bilden ein neues Material und scheiden es auf der Substratoberfläche ab.

Der CVD-Ofen ist ein kombiniertes Ofensystem mit einer Hochtemperatur-Röhrenofeneinheit, einer Gassteuereinheit und einer Vakuumeinheit. Er wird häufig für Experimente und die Produktion von Verbundwerkstoffvorbereitungen, mikroelektronischen Prozessen, Halbleiter-Optoelektronik, Solarenergienutzung, Glasfaserkommunikation und Supraleitern verwendet Technologie, Schutzbeschichtungsbereich.

Was Sind Die Wichtigsten Anwendungen Von Vakuum-Induktionsöfen?

Vakuum-Induktionsöfen sind in der Luft- und Raumfahrt, in der Raketen- und Atomenergie- sowie in der Elektronikindustrie weit verbreitet. Sie sind unverzichtbar für die Herstellung hochwertiger Legierungen und Spezialstähle, wie z. B. Hochtemperaturlegierungen auf Nickel-, Kobalt- und Eisenbasis. Diese Öfen werden auch zum Gießen von Flugzeugteilen, komplexen Ventilen für raue Bedingungen, zum Raffinieren hochreiner Metalle und Legierungen und zur Herstellung von Elektroden für das Umschmelzen verwendet.

Wie Funktioniert Ein Vakuum-Induktionsschmelzofen?

Ein Vakuum-Induktionsschmelzofen nutzt elektromagnetische Induktion unter Vakuum- oder Schutzatmosphärenbedingungen, um Metalle und Legierungen zu schmelzen, die sich leicht verbinden oder eine enge Affinität zu Sauerstoff, Stickstoff und Wasserstoff haben. Der Ofen enthält einen mit feuerfestem Material ausgekleideten Tiegel, der von einer Induktionsspule umgeben ist, die im zu verarbeitenden Material einen Wirbelstrom aus Wärme erzeugt. Das Vakuumsystem des Ofens entfernt Gase vollständig aus den geschmolzenen Metallen und das Kühlsystem trägt zur kontrollierten Schmelztemperatur bei. Der Ofen ist äußerst zuverlässig, bietet eine hohe Produktivität und produziert Metalle mit sehr engen Zusammensetzungstoleranzen.

Was Ist Ein Vakuumlichtbogenschmelzverfahren?

Das Vakuumlichtbogenschmelzen (VAR) ist ein sekundärer Schmelzprozess zur Herstellung von Metallbarren mit hoher chemischer und mechanischer Homogenität für kritische Anwendungen in Branchen wie Luft- und Raumfahrt, Energie und Nukleartechnik. Der Prozess beinhaltet die Raffinierung von flüssigem Metall unter Vakuum und die Steuerung seiner Erstarrungsgeschwindigkeit. Es wird zur Reinigung reaktiver Titan- oder Zirkoniumlegierungen ohne jeglichen Kontakt mit feuerfesten Gussmaterialien sowie zur Verbesserung der Einschlussreinheit in Stählen und Superlegierungen verwendet. Die umgeschmolzenen zylindrischen Barren können mehrere Tonnen wiegen, und VAR hat die Branche der speziellen metallurgischen Techniken revolutioniert.

Wie Läuft Ein Vakuumofen Ab?

Der Prozess eines Vakuumofens besteht darin, die Teile in die Kammer zu laden und darin mithilfe einer Vakuumpumpe ein Vakuum zu erzeugen. Der nächste Schritt besteht darin, die Teile mithilfe von Temperaturkontrollen zu erhitzen, die zwischen 1.500 und 5.400 Grad Fahrenheit erreichen können. Dieser Prozess eliminiert die Möglichkeit von Oxidation und Kontamination, was zu einem Endprodukt mit höherer Reinheit führt. Nach dem Erhitzen werden die Teile abgekühlt und fertiggestellt, bevor sie aus dem Vakuumofen entnommen werden. Der Ofen besteht aus verschiedenen Komponenten, darunter dem Vakuumsystem, dem Ofenmantel, dem elektrischen Heizelement, den Temperaturreglern, dem Stromversorgungssystem und den Transportgeräten.

Wie Funktioniert Ein CVD-Ofen?

Das CVD-Ofensystem besteht aus einer Hochtemperatur-Röhrenofeneinheit, einer präzisen Steuereinheit für die Reaktionsgasquelle, einer Vakuumpumpstation und entsprechenden Montageteilen.

Die Vakuumpumpe dient dazu, die Luft aus dem Reaktionsrohr zu entfernen und sicherzustellen, dass sich keine unerwünschten Gase im Reaktionsrohr befinden. Anschließend heizt der Rohrofen das Reaktionsrohr auf eine Zieltemperatur auf. Anschließend kann die präzise Steuereinheit für die Reaktionsgasquelle eine andere einleiten Gase werden in einem festgelegten Verhältnis in das Ofenrohr für die chemische Reaktion eingeleitet, die chemische Gasphasenabscheidung erfolgt im CVD-Ofen.

Welche Vorteile Hat Der Einsatz Eines Vakuum-Induktionsofens?

Die Vorteile des Einsatzes eines Vakuum-Induktionsofens sind unter anderem 1) Keine Luft- oder Schlackenverschmutzung, wodurch die Umwelt entlastet wird und relativ reine, leistungsstarke Legierungen hergestellt werden. 2) Die Vakuumumgebung ermöglicht eine effektive Entgasung, was zu einem geringeren Gasgehalt im geschmolzenen Stahl und in den Legierungen führt. 3) Metalle werden im Vakuum nicht leicht oxidiert. 4) Verunreinigungen wie Pb und Bi können im Vakuum verdampfen, wodurch das Material gereinigt wird. Außerdem sorgt die starke Induktionsrührwirkung für eine gleichmäßige Temperatur und chemische Zusammensetzung.

Welche Vorteile Bietet Das Vakuum-Induktionsschmelzen?

Zu den Vorteilen des Vakuuminduktionsschmelzens (VIM) gehören die Eliminierung von Gasen, eine hervorragende Prozesskontrolle, eine genaue Kontrolle der chemischen Analyse, ein schlackenfreies Schmelzen und ein Schmelzschutz. VIM ist derzeit die energieeffizienteste, schnellste, verbrauchsärmste und umweltfreundlichste Induktionsheiztechnologie zum Erhitzen von Metallmaterialien. Die Technologie bietet eine außergewöhnliche und reproduzierbare Kontrolle reaktiver Elemente enthaltender Zusammensetzungen und macht eine schützende Schlackenabdeckung überflüssig, wodurch die Möglichkeit einer versehentlichen Kontamination oder Einschlüsse im Barren verringert wird. Der Prozess findet in einer Vakuumumgebung statt, was es vorteilhaft macht, Gasverunreinigungen im Inneren des Metalls zu entfernen, was zu einem reineren Metalllegierungsmaterial führt.

Was Ist Ein VAR-Vakuumlichtbogen-Umschmelzofen (VAR)?

VAR oder Vacuum Arc Remelting ist ein Verfahren zur Verfeinerung und Verbesserung der Reinheit von Barren, die aus standardmäßigen luft-, vakuuminduktions- oder ESR-umgeschmolzenen Legierungen hergestellt werden. Es wird für Stähle, Superlegierungen, Titan, Zirkonium und deren Legierungen in Branchen wie Luft- und Raumfahrt, Energieerzeugung, Verteidigung, Medizin und Nukleartechnik verwendet. VAR ist ein kontinuierlicher Umschmelzprozess einer abschmelzenden Elektrode unter Vakuum, wobei Gleichstrom verwendet wird, um einen Lichtbogen zwischen der Elektrode und einer Kupferform zu zünden. Der Prozess entfernt gelöste Gase, reduziert unerwünschte Spurenelemente, verbessert die Oxidreinheit und erreicht eine gerichtete Erstarrung des Barrens von unten nach oben.

Welches Gas Wird In Einem Vakuumofen Verwendet?

Je nach Anwendung können in einem Vakuumofen unterschiedliche Gase verwendet werden. Im Allgemeinen können Vakuumöfen mit Gasen oder Gemischen wie Argon, Stickstoff, Wasserstoff, Kohlenmonoxid, Helium und anderen arbeiten. Der Einsatz dieser Gase ermöglicht eine Wärmebehandlung in einer definierten, weitgehend nicht oxidierenden Atmosphäre, die für verschiedene Anwendungen wie Vakuumlöten, Vakuumglühen und Sintern erforderlich ist. Darüber hinaus ist es möglich, mit einer definierten, von der Luftzusammensetzung abweichenden Sauerstoffkonzentration zu arbeiten.

Welches Gas Wird Im CVD-Prozess Verwendet?

Es gibt enorme Gasquellen, die im CVD-Prozess verwendet werden können. Zu den üblichen chemischen Reaktionen von CVD gehören Pyrolyse, Photolyse, Reduktion, Oxidation und Redox, sodass die an diesen chemischen Reaktionen beteiligten Gase im CVD-Prozess verwendet werden können.

Nehmen wir als Beispiel das CVD-Graphenwachstum. Die im CVD-Prozess verwendeten Gase sind CH4, H2, O2 und N2.

Welche Arten Von Materialien Können In Einem Vakuum-Induktionsofen Verarbeitet Werden?

Vakuuminduktionsöfen können eine Vielzahl von Materialien verarbeiten, darunter Edelstahl, hitzebeständiger Stahl, ultrahochfester Stahl, Werkzeugstahl, Lagerstahl, magnetische Materialien, elastische Legierungen und Ausdehnungslegierungen. Diese Werkstoffe werden im Ofen geschmolzen, um ihre Eigenschaften und Qualität zu gewährleisten, so dass sie für Hochleistungsanwendungen in verschiedenen Branchen geeignet sind.

Wie Hilft Vakuum Im Induktionsschmelzofen?

Vakuumbedingungen sind in Induktionsschmelzöfen von entscheidender Bedeutung, da sie dazu beitragen, Gase aus den geschmolzenen Metallen zu entfernen und so eine schnelle Oxidation zu verhindern. Die Abwesenheit von Gasen während des Schmelzprozesses gewährleistet die Schaffung sehr enger Zusammensetzungstoleranzen, was zu konsistenten Metallen führt. Das Vakuum bietet auch eine Schutzatmosphäre für Metalle, die sich leicht verbinden oder eine enge Affinität zu Sauerstoff, Stickstoff und Wasserstoff haben. Vakuum-Induktionsschmelzöfen nutzen elektromagnetische Induktion zum Schmelzen von Metallen und Legierungen in einem mit feuerfestem Material ausgekleideten Tiegel, der von einer Induktionsspule umgeben ist, wodurch Wirbelströme entstehen, die den Schmelzprozess ermöglichen.

Wie Funktioniert Ein Vakuum-Lichtbogenschmelzofen?

In einem Vakuum-Lichtbogenschmelzofen werden Materialien unter Vakuum oder Niederdruckatmosphäre mithilfe von Lichtbögen geschmolzen. Der Ofen verwendet zwei Elektroden, von denen eine das zu schmelzende Material ist. Die Elektroden werden nahe aneinander gebracht und zwischen ihnen entsteht ein Lichtbogen, der das Material zum Schmelzen bringt. Anschließend wird der Ofen evakuiert, um eventuelle Verunreinigungen zu entfernen, und das geschmolzene Material wird in die gewünschte Form gegossen. Dieses Verfahren wird zur Herstellung hochreiner Metalle, Legierungen und intermetallischer Verbindungen verwendet, die in Branchen wie der Luft- und Raumfahrt, der Elektronik und der biomedizinischen Technik eingesetzt werden.

Welches Heizelement Wird In Einem Vakuumofen Verwendet?

Das Heizelement in einem Vakuumofen ist für dessen ordnungsgemäße Funktion von entscheidender Bedeutung und hängt von Faktoren wie der maximalen Betriebstemperatur, der Leistungsbelastung, dem Partialdruck und den Abschreckgasen sowie der Lebenserwartung ab. Vakuumöfen werden durch elektrische Widerstandselemente aus verschiedenen Materialien beheizt, darunter hochtemperaturbeständige Metalllegierungen wie Edelstahl, Nickel-Chrom, Molybdän, Wolfram, Tantal oder aus nichtmetallischen Materialien wie Graphit und Siliziumkarbid. Die Wahl des Materials für das Heizelement ist wichtig für die Maximierung seiner Langlebigkeit, Zuverlässigkeit, Effizienz und letztendlich der Prozessergebnisse.

Was Ist Der Vorteil Des CVD-Systems?

  • Es kann eine große Auswahl an Folien hergestellt werden, je nach Bedarf Metallfolien, Nichtmetallfolien und Mehrkomponenten-Legierungsfolien. Gleichzeitig können damit hochwertige Kristalle hergestellt werden, die mit anderen Methoden wie GaN, BP usw. nur schwer zu erhalten sind.
  • Die Filmbildungsgeschwindigkeit ist hoch und beträgt normalerweise mehrere Mikrometer pro Minute oder sogar Hunderte Mikrometer pro Minute. Es ist möglich, große Mengen an Beschichtungen mit gleichmäßiger Zusammensetzung gleichzeitig abzuscheiden, was mit anderen Filmvorbereitungsmethoden wie Flüssigphasenepitaxie (LPE) und Molekularstrahlepitaxie (MBE) nicht zu vergleichen ist.
  • Die Arbeitsbedingungen werden unter Normaldruck- oder Niedrigvakuumbedingungen durchgeführt, sodass die Beschichtung eine gute Beugung aufweist und Werkstücke mit komplexen Formen gleichmäßig beschichtet werden können, was PVD deutlich überlegen ist.
  • Durch die gegenseitige Diffusion von Reaktionsgas, Reaktionsprodukt und Substrat kann eine Beschichtung mit guter Haftfestigkeit erhalten werden, die für die Herstellung oberflächenverstärkter Filme wie verschleißfester und korrosionsbeständiger Filme von entscheidender Bedeutung ist.
  • Manche Filme wachsen bei einer Temperatur, die weit unter dem Schmelzpunkt des Filmmaterials liegt. Unter der Bedingung des Wachstums bei niedriger Temperatur reagieren das Reaktionsgas und die Reaktorwand sowie die darin enthaltenen Verunreinigungen nahezu nicht, sodass ein Film mit hoher Reinheit und guter Kristallinität erhalten werden kann.
  • Durch chemische Gasphasenabscheidung kann eine glatte Abscheidungsoberfläche erzielt werden. Dies liegt daran, dass die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) im Vergleich zu LPE bei hoher Sättigung, mit hoher Keimbildungsrate, hoher Keimbildungsdichte und gleichmäßiger Verteilung auf der gesamten Ebene durchgeführt wird, was zu einer makroskopisch glatten Oberfläche führt. Gleichzeitig ist bei der chemischen Gasphasenabscheidung die durchschnittliche freie Weglänge von Molekülen (Atomen) viel größer als bei LPE, sodass die räumliche Verteilung der Moleküle gleichmäßiger ist, was der Bildung einer glatten Abscheidungsoberfläche förderlich ist.
  • Geringe Strahlungsschäden, eine notwendige Voraussetzung für die Herstellung von Metalloxidhalbleitern (MOS) und anderen Geräten

Wie Verbessert Die Vakuumumgebung In Einem Vakuum-Induktionsofen Die Materialeigenschaften?

Die Vakuumumgebung in einem Vakuuminduktionsofen verhindert, dass das Metall mit Gasen wie Sauerstoff und Stickstoff reagiert, die die Materialeigenschaften beeinträchtigen können. Außerdem können flüchtige Metallverunreinigungen mit niedrigem Schmelzpunkt durch Verdampfung entfernt werden, was die Reinheit und Leistungsfähigkeit der Werkstoffe erhöht. Darüber hinaus ermöglichen die Vakuumbedingungen eine genaue Kontrolle der chemischen Zusammensetzung der Legierung, einschließlich der Elemente mit hoher Affinität zu Sauerstoff und Stickstoff.

Was Ist Ein Vakuum-Induktionsschmelzofen?

Ein Vakuum-Induktionsschmelzofen ist ein metallurgischer Ofen, der ein elektromagnetisches Wechselfeld nutzt, um verschiedene Materialien unter Vakuum oder Schutzatmosphäre zu schmelzen und zu formen. Es wird häufig in der Vakuummetallurgie eingesetzt und ist für die Herstellung von Legierungen und Spezialstählen für die Luft- und Raumfahrt-, Elektronik- und Atomenergieindustrie unerlässlich. Vakuuminduktionsschmelzöfen werden auch zur Verbesserung der Warmumformbarkeit und der mechanischen Eigenschaften von Superlegierungen auf Nickel-, Kobalt- und Eisenbasis sowie zum Schmelzen von Edelstahl, hitzebeständigem Stahl, ultrahochfestem Stahl und verschiedenen anderen Materialien eingesetzt stellen deren Qualität und Leistung sicher.

Wofür Steht PECVD?

PECVD ist eine Technologie, die Plasma verwendet, um Reaktionsgas zu aktivieren, chemische Reaktionen auf der Oberfläche des Substrats oder im oberflächennahen Raum zu fördern und einen festen Film zu erzeugen. Das Grundprinzip der plasmachemischen Gasphasenabscheidungstechnologie besteht darin, dass unter der Einwirkung eines elektrischen HF- oder Gleichstromfeldes das Quellgas ionisiert wird, um ein Plasma zu bilden, das Niedertemperaturplasma als Energiequelle verwendet wird und eine geeignete Menge Reaktionsgas vorhanden ist eingeführt, und die Plasmaentladung wird verwendet, um das Reaktionsgas zu aktivieren und eine chemische Gasphasenabscheidung zu realisieren.

Je nach Methode zur Plasmaerzeugung kann es in HF-Plasma, Gleichstromplasma und Mikrowellenplasma-CVD usw. unterteilt werden.

Was Ist Der Unterschied Zwischen CVD Und PECVD?

Der Unterschied zwischen PECVD und der herkömmlichen CVD-Technologie besteht darin, dass das Plasma eine große Anzahl hochenergetischer Elektronen enthält, die die im chemischen Gasphasenabscheidungsprozess erforderliche Aktivierungsenergie bereitstellen und so den Energieversorgungsmodus des Reaktionssystems ändern können. Da die Elektronentemperatur im Plasma bis zu 10.000 K beträgt, kann die Kollision zwischen Elektronen und Gasmolekülen das Aufbrechen chemischer Bindungen und die Rekombination der Reaktionsgasmoleküle fördern, um aktivere chemische Gruppen zu erzeugen, während das gesamte Reaktionssystem eine niedrigere Temperatur aufrechterhält.

Im Vergleich zum CVD-Verfahren kann PECVD also den gleichen chemischen Gasphasenabscheidungsprozess bei einer niedrigeren Temperatur durchführen.

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Vacuum arc furnace is a great tool for melting active metals and preparing bulk amorphous materials by vacuum suction casting.

Celso Orrico

4.9

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5

The vacuum induction furnace allows for the smelting of refractory metals and the production of special corrosion-resistant and heat-resistant alloys.

Aline Giesbrecht

4.7

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5

Vacuum induction melting furnace has the advantages of no air and vacuum induction furnace slag pollution, pure alloy, and low gas content.

Dorian Coombs

4.8

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5

The vacuum induction furnace is widely used in the smelting and purification of various metal materials in schools, research institutes, and institutions.

Ayanna Dyer

4.9

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5

Vacuum arc furnace is characterized by high temperature, high speed melting, remarkable degassing effect, and free of refractory contamination of molten metal.

Xitlali Tillman

4.7

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5

The vacuum induction melting furnace is mainly composed of a furnace shell, inductor, crucible, furnace tilting mechanism, mold mechanism, power supply device, and a water cooling system.

Marisol Shipp

4.8

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5

The vacuum arc furnace is mainly used to melt active metals such as titanium, niobium, zirconium and refractory metals such as tungsten and molybdenum.

Adan Cornett

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Vacuum induction melting technology and induction smelting technology have been applied in different occasions.

Lizeth Marbury

4.7

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The development and progress of vacuum induction furnace are mainly reflected in the gradual improvement of the overall structure of the equipment, the increasingly obvious trend of modularization and the more intelligent control system.

Karlee Hemmings

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Vacuum arc furnace is suitable for scientific research and small batch preparation of new vacuum metallurgy materials in universities and scientific research institutes.

Araceli Mccartney

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5

The vacuum induction furnace is widely used in the smelting and purification of ultra-high temperature metal materials, high entropy alloy materials, parent alloy materials, refractory metal materials, rare and precious metal materials.

Kenyon Mckee

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The vacuum arc furnace can effectively remove oxygen and impurities.

Asha Baker

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The vacuum induction furnace is mainly used to melt active metals, such as titanium alloy, etc.

Jillian Mccall

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The vacuum induction furnace can prevent melting of metals and alloys, and react with non-metallic inclusions.

Leilani Glass

4.7

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The vacuum induction furnace can remove the harmful dissolved gases and pollutants in molten metals.

Azucena Wooten

4.8

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The vacuum induction furnace has the advantages of no air and vacuum induction furnace slag pollution, pure alloy, and low gas content.

Leandro Barrera

4.9

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5

The vacuum arc furnace is widely used in the smelting and purification of various metal materials in schools, research institutes, and institutions.

Lauryn Cullen

4.7

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The vacuum induction melting furnace is mainly composed of a furnace shell, inductor, crucible, furnace tilting mechanism, mold mechanism, power supply device, and a water cooling system.

Alonzo Dorman

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